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2축 배향성을 갖는 금속기판을 준비하는 단계; 상기 금속기판 상에 물리적 진공 증착법에 의하여 헤테로-에피 SrTiO3 시드층을 증착하는 단계; 상기 SrTiO3 시드층의 상부에 물리적 진공 증착법에 의하여 호모-에피 SrTiO3 버퍼층을 증착하는 단계; 및 상기 SrTiO3 버퍼층의 상부에 희토류계 고온 초전도층을 물리적 진공 증착법으로 증착하여, 상기 2축 배향성을 갖는 금속기판에 대하여 에피 성장된 희토류계 고온 초전도층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 SrTiO3 시드층을 증착하기 전에, 기판의 산화를 방지하기 위하여 상기 기판을 환원 분위기에서 가열시키는 것을 특징으로 하는 초전도 소자의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 환원 분위기는 아르곤과 수소를 포함한 가스 분위기인 것을 특징으로 하는 초전도 소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 SrTiO3 시드층은 기판의 온도 650∼800℃, 5×10-6Torr 이하의 고진공 하에서 증착되는 것을 특징으로 하는 초전도 소자의 제조방법
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제4항에 있어서 상기 SrTiO3 시드층의 증착 후, 기판의 온도 650∼800℃, 0
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제4항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 물리적 진공 증착법은 펄스 레이저 증착법이며, 증착시 사용되는 레이저 에너지 밀도는 1∼2J/㎠인 것을 특징으로 하는 초전도 소자의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되어, 금속기판/헤테로-에피 SrTiO3 시드층/호모-에피 SrTiO3 버퍼층/희토류계 고온초전도층으로 구성된 것을 특징으로 하는 초전도 소자
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2축 배향성을 갖는 금속기판; 상기 금속기판 상에 증착된 산소가 결핍되어 성장된 헤테로-에피 SrTiO3 시드층; 상기 SrTiO3 시드층의 상에 물리적 진공 증착법에 의하여 증착된 호모-에피 SrTiO3 버퍼층; 및 상기 SrTiO3 버퍼층의 상에 물리적 진공 증착법으로 증착되어 상기 2축 배향성을 갖는 금속기판에 대하여 에피 성장된 희토류계 고온 초전도층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 소자
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2축 배향성을 갖는 금속기판; 상기 금속기판 상에 증착된 산소가 결핍되어 성장된 헤테로-에피 SrTiO3 시드층; 상기 SrTiO3 시드층의 상에 물리적 진공 증착법에 의하여 증착된 호모-에피 SrTiO3 버퍼층; 및 상기 SrTiO3 버퍼층의 상에 물리적 진공 증착법으로 증착되어 상기 2축 배향성을 갖는 금속기판에 대하여 에피 성장된 희토류계 고온 초전도층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 소자
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