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Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소센서 제조방법 및 상기 방법을 이용하여 제조되는 수소 센서

  • 기술번호 : KST2014008645
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따라서, Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법이 개시된다. 상기 방법은 (a) 기판 상에 수지층을 도포한 후, 감지체 패턴을 형성하는 단계와; (b) 상기 감지체 패턴이 형성된 기판 상에, Pd와 Ni 각각의 증착 속도를 조절하면서 Pd와 Ni의 상대적 비율을 조절한 Pd-Ni 합금을 증착하는 단계와; (c) 상기 수지층을 제거하여, 상기 감지체 패턴의 Pd-Ni 합금 감지체를 상기 기판에 형성하는 단계와; (d) 상기 Pd-Ni 합금 감지체가 형성된 기판 상에 다시 수지층을 도포한 후, 상기 Pd-Ni 합금 감지체의 양단부와 중간의 소정 위치에 전극 패턴을 형성하는 단계와; (e) 상기 수지층 상에 전도성 금속을 증착하는 단계와; (f) 상기 수지층을 제거하여, 상기 Pd-Ni 합금 감지체와 전기적으로 연결된 상기 전극 패턴의 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01)
CPC G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01)
출원번호/일자 1020070088147 (2007.08.31)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0900904-0000 (2009.05.28)
공개번호/일자 10-2009-0022620 (2009.03.04) 문서열기
공고번호/일자 (20090603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.31)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우영 대한민국 서울 마포구
2 전계진 대한민국 경기 수원시 장안구
3 이은송이 대한민국 경기 부천시 원미구
4 조충환 대한민국 경기 광주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 김영희 대한민국 서울특별시 용산구 효창원로**길 *, 네오국제특허법률사무소 (효창동)
3 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2007-0635638-79
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0217779-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.08.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0058856-80
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0102376-71
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.05.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0270020-37
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0270017-00
8 등록결정서
Decision to grant		 2009.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0201213-93
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 기판 상에 수지층을 도포한 후, 감지체 패턴을 형성하는 단계와; (b) 상기 감지체 패턴이 형성된 기판 상에, Pd와 Ni 각각의 증착 속도를 조절하면서 Pd와 Ni의 상대적 비율을 조절한 Pd-Ni 합금을 증착하는 단계와, (c) 상기 수지층을 제거하여, 상기 감지체 패턴의 Pd-Ni 합금 감지체를 상기 기판에 형성하는 단계와; (d) 상기 Pd-Ni 합금 감지체가 형성된 기판 상에 다시 수지층을 도포한 후, 상기 Pd-Ni 합금 감지체의 양단부와 중간의 소정 위치에 전극 패턴을 형성하는 단계와; (e) 상기 수지층 상에 전도성 금속을 증착하는 단계와; (f) 상기 수지층을 제거하여, 상기 Pd-Ni 합금 감지체와 전기적으로 연결된 상기 전극 패턴의 전극을 형성하는 단계 를 포함하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 (a) 단계 및 (d) 단계에서, 상기 감지체 패턴과 전극 패턴을 포토리소그래피 공정을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 (c) 단계 이후 또는 (f) 단계 이후, 상기 Pd-Ni 합금 감지체를 이온 밀링 처리하는 단계를 더 포함하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 (c) 단계 이후 또는 (f) 단계 이후, 상기 Pd-Ni 합금 감지체를 열처리하는 단계를 더 포함하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
5 5
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전도성 금속은 Ti 또는 Au인 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
6 6
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 Pd-Ni 합금 감지체는 5%~20%의 Ni을 함유하는 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
7 7
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 증착되는 Pd-Ni 합금 감지체는 그 두께가 약 5 nm~10 nm인 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
8 8
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 20~10,000 ppm의 수소 농도를 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
9 9
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극은 4극 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
10 10
청구항 9에 있어서, 상기 4극 전극은, 상기 Pd-Ni 합금 감지체의 양단에 위치하여 전류를 인가하기 위한 2개의 입출력 전극과, 상기 감지체의 중간에 위치하여 상기 감지체가 수소 가스에 노출되는 경우 발생하는 전기적 변화를 검출하기 위한 2개의 측정용 전극으로 구성되는 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
11 11
(a) 기판 상에 수지층을 도포한 후, 소정의 감지체 문양이 형성된 포토 마스크를 이용하여 감지체 패턴을 형성하는 단계와; (b) 상기 감지체 패턴이 형성된 기판 상에, Pd와 Ni 각각의 증착 속도를 조절하면서 Pd와 Ni의 상대적 비율을 조절한 Pd-Ni 합금을 증착하는 단계와, (c) 상기 수지층을 제거하여, 상기 감지체 패턴의 Pd-Ni 합금 감지체를 상기 기판에 형성하는 단계와; (d) 상기 Pd-Ni 합금 감지체가 형성된 기판 상에 다시 수지층을 도포한 후, 소정의 전극 문양이 형성된 포토 마스크를 이용하여, 상기 Pd-Ni 합금 감지체의 양단부와 중간의 소정 위치에 전극 패턴을 형성하는 단계와; (e) 상기 수지층 상에 전도성 금속을 증착하는 단계와; (f) 상기 수지층을 제거하여, 상기 Pd-Ni 합금 감지체와 전기적으로 연결된 상기 전극 패턴의 전극을 형성하는 단계 를 포함하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
12 12
청구항 11에 있어서, 상기 (c) 단계 이후 또는 (f) 단계 이후, 상기 Pd-Ni 합금 감지체를 이온 밀링 처리하는 단계를 더 포함하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
13 13
청구항 11에 있어서, 상기 (c) 단계 이후 또는 (f) 단계 이후, 상기 Pd-Ni 합금 감지체를 열처리하는 단계를 더 포함하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
14 14
청구항 11 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전극은 4극 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
15 15
청구항 14에 있어서, 상기 4극 전극은, 상기 Pd-Ni 합금 감지체의 양단에 위치하여 전류를 인가하기 위한 2개의 입출력 전극과, 상기 감지체의 중간에 위치하여 상기 감지체가 수소 가스에 노출되는 경우 발생하는 전기적 변화를 검출하기 위한 2개의 측정용 전극으로 구성되는 것을 특징으로 하는 Pd-Ni 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법
16 16
삭제
17 17
삭제
18 18
Pd-Ni 합금 박막을 이용하여 제조되는 수소 센서로서, 기판과; Pd와 Ni 각각의 증착 속도를 조절하면서 Pd와 Ni의 상대적 비율을 조절한 Pd-Ni 합금이 상기 기판 상에 증착되어 이루어지고, 수소 가스와 반응하여 전기적 변화를 일으키는 감지체 부분과; 상기 감지체 부분 상의 양단부 및 중간의 소정 위치에서 상기 감지체 부분과 전기적으로 연결되어, 상기 감지체 부분에서 발생하는 전기적 변화를 검출하는 복수 개의 전극부 를 포함하고, 상기 복수 개의 전극부는 상기 Pd-Ni 합금 감지체 부분의 양단에 위치하여 전류를 인가하기 위한 2개의 입출력 전극과, 상기 감지체의 중간에 위치하여 상기 감지체가 수소 가스에 노출되는 경우 발생하는 전기적 변화를 검출하기 위한 2개의 측정용 전극으로 구성되며, 상기 감지체 부분은 5%~20%의 Ni을 함유하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
19 19
청구항 18에 있어서, 상기 감지체의 증착 두께는 약 5 nm 내지 약 100 nm인 것을 특징으로 하는 수소 센서
20 20
청구항 18에 있어서, 상기 수소 센서는 20~10,000 ppm 범위의 수소 농도를 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 수소 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부/서울특별시 연세대학교 2006년도 신기술 연구개발 지원사업/ 한국과학재단나노메디컬 국가핵심연구센터 초고감도 나노선 수소센서 기초연구