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자일렌, 톨루엔, 벤젠 중에서 선택된 어느 하나 이상의 탄화수소계 액체탄소소스와 철, 니켈, 코발트, 몰리브데늄 중에서 선택된 어느 하나 이상의 금속촉매입자를 혼합한 금속촉매액체혼합물을 동시에 정량 공급하는 실린지 펌프 또는 용량에 따라 일반 액체 펌프를 사용하여 다량의 금속촉매액체혼합물을 공급할 수 있도록 공급하는 연료공급장치부와; 상기 연료공급장치부에서 공급된 금속촉매액체혼합물을 균일한 나노크기의 전구체로 기화 및 미립화하는 기화장치부와; 상기 기화장치부에서 미립화된 입자를 반응장치로 이송하고 반응장치에서 탄소나노튜브의 합성에 영향을 미치는 이송가스를 공급하는 이송가스공급장치부와; 상기 이송가스공급장치부에서 공급된 이송가스와 전구체를 이용하여 탄소나노튜브를 연속 합성하도록 수직형으로 장치된 반응장치부와; 상기 수직형으로 장치된 반응장치부에서 합성되고 남은 입자와 기상 합성된 탄소나노튜브를 연속적으로 채취하기 위해 설치된 연속 수집부; 및 상기 연속 수집부와 결합된 샘플병과 반응장치의 내부 압력 및 잔존 산소를 제거하기 위한 진공펌프를 포함하는 진공장치부;로 구성된 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성장치
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제 1항에 있어서,상기 기화장치부는 초음파 진동판과; 이 초음파 진동판을 순간적으로 박판을 진동시키면서 액적(액체 물방울)을 미립화하는 방식으로 금속촉매액체혼합물의 액적(액체 물방울)이 떨어지지 않는 시간에는 작동을 멈추고 액적(액체 물방울)이 떨어지는 순간에는 작동되도록 시간 제어하고 공급되는 금속액체혼합물의 용량과 혼합 종류에 따라 작동 강도를 제어하는 초음파 증발기 제어장치를 포함하여 구성한 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성장치
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제 1항에 있어서,상기 이송가스공급장치부는 이송되는 이송가스의 흐름을 제어하는 유량조절장치와, 이 유량조절장치에 의해 흐름이 조절된 이송가스가 다른 이송가스와 함께 균일하게 혼합되는 혼합장치를 포함하고, 혼합된 이송가스가 기화장치부로 이동하도록 구성한 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성장치
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제 1항에 있어서,상기 연속 수집부는 내부에 스크류가 장치되어 있고, 이 스크류는 모터에 의해 작동되고, 모터 작동 속도는 생산되어 나오는 탄소나노튜브의 양에 따라 변경될 수 있도록 모터 제어장치가 장착된 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성장치
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제 4항에 있어서,상기 연속 수집부는 스크류를 통해 배출되는 탄소나노튜브는 최종적으로 채취하는 샘플병과 연결되어 구성된 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성장치
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제 1항에 있어서,상기 반응장치부는 내부에서 이송가스 및 전구체의 반응이 일어나는 수직형 반응기용 튜브와, 수직형 반응기용 튜브를 둘러싸 가열시키는 히터와, 히터의 온도를 제어하는 반응기 온도제어장치로 구성된 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성장치
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제 6항에 있어서,상기 수직형 반응기용 튜브는 최대 1200도의 온도까지 사용할 수 있고, 세라믹 재질을 사용하며, 상기 반응장치의 온도는 최대 1200도까지 상승할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성장치
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시간과 작동강도가 자동으로 제어되는 초음파 제어에 의한 탄소나노튜브 연속 합성장치를 구비한 후, 액체탄소소스와 금속촉매입자의 혼합물인 금속촉매액체혼합물을 정량적으로 공급하는 단계와; 공급되는 금속촉매액체혼합물을 시간과 작동강도가 자동으로 제어되는 초음파 진동 방식에 의해 기화 및 미립화하여 금속촉매입자, 탄소 및 수소 입자가 결합된 균일한 나노 크기의 전구체(precursor)를 연속 생산하는 단계와;상기 단계에서 미립화된 나노크기의 전구체를 이송가스로 운반하여 고온 조건의 반응로에서 탄소, 수소, 금속촉매입자로 각각 열분해 분리하고 이 중 탄소 성분만을 금속촉매입자로 흡착시키고 확산시키면서 탄소나노튜브의 형상 및 구조를 형성하는 열분해단계;를 거쳐 정량적이고 동일한 크기로 제어된 고순도 탄소나노튜브를 연속 수집 방식을 이용하여 수직한 상태에서 연속 합성하는 방법을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성방법
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제 8항에 있어서,상기 열분해단계에서 탄소나노튜브의 형상 및 구조를 제어하는 금속촉매의 농도는 액체탄소소스에 최소 0
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제 8항에 있어서,상기 액체탄소소스는 자일렌, 톨루엔, 벤젠으로 이루어진 탄화수소계 소스 중에서 선택된 어느 하나 또는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성방법
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제 8항에 있어서,상기 금속촉매입자는 철, 니켈, 코발트, 몰리브데늄으로 이루어진 금속입자 중에서 선택된 어느 하나 또는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성방법
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제 8항에 있어서,상기 금속촉매액체혼합물을 초음파 진동 방식에 의해 기화 및 미립화하여 전구체를 생산하는 단계는 실린지펌프를 이용 금속촉매액체혼합물을 액체 물방울 형태로 기화장치부의 초음파 진동판에 떨어지게 하되, 초음파 진동판이 금속촉매액체혼합물의 물방울이 떨어지지 않는 시간에는 작동을 멈추고 액적(액체 물방울)이 떨어지는 순간에는 작동하도록 시간 제어하고 공급 용량과 종류에 따라 작동 강도가 제어되어 기화 및 미립화 시키는 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성방법
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제 8항에 있어서,상기 금속촉매액체혼합물을 공급하는 장치는 실린지펌프 또는 공급되는 용량의 증가에 따라 일반 정량 액체 펌프로 사용하는 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성방법
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제 8항에 있어서,상기 금속촉매액체혼합물을 기화시키는 초음파 기화장치가 금속촉매액체혼합물의 공급 용량과 종류에 따라 on/off 타임머의 시간의 자동제어가 용이하고, 변화량에 따른 기화장치 내로의 작동 공급 전압값의 변화를 연동하도록 구성하여 그 작동 강도를 자유로이 제어하도록 구성한 것을 특징으로 하는 자동제어 장치를 구비한 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성방법
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제 8항에 있어서,상기 합성되는 탄소나노튜브가 온도, 시간, 금속촉매의 농도 조건에 따라 그 형상이 제어되도록 조건을 조절하는 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성방법
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제 8항에 있어서,상기 탄소나노튜브가 반응장치의 기상 상태에서 성장하여 연속적으로 합성되도록 하는 것을 특징으로 하는 초음파 기화 방식을 이용한 탄소나노튜브 합성방법
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