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경사형 다층박막 증착 장치 및 그 다층박막의 제조방법
- 기술번호 : KST2014012069
- 담당센터 : 부산기술혁신센터
- 전화번호 : 051-606-6561
| 요약 | 본 발명은 이종의 타겟의 동시 증착에 의해 계면경사층이 형성된 다층박막을 단일공정으로 제조하는 경사형 다층박막 증착 장치 및 그 다층박막의 제조방법에 관한 것으로서, 다층박막 증착 장치에 있어서, 진공챔버 내부에 다수개의 스파터링 건 또는 이배퍼레이션 도가니가 형성되고, 각 스파터링 건 또는 이배퍼레이션 도가니에는 이종의 타겟이 장착 또는 삽입되며, 상기 이종의 타겟으로부터 균등한 위치에 기판이 형성되어, 상기 스파터링 건 또는 이배퍼레이션 도가니의 동시 작동에 의해 상기 이종의 타겟 성분이 상기 기판에 동시에 증착되어 상기 기판 상측에 계면경사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 및 그 다층박막의 제조방법의 제공을 그 목적으로 한다. 이에 따라 다수개의 스파터링 건 또는 이배퍼레이션 도가니에 장착 또는 삽입된 이종의 타겟의 동시 증착에 의해 계면경사층이 형성된 다층박막을 단일공정으로 제조할 수 있으며, 이에 의해 다층박막의 계면특성을 향상시키고, 고품질의 박막을 증착시킬 수 있으며, 증착공정에 대한 시간적, 경제적인 효율을 극대화하는 이점이 있다.스파터링 이배퍼레이션 다층박막 단일공정 계면 경사 증착영역 분리 |
|---|---|
| Int. CL | C23C 14/34 (2006.01) |
| CPC | C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020060058461 (2006.06.28) |
| 출원인 | 한국전기연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0795063-0000 (2008.01.09) |
| 공개번호/일자 | 10-2008-0000736 (2008.01.03) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20080117) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.06.28) |
| 심사청구항수 | 28 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국전기연구원 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 오상수 | 대한민국 | 경상남도 창원시 |
| 2 | 김태형 | 대한민국 | 대구광역시 북구 |
| 3 | 김호섭 | 대한민국 | 경상남도 김해시 |
| 4 | 하동우 | 대한민국 | 경상남도 창원시 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인부경 | 대한민국 | 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국전기연구원 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2006.06.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0461427-26 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2007.02.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2007.03.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0014342-70 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2007.06.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0314493-07 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2007.08.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0567158-36 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2007.09.07 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0651330-98 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2007.09.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0651307-47 |
| 8 | 등록결정서 Decision to grant |
2008.01.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0001569-50 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.11.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5220117-37 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.11.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5207456-63 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006987-25 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 다층박막 증착 장치에 있어서,진공챔버 내부에 다수개의 스파터링 건이 형성되고, 각 스파터링 건에는 이종의 타겟이 장착되고, 상기 이종의 타겟으로부터 균등한 위치에 기판이 형성되고, 상기 기판 전측에는 스크린이 인접 형성되어, 상기 스파터링 건의 동시 작동에 의해 상기 이종의 타겟 성분이 상기 기판에 동시에 증착되어 상기 기판 상측에 계면경사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 스파터링 건은,몸체부와 타겟장착부로 구성되어, 상기 몸체부가 플렉시블한 재질로 형성되어 상기 타겟장착부의 각도와, 상기 기판과 타겟장착부와의 거리가 조절되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서, 상기 스크린은 상기 기판면에 수평되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 4 |
4 제 1항에 있어서, 상기 경사형 다층박막 증착 장치는,상기 이종의 타겟 성분이 기판에 도달하는 경로 상에 위치되어, 상기 이종의 타겟 성분에 대한 증착속도를 제어하여 증착영역이 분리되도록 증착영역분리판이 더 형성되어, 다층의 계면경사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 5 |
5 제 4항에 있어서, 상기 증착영역분리판은,다수개로 형성되며,판상 또는 파이프 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 6 |
6 제 4항에 있어서, 상기 증착영역분리판은,위치 및 각도가 제어되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 7 |
7 제 1항 내지 제 6항의 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은,릴투릴(reel-to-reel)로 공급되어 이송되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 8 |
8 기판 전측에 스크린을 인접 설치하여 다층박막을 증착하는 방법에 있어서,상기 진공챔버 내부에 다수개로 형성된 스파터링 건 각각에 이종의 타겟을 장착시키는 단계와;상기 타겟으로부터 균등한 위치에 기판을 위치시키는 단계와;상기 스파터링 건을 동시에 작동시켜 상기 타겟을 상기 기판에 동시에 증착시키는 단계;를 포함하여 구성되어, 상기 기판에 타겟 물질 성분이 포함된 다층의 계면경사층이 형성됨을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 9 |
9 제 8항에 있어서, 상기 스파터링 건은,몸체부와 타겟장착부로 구성되어, 상기 몸체부가 플렉시블한 재질로 형성되어 상기 타겟장착부의 각도와, 상기 기판과 타겟장착부와의 거리가 조절되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 10 |
10 제 8항에 있어서, 상기 스크린은 상기 기판면에 수평되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 11 |
11 제 8항에 있어서, 상기 경사형 다층박막의 제조방법은,상기 이종의 타겟 성분이 기판에 도달하는 경로 상에 위치되어, 상기 이종의 타겟 성분에 대한 증착속도를 제어하여 증착영역이 분리되도록 증착영역분리판이 더 형성되어, 다층의 계면경사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 12 |
12 제 11항에 있어서, 상기 증착영역분리판은,다수개로 형성되며,판상 또는 파이프 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 13 |
13 제 11항에 있어서, 상기 증착영역분리판은,위치 및 각도가 제어되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 14 |
14 제 8항 내지 제 13항의 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은,릴투릴(reel-to-reel)로 공급되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 15 |
15 다층박막 증착 장치에 있어서,진공챔버 내부에 다수개의 이배퍼레이션 도가니가 형성되고, 각 이배퍼레이션 도가니에는 이종의 타겟이 삽입되고, 상기 이배퍼레이션 도가니로부터 균등한 위치에 기판이 형성되고, 상기 기판 전측에는 스크린이 인접 형성되어, 상기 이배퍼레이션 도가니의 동시 가열에 의해 상기 이종의 타겟 증기성분이 상기 기판에 동시에 증착되어 상기 기판 상측에 계면경사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 16 |
16 제 15항에 있어서, 상기 이배퍼레이션 도가니는,몸체부와 타겟삽입부로 구성되어, 상기 몸체부가 플렉시블한 재질로 형성되어 상기 타겟삽입부의 각도와, 상기 기판과 타겟삽입부와의 거리가 조절되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 17 |
17 제 15항에 있어서, 상기 스크린은 상기 기판면에 수평되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 18 |
18 제 15항에 있어서, 상기 경사형 다층박막 증착 장치는,상기 이종의 타겟 성분이 기판에 도달하는 경로 상에 위치되어, 상기 이종의 타겟 성분에 대한 증착속도를 제어하여 증착영역이 분리되도록 증착영역분리판이 더 형성되어, 다층의 계면경사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 19 |
19 제 18항에 있어서, 상기 증착영역분리판은,다수개로 형성되며,판상 또는 파이프 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 20 |
20 제 18항에 있어서, 상기 증착영역분리판은,위치 및 각도가 제어되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 21 |
21 제 15항 내지 제 20항의 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은,릴투릴(reel-to-reel)로 공급되어 이송되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 |
| 22 |
22 기판 전측에 스크린을 인접 설치하여 다층박막을 증착하는 방법에 있어서,상기 진공챔버 내부에 다수개로 형성된 이배퍼레이션 도가니 각각에 이종의 타겟을 삽입시키는 단계와;상기 이배퍼레이션 도가니로부터 균등한 위치에 기판을 위치시키는 단계와;상기 이배퍼레이션 도가니를 동시에 작동시켜 상기 타겟을 상기 기판에 동시에 증착시키는 단계;를 포함하여 구성되어, 상기 기판에 타겟 물질 성분이 포함된 다층의 계면경사층이 형성시키는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 23 |
23 제 22항에 있어서, 상기 이배퍼레이션 도가니는,몸체부와 타겟삽입부로 구성되어, 상기 몸체부가 플렉시블한 재질로 형성되어 상기 타겟삽입부의 각도와, 상기 기판과 타겟삽입부와의 거리가 조절되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 24 |
24 제 22항에 있어서, 상기 스크린은 상기 기판면에 수평되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 25 |
25 제 22항에 있어서, 상기 경사형 다층박막의 제조방법은,상기 이종의 타겟 성분이 기판에 도달하는 경로 상에 위치되어, 상기 이종의 타겟 성분에 대한 증착속도를 제어하여 증착영역이 분리되도록 증착영역분리판이 더 형성되어, 다층의 계면경사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 26 |
26 제 25항에 있어서, 상기 증착영역분리판은,다수개로 형성되며,판상 또는 파이프 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 27 |
27 제 25항에 있어서, 상기 증착영역분리판은,위치 및 각도가 제어되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 28 |
28 제 22항 내지 제 27항의 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은,릴투릴(reel-to-reel)로 공급되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막의 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
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| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
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| 특허 등록번호 | 10-0795063-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20060628 출원 번호 : 1020060058461 공고 연월일 : 20080117 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20080103 청구범위의 항수 : 28 유별 : C23C 14/34 발명의 명칭 : 경사형 다층박막 증착 장치 및 그 다층박막의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20160110 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 663,000 원 | 2008년 01월 09일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 656,000 원 | 2010년 11월 16일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 656,000 원 | 2011년 12월 08일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 656,000 원 | 2012년 12월 14일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 1,164,000 원 | 2013년 11월 07일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 1,164,000 원 | 2014년 10월 31일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2006.06.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0461427-26 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2007.02.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2007.03.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0014342-70 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2007.06.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0314493-07 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2007.08.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0567158-36 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2007.09.07 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0651330-98 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2007.09.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0651307-47 |
| 8 | 등록결정서 | 2008.01.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0001569-50 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.11.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5220117-37 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.11.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5207456-63 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006987-25 |
| 기술번호 | KST2014012069 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국전기연구원 |
| 기술명 | 경사형 다층박막 증착 장치 및 그 다층박막의 제조방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 이종의 타겟의 동시 증착에 의해 계면경사층이 형성된 다층박막을 단일공정으로 제조하는 경사형 다층박막 증착 장치 및 그 다층박막의 제조방법에 관한 것으로서, 다층박막 증착 장치에 있어서, 진공챔버 내부에 다수개의 스파터링 건 또는 이배퍼레이션 도가니가 형성되고, 각 스파터링 건 또는 이배퍼레이션 도가니에는 이종의 타겟이 장착 또는 삽입되며, 상기 이종의 타겟으로부터 균등한 위치에 기판이 형성되어, 상기 스파터링 건 또는 이배퍼레이션 도가니의 동시 작동에 의해 상기 이종의 타겟 성분이 상기 기판에 동시에 증착되어 상기 기판 상측에 계면경사층이 형성되는 것을 특징으로 하는 경사형 다층박막 증착 장치 및 그 다층박막의 제조방법의 제공을 그 목적으로 한다. 이에 따라 다수개의 스파터링 건 또는 이배퍼레이션 도가니에 장착 또는 삽입된 이종의 타겟의 동시 증착에 의해 계면경사층이 형성된 다층박막을 단일공정으로 제조할 수 있으며, 이에 의해 다층박막의 계면특성을 향상시키고, 고품질의 박막을 증착시킬 수 있으며, 증착공정에 대한 시간적, 경제적인 효율을 극대화하는 이점이 있다.스파터링 이배퍼레이션 다층박막 단일공정 계면 경사 증착영역 분리 |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 박막, 스파터링 장치, 이배퍼레이션 장치 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1350014873 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2006-07288 |
| 연구과제명 | PVD법을이용한고온초전도Coatedconductor제조기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 한국전기연구원 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200407~200703 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
| 과제고유번호 | 1345086011 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10-2007-05-001-00 |
| 연구과제명 | 고온초전도CoatedConductor의고성능화제조기술연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 한국전기연구원 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200704~201103 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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|---|---|---|
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