요약 | 본 발명은 가이드 롤러가 구비된 장선 테이프용 증착장치에 관한 것으로서, 상기 목적 달성을 위해 본 발명은, 진공 챔버 내부에서 테이프를 인출하여 공급하도록 회전하는 공급릴과, 상기 공급릴과 이격되어 위치하여 테이프를 이송하면서 초전도층을 진공증착하는 이송증착부와, 상기 이송증착부와 이격되어 위치하고, 진공증착된 테이프를 수거하도록 회전하는 수거릴로 이루어져 테이프를 진공증착하는 증착장치에 있어서, 상기 이송증착부는, 회전하여 테이프를 외주면의 일측에 여러번 감으면서 테이프를 이송하는 드럼과; 상기 드럼과 이격되어 형성되고, 외주면에 일정한 간격으로 홈과 턱이 형성된 다수개의 롤러로 이루어지되, 테이프의 폭과 상기 턱의 길이만큼 차이가 나도록 상기 드럼의 회전축에 대하여 일정 각도 기울어져 외주면에 테이프가 감기도록 형성된 가이드 롤러;를 포함하여 이루어지는 것을 기술적 특징으로 하며, 열을 가하여 증착시, 가이드 롤러를 통해 일정한 장력을 유지하면서 초전도층을 증착하므로 테이프의 열팽창 수축 차이에 따라 테이프의 장력 불균일에 따른 테이프의 변형 및 파손을 방지하는 효과가 있다. |
---|---|
Int. CL | H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020070110241 (2007.10.31) |
출원인 | 한국전기연구원 |
등록번호/일자 | 10-0928222-0000 (2009.11.17) |
공개번호/일자 | 10-2009-0044239 (2009.05.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20091124) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2007.10.31) |
심사청구항수 | 2 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국전기연구원 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 하홍수 | 대한민국 | 경상남도 창원시 |
2 | 오상수 | 대한민국 | 경상남도 창원시 |
3 | 하동우 | 대한민국 | 경상남도 창원시 |
4 | 송규정 | 대한민국 | 경상남도 창원시 |
5 | 고락길 | 대한민국 | 경남 김해시 장유면 |
6 | 김호섭 | 대한민국 | 경상남도 김해시 |
7 | 문승현 | 대한민국 | 경기도 성남시 분당구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인부경 | 대한민국 | 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국전기연구원 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2007.10.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0783535-57 |
2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2007.11.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0788415-48 |
3 | 보정요구서 Request for Amendment |
2007.11.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2007-0158613-10 |
4 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2007.11.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0841219-84 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.02.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0084196-36 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.04.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0252590-17 |
7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.04.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0252584-43 |
8 | 등록결정서 Decision to grant |
2009.08.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0346428-13 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.11.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5220117-37 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.11.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5207456-63 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006987-25 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 진공 챔버 내부에서 테이프를 인출하여 공급하도록 회전하는 공급릴(10)과, 상기 공급릴(10)과 이격되어 위치하여 테이프를 이송하면서 초전도층을 진공증착하는 이송증착부(100)와, 상기 이송증착부(100)와 이격되어 위치하고, 진공증착된 테이프를 수거하도록 회전하는 수거릴(20)로 이루어져 테이프를 진공증착하는 증착장치에 있어서, 상기 이송증착부(100)는, 회전하여 테이프를 외주면의 일측에 여러번 감으면서 테이프를 이송하는 드럼(30)과; 상기 드럼(30)과 이격되어 형성되고, 외주면에 일정한 간격으로 홈과 턱이 형성된 다수개의 롤러로 이루어지되, 테이프의 폭과 상기 턱의 길이만큼 차이가 나도록 상기 드럼(30)의 회전축에 대하여 일정 각도 기울어져 외주면에 테이프가 감기도록 형성된 가이드 롤러(110);를 포함하되, 상기 공급릴(10) 및 수거릴(20)은, 상기 가이드 롤러(110)가 기울어진 각도와 같은 각도로 기울어져 이루어진 것을 특징으로 하는 가이드 롤러가 구비된 장선 테이프용 증착장치 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 제 1항에 있어서, 상기 가이드 롤러(110)는, 외주면에 일정한 간격으로 형성된 수용홈(130)과 턱이 형성되며, 상기 수용홈(130)에 테이프를 감아서 평행하게 이송하도록 상기 드럼(30)의 회전축에 대해 일정각도 기울어져 회전하는 제 1가이드 롤러(111)와; 외주면에 일정한 간격으로 형성된 수용홈(130)과 턱이 형성되며, 상기 제 1가이드 롤러(111)와 평행한 제 2가이드 롤러(112);로 이루어진 것을 특징으로 하는 가이드 롤러가 구비된 장선 테이프용 증착장치 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | EP02055802 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
2 | EP02055802 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
3 | JP04981763 | JP | 일본 | FAMILY |
4 | JP21108403 | JP | 일본 | FAMILY |
5 | US08353257 | US | 미국 | FAMILY |
6 | US20090107395 | US | 미국 | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | EP2055802 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
2 | EP2055802 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
3 | ES2399956 | ES | 스페인 | DOCDBFAMILY |
4 | JP2009108403 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
5 | JP4981763 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
6 | US2009107395 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
7 | US8353257 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0928222-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20071031 출원 번호 : 1020070110241 공고 연월일 : 20091124 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20090820 청구범위의 항수 : 2 유별 : H01L 21/02 발명의 명칭 : 가이드 롤러가 구비된 장선 증착 장치 존속기간(예정)만료일 : 20151118 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 61,500 원 | 2009년 11월 17일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 84,000 원 | 2012년 10월 10일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 84,000 원 | 2013년 09월 23일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 58,800 원 | 2014년 08월 26일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2007.10.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0783535-57 |
2 | [출원서등 보정]보정서 | 2007.11.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0788415-48 |
3 | 보정요구서 | 2007.11.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2007-0158613-10 |
4 | [출원서등 보정]보정서 | 2007.11.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0841219-84 |
5 | 의견제출통지서 | 2009.02.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0084196-36 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.04.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0252590-17 |
7 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.04.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0252584-43 |
8 | 등록결정서 | 2009.08.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0346428-13 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.11.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5220117-37 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.11.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5207456-63 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006987-25 |
기술번호 | KST2014012077 |
---|---|
자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 한국전기연구원 |
기술명 | 가이드 롤러가 구비된 장선 증착 장치 |
기술개요 |
본 발명은 가이드 롤러가 구비된 장선 테이프용 증착장치에 관한 것으로서, 상기 목적 달성을 위해 본 발명은, 진공 챔버 내부에서 테이프를 인출하여 공급하도록 회전하는 공급릴과, 상기 공급릴과 이격되어 위치하여 테이프를 이송하면서 초전도층을 진공증착하는 이송증착부와, 상기 이송증착부와 이격되어 위치하고, 진공증착된 테이프를 수거하도록 회전하는 수거릴로 이루어져 테이프를 진공증착하는 증착장치에 있어서, 상기 이송증착부는, 회전하여 테이프를 외주면의 일측에 여러번 감으면서 테이프를 이송하는 드럼과; 상기 드럼과 이격되어 형성되고, 외주면에 일정한 간격으로 홈과 턱이 형성된 다수개의 롤러로 이루어지되, 테이프의 폭과 상기 턱의 길이만큼 차이가 나도록 상기 드럼의 회전축에 대하여 일정 각도 기울어져 외주면에 테이프가 감기도록 형성된 가이드 롤러;를 포함하여 이루어지는 것을 기술적 특징으로 하며, 열을 가하여 증착시, 가이드 롤러를 통해 일정한 장력을 유지하면서 초전도층을 증착하므로 테이프의 열팽창 수축 차이에 따라 테이프의 장력 불균일에 따른 테이프의 변형 및 파손을 방지하는 효과가 있다. |
개발상태 | 기술개발완료 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 송전선, 모터, 다용도 팬케이크 코일, 발전기, 자석 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1345098182 |
---|---|
세부과제번호 | 10-2007-05-001-00 |
연구과제명 | 고온초전도CoatedConductor의고성능화제조기술연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국전기연구원 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200704~201103 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1355048955 |
---|---|
세부과제번호 | 2006-07288 |
연구과제명 | 고온초전도Coatedconductor의고성능화제조기술연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 한국전기연구원 |
성과제출연도 | 2007 |
연구기간 | 200704~201103 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
[1020100018495] | 초전도 선재 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020100018487] | 초전도 선재 도금용 간섭 장치, 이를 이용하여 제조한 초전도 선재 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020090133927] | 초전도 선재의 부분 임계전류 측정방법 | 새창보기 |
[1020090123864] | 초전도 선재의 임계전류 연속 측정방법 | 새창보기 |
[1020090091735] | 플라즈마를 이용한 저온 박막 증착 방법 | 새창보기 |
[1020070110241] | 가이드 롤러가 구비된 장선 증착 장치 | 새창보기 |
[1020070110238] | 2세대 고온초전도 선재 제조기술 | 새창보기 |
[1020070110231] | 교류손실 저감용 선재 증착장치 및 이에 따른 증착방법 | 새창보기 |
[1020070110228] | 초전도 테이프 이송장치 | 새창보기 |
[1020070055508] | 나노입자빔을 이용한 박막증착 방법 및 장치 | 새창보기 |
[1020070023420] | 동시증발법에 의한 2세대 고온초전도선재 개발 | 새창보기 |
[1020070023418] | 파동 전파형 장선 테이프 증착장치 | 새창보기 |
[1020070022899] | 초전도 테이프 선재의 연속 제조 장치 | 새창보기 |
[1020060089525] | 장선 테이프 증착장치 | 새창보기 |
[1020060089523] | 박막형 초전도 선재의 집합방법 및 집합화된 초전도 선재 | 새창보기 |
[1020060083323] | 이종 물질의 동시증착에 의한 초전도 박막의 완충층 | 새창보기 |
[1020060070941] | 장력 조절 멀티턴 릴투릴 장치 | 새창보기 |
[1020060070932] | 압축응력 인가형 초전도 선재 연속 라미네이션 장치 | 새창보기 |
[1020060032942] | 플룸 형상 제어 레이저 증착 시스템 | 새창보기 |
[1020060032939] | 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치 | 새창보기 |
[1020060023906] | 초전도 선재의 라미네이션 접합 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020060017647] | 무전해도금법에 의한 초전도 선재 안정화층 형성 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020060017646] | 일괄 하소 및 열처리에 의한 초전도 선재 제조 방법 | 새창보기 |
[1020060015146] | 습식화학법에 의한 초전도 선재 제조기술 | 새창보기 |
[1020050081099] | 박판 접합 장치 및 이를 이용한 박판 접합 방법 | 새창보기 |
[1020050059260] | 유기금속전구용액 제조방법 및 이를 이용한유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법 | 새창보기 |
[1020040068138] | 초전도 소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020040043060] | 박막 테이프 제조장치 | 새창보기 |
[KST2014011871][한국전기연구원] | 나노입자빔을 이용한 박막증착 방법 및 장치 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015163341][한국전기연구원] | 원통형 자기부상 스테이지 및 노광장치 | 새창보기 |
[KST2015163689][한국전기연구원] | 미세 패턴을 갖는 제품의 제조 방법, 및 이에 의해 제조되는 제품 | 새창보기 |
[KST2014012560][한국전기연구원] | 장력 조절 멀티턴 릴투릴 장치 | 새창보기 |
[KST2015163211][한국전기연구원] | 원통형 자기부상 스테이지 | 새창보기 |
[KST2015164298][한국전기연구원] | 반도체 분말의 표면처리방법 | 새창보기 |
[KST2017006245][한국전기연구원] | 코팅 장치(COATING DEVICE) | 새창보기 |
[KST2018004643][한국전기연구원] | 에칭 가스를 이용한 실리콘 카바이드 기판의 에칭방법(The etching method of the silicon carbide substrate using an etching gas) | 새창보기 |
[KST2015163567][한국전기연구원] | 원통형 자기부상 스테이지 | 새창보기 |
[KST2015163740][한국전기연구원] | 전력반도체의 특성 향상을 위한 에이징 장치 및 그 방법 | 새창보기 |
[KST2014012308][한국전기연구원] | 열전반도체 초미분 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2014012464][한국전기연구원] | 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법 | 새창보기 |
[KST2015163735][한국전기연구원] | 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015164422][한국전기연구원] | 다중수소결합에 의해 고차구조를 지니는 탄소나노소재를 이용한 패턴전극 제조방법 | 새창보기 |
[KST2016010393][한국전기연구원] | 원통형 초정밀 자기부상 스테이지(Cylindrical ultra-precision magnetic levitation stage) | 새창보기 |
[KST2015163338][한국전기연구원] | 노광장치용 전자석 홀더장치 | 새창보기 |
[KST2017007253][한국전기연구원] | 활성화 열처리 공정을 통한 탄화규소 다이오드 제조방법(SiC diode manufacturing method through the active heat treatment) | 새창보기 |
[KST2015163303][한국전기연구원] | 자기부상을 이용한 원통형 기판용 코팅 장치 | 새창보기 |
[KST2015163332][한국전기연구원] | 플라즈마 잠입 이온을 이용한 가공 장치 및 방법 | 새창보기 |
[KST2018004655][한국전기연구원] | 실리콘 카바이드 트렌치 쇼트키 배리어 다이오드의 제조방법(MANUFACTURING METHOD OF SILICON-CARBIDE TRENCH SCHOTTKY BARRIER DIODE) | 새창보기 |
[KST2014012536][한국전기연구원] | 자기부상방식의 대면적 스테이지 장치 | 새창보기 |
[KST2015163714][한국전기연구원] | 반응도 향상을 위해 비대칭 구조를 적용한 전계효과트랜지스터 테라헤르츠 검출기 | 새창보기 |
[KST2015164095][한국전기연구원] | 초전도 테이프 이송장치 | 새창보기 |
[KST2015164166][한국전기연구원] | 3차원 표면형상을 갖는 원통형 가공물을 위한 유도 결합형플라즈마 공정 챔버 및 방법 | 새창보기 |
[KST2017007439][한국전기연구원] | 전계제한링이 형성된 전력반도체용 소자 및 그 제조방법(Power semiconductor device and a method of manufacturing the same electric field limiting ring is formed) | 새창보기 |
[KST2014012543][한국전기연구원] | 자기안내 리프트의 안내 제어시스템 | 새창보기 |
[KST2015163242][한국전기연구원] | 틸트형 멀티 턴 릴투릴 이송장치 | 새창보기 |
[KST2017007334][한국전기연구원] | 아민계 폴리머를 포함한 다이오드 제조방법(Diode manufacturing method, including the amine-based polymer) | 새창보기 |
[KST2018004656][한국전기연구원] | 실리콘 카바이드 반도체 소자의 제조방법(MANUFACTURING METHOD OF SILICON-CARBIDE TRENCH SCHOTTKY BARRIER DIODE) | 새창보기 |
[KST2018003618][한국전기연구원] | 전력 반도체 소자(POWER SEMICONDUCTOR DEVICE) | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|