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시편 제조장치
- 기술번호 : KST2014010690
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 광학현미경, 주사전자현미경 등 각종 현미경을 통해 다양한 문제 해결을 위한 미세구조 분석시 사용하는 각종 시편을 제조하는 장치에 관한 것이다. 본 발명은 다양한 형상을 가진 시편을 다양한 크기로 마운팅하여 연마할 때, 하나의 장치로 다양한 크기의 시편을 연마할 수 있는 최적의 연마용 툴(Tool) 수단을 통해 마이크로미터 단위의 두께 조절이 가능하고, 원하는 충분한 영역의 편평면 확보가 가능하며, 시편 제조와 관련한 재현성과 정확성을 보장할 수 있는 한편, 침탄 혹은 질화 처리 등을 통해 연마용 툴의 하단부 표면을 경화시켜 내마모성을 향상시킴으로써, 시편 연마시 툴이 함께 연마되는 현상을 배제할 수 있고, 또 연마용 툴 표면을 Ni 등 각종 금속 도금으로 처리하여 표면 질감을 향상시킴으로써, 그립감을 향상시킬 수 있는 등 편의성, 내구성 및 상품성을 보장할 수 있는 시편 제조장치를 제공한다. 광학현미경, 웨이퍼, 미세구조, 분석, 시편, 연마, 툴, 마이크로미터 |
|---|---|
| Int. CL | G01N 1/32 (2006.01) |
| CPC | G01N 1/32(2013.01) G01N 1/32(2013.01) G01N 1/32(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090067263 (2009.07.23) |
| 출원인 | 강원대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0919827-0000 (2009.09.24) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20091001) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.07.23) |
| 심사청구항수 | 6 |