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입사되는 시준광을 2차원 배열형태의 점영상으로 분할하여 이로부터 2차원 아날로그 영상신호로 획득하는 입력부와; 입력받은 영상 데이터를 저장하는 메모리와; 상기 입력부에 의해 입력받은 2차원 배열형태의 아날로그 영상신호를 2차원 디지털 영상 데이터로 변환하여 상기 메모리에 저장하는 영상저장부와; 장치 각 부분을 제어하며, 상기 메모리에 저장된 디지털 데이터로부터 시준광의 파면정보를 추출하는 제어부;를 포함하는 정밀파면측정장치에 있어서, 상기 제어부가: 상기 메모리에 저장된 2차원 디지털 영상 데이터를 수직축과 수평축 방향으로 누산하여 각각 수평축 1차원 데이터와 수직축 1차원 데이터로 출력하는 1차원 투영부와; 상기 1차원 투영부에서 출력되는 수평축 1차원 데이터로부터 수평축 세부정보를 복원하고, 상기 1차원 투영부에서 출력되는 수직축 1차원 데이터로부터 수직축 세부정보를 복원하는 세부정보복원부와; 상기 세부정보복원부에서 복원되는 수평축 1차원 데이터와 수직축 1차원 데이터로부터 무게중심점을 추출하는 중심점추출부와; 상기 중심점추출부에 추출된 무게 중심점 위치를 기준 중심점의 위치와 비교하고, 이동된 변화량을 계산하여 기울기 값에 대한 파면정보를 추출하는 기울기정보추출부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀파면측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 입력부가: 상기 시준광의 직경을 축소하는 빔축소광학계와; 상기 빔축소광학계에 의해 직경이 축소된 시준광을 2차원 배열형태로 분할하는 배열렌즈와; 입력되는 2차원 아날로그 영상을 획득하는 씨씨디(CCD)센서를 포함하는 씨씨디(CCD)카메라와; 상기 배열렌즈에 의해 분할된 시준광을 투과시켜 씨씨디(CCD)센서에 영상을 맺히게 하는 이메이징렌즈; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀파면측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 1차원 투영부가: 상기 메모리에 저장된 2차원 디지털 영상 데이터로부터 각각의 수직축 방향의 2차원 디지털 영상 데이터를 누산하여 수평축 1차원 데이터로 출력하는 수직축 1차원 투영부와; 상기 메모리에 저장된 2차원 디지털 영상 데이터로부터 각각의 수평축 방향의 2차원 디지털 영상 데이터를 누산하여 수직축 1차원 데이터로 출력하는 수평축 1차원 투영부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀파면측정장치
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제 3 항에 있어서,상기 세부정보복원부가:상기 수직축 1차원 투영부에 의해 출력되는 수평축 1차원 데이터로부터 보간법을 이용하여 손실된 영상정보를 복원하는 수평축 세부정보복원부와;상기 수평축 1차원 투영부에 의해 출력되는 수직축 1차원 데이터로부터 보간법을 이용하여 손실된 영상정보를 복원하는 수직축 세부정보복원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀파면측정장치
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제 4항에 있어서,상기 보간법이 점영상의 주변의 유효한 정보로부터 3차 비선형 보간함수를 사용하여 세부정보를 복원하는 것을 특징으로 하는 정밀파면측정장치
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제 4 항에 있어서,상기 중심점추출부가:상기 수평축 세부정보복원부에 의해 세부정보가 복원된 수평축 1차원 데이터의 무게 중심점을 추출하는 수평축 중심점 추출부와;상기 수직축 세부정보복원부에 의해 세부정보가 복원된 수직축 1차원 데이터의 무게 중심점을 추출하는 수직축 중심점 추출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀파면측정장치
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제 6 항에 있어서,상기 기울기정보 추출부가:상기 수평축 중심점 추출부에 의해 추출된 수평축 1차원 데이터의 중심점과 상기 메모리에 저장된 수평축의 기준 중심점의 위치와 비교하고, 이동된 변화량을 계산하여 수평축 방향에 대한 기울기 값에 대한 파면정보를 추출하는 수평축 기울기정보 추출부와;상기 수직축 중심점 추출부에 의해 추출된 수직축 1차원 데이터의 중심점과 상기 메모리에 저장된 수직축의 기준 중심점의 위치와 비교하고, 이동된 변화량을 계산하여 수직축 방향에 대한 기울기 값에 대한 파면정보를 추출하는 수직축 기울기정보 추출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀파면측정장치
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제 6 항에 있어서,상기 기울기정보 추출부가:상기 수평축 중심점 추출부에 의해 추출된 수평축 1차원 데이터의 중심점과 상기 메모리에 저장된 수평축의 기준 중심점의 위치와 비교하고, 이동된 변화량을 계산하여 수평축 방향에 대한 기울기 값에 대한 파면정보를 추출하는 수평축 기울기정보 추출부와;상기 수직축 중심점 추출부에 의해 추출된 수직축 1차원 데이터의 중심점과 상기 메모리에 저장된 수직축의 기준 중심점의 위치와 비교하고, 이동된 변화량을 계산하여 수직축 방향에 대한 기울기 값에 대한 파면정보를 추출하는 수직축 기울기정보 추출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀파면측정장치
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