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질소가 함유된 디엘씨 코팅 방법

  • 기술번호 : KST2014010139
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 코팅시 분체 생성을 방지하여 표면조도와 마찰계수 및 밀착력과 경도를 향상시킬 수 있도록 한 질소가 함유된 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법 및 그 제품에 관한 것이다.이를 위해, 기재 표면을 활성화하고 잔류 유기물을 제거하기 위한 반응가스 를 챔버 내부에 투입하여 기재 표면을 전처리하고, 챔버 내부에 DLC층과의 밀착성 향상을 위해 N2를 포함한 반응가스를 투입하여 질화처리하므로 기재 표면에 나노화된 하지층을 형성하며, 챔버 내부에 내식성과 윤활성 향상을 위한 반응가스와 함께 NH3를 투입하여 DLC층을 코팅하는 것을 특징으로 한다.상기한 구성에 따라, DLC층 코팅 이전에 질소에 의한 고밀도 질화처리를 수행하므로 경도가 우수한 하지층이 형성되고, 미량 첨가되는 NH3를 통해 DLC생성조건에서 반응 생성물에 의한 분체를 생성하지 않아 생산성이 우수하고 제품의 불량률을 현저하게 떨어뜨리며, 표면조도와 마찰계수 및 밀착력을 향상시켜 우수한 윤활성능을 확보할 수 있고, 기재의 경도를 향상시킬 수 있는 효과도 있다.DLC, 질소, 질화, 암모니아, 분체.
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) C23C 16/02 (2011.01) C23C 16/26 (2011.01) C23C 16/27 (2011.01)
CPC C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01)
출원번호/일자 1020070057476 (2007.06.12)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0891540-0000 (2009.03.26)
공개번호/일자 10-2008-0109316 (2008.12.17) 문서열기
공고번호/일자 (20090403) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성완 대한민국 서울 양천구
2 김상권 대한민국 경기도 광명시 광
3 조용기 대한민국 경기 안산시 상록구
4 유세훈 대한민국 인천 연수구
5 최은석 대한민국 경기 시흥시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유종정 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 *, ***호(역삼동, 강남역센트럴푸르지오시티)(오주특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0425587-13
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.10.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0740407-70
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0017238-89
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0487030-28
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0805469-82
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.11.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0805468-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
11 등록결정서
Decision to grant
2009.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0119942-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기재 표면을 활성화하고 잔류 유기물을 제거하기 위한 Ar과 H2를 챔버 내부에 투입하여 기재 표면을 전처리하는 스퍼터링공정과, 상기 챔버 내부에 DLC층과의 밀착성 향상을 위해 N2와 H2를 투입하여 고진공에서 질화처리함으로써, 상기 기재 표면에 나노화된 하지층을 형성하는 하지층 형성공정과, 상기 하지층 표면에 DLC층을 코팅하는 DLC층 코팅공정을 포함하여 기재에 DLC를 코팅하는 방법에 있어서,상기 DLC층 코팅공정(P30)에서는, 챔버(40) 내부에 내식성과 윤활성 향상을 위한 Ar과 H2와 탄화수소계 화합물과 TMS와 함께 NH3를 투입하여 상기 하지층(20) 표면에 분체가 발생하지 않고 경도가 향상된 DLC(Diamond Like Carbon)층을 코팅하는 것을 특징으로 하는 질소가 함유된 DLC 코팅방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 DLC층 코팅공정(P30)은, 챔버(40)의 압력을 1
5 5
제 4항에 있어서, 상기 DLC층 코팅공정(P30)에서 투입되는 NH3는 탄화수소계 화합물에 포함된 탄소함량에 대비하여 1
6 6
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7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.