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금속 산화물 소자를 제조하는 방법에 있어서, 단결정 또는 배향된 표면을 갖는 기본모재 상에 분리층을 형성하는 제1 단계와, 상기 분리층 상에 금속 산화물층을 형성하는 제2 단계와, 상기 금속 산화물층 상에 지지층을 형성하는 제3 단계와, 상기 분리층을 제거하여 상기 기본모재로부터 금속 산화물층과 지지층으로 구성된 다층박막을 분리하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 기본모재는 원형 또는 컨베이어형의 루프인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 산화물 소자는 초전도 선재, 강유전체 다층박막 및 광전소자로 구성된 그룹에서 선택된 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 단계와 상기 제2 단계의 사이에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 제4 단계에서 만들어진 지지층, 금속 산화물층 및 버퍼층으로 구성된 구조체의 버퍼층 상부에 금속 산화물층을 추가로 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리층은 용매에 의해 용해될 수 있는 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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7
제6항에 있어서, 상기 분리층은 BaO, NaCl 및 KCl로 구성된 그룹에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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8
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리층 및 상기 금속 산화물층은 상기 기본모재의 배향성에 따라 에피택시 성장되는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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금속 산화물 소자를 제조하는 방법에 있어서, 단결정 또는 배향된 표면을 갖는 기본모재 상에 분리층을 형성하는 제1 단계와, 상기 분리층 상에 지지층을 형성하는 제2 단계와, 상기 분리층을 제거하여 상기 기본모재로부터 상기 지지층을 분리하는 제3 단계와, 상기 지지층 상에 금속 산화물층을 형성하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 기본모재는 원형 또는 컨베이어형의 루프인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 금속 산화물 소자는 초전도 선재, 강유전체 다층박막 및 광전소자로 구성된 그룹에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 제3 단계와 상기 제4 단계의 사이에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 금속 산화물층 상에 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리층은 용매에 의해 용해될 수 있는 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제14항에 있어서, 상기 분리층은 BaO, NaCl 및 KCl로 구성된 그룹에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리층 및 상기 금속 산화물층은 상기 기본모재의 배향성에 따라 에피택시 성장되는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리층 및 상기 금속 산화물층은 상기 기본모재의 배향성에 따라 에피택시 성장되는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 소자의 제조방법
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