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수평방향과 수직방향으로 이송 가능한 이송장치에 있어서, 영구자석 여자 횡자속 방식의 수평축 선형전동기와; 상기 수평축 선형전동기의 고정자 부분이 고정되는 받침대와; 상기 수평축 선형전동기의 이동자 부분이 고정되고 이 이동자 부분과 함께 수평방향으로 움직이는 수평 이동자 고정대와; 상기 받침대의 양측부와 상기 수평 이동자 고정대의 양측부에서 서로 마주 보는 방향으로 형성되어 상기 수평 이동자 고정대와 상기 수평축 선형전동기의 이동자 부분이 수평방향으로 원활하게 이송되도록 하는 선형 베어링을 구비한 수평 이송수단과, 영구자석여자 횡자속 방식의 수직축 선형전동기와; 상기 수직축 선형전동기의 고정자 부분이 고정되는 것으로 상기 수평 이동자 고정대에 수직하게 설치된 수직 이송지지대와; 상기 수직축 선형전동기의 이동자 부분이 고정되고 이 이동자 부분과 함께 상기 이송대상을 수직방향으로 움직이는 수직 이동자 고정대를 구비한 수직 이송수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 수평축 선형전동기의 이동자는, 다리부분이 전·후방향으로 일정 극간격 τp 만큼 비틀어지게 형성한 ∩형상의 다수의 철심과, 상기 철심과 같은 형상인 다수의 영구자석이 교번적으로 서로 밀착결합되며, ∩형상의 다수의 철심과 다수의 영구자석의 결합구조의 동일방향 다리끼리 각각 권선으로 감싸는 형태로 구성되고, 상기 수평축 선형전동기의 고정부는 ∩형상의 다수의 철심과 다수의 영구자석의 결합구조의 양측 다리의 하측에 서로 2배의 극간격 2τp의 간격을 유지하여 설치되는 다수의 철심으로 구성되며, 상기 이웃하는 영구자석끼리는 서로 다른 자극을 갖는 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 3항에 있어서, 상기 수평축 선형전동기를 구동하는 수평 구동회로를 포함하여 구성되고, 상기 수평구동회로는 상기 이동자의 상기 일정한 극간격 τp에 따라서 상기 권선에 공급되는 전류 방향을 바꾸는 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 3항에 있어서, 상기 수평축 선형전동기는 하나의 고정자에 대응하여 2개의 이동자가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 5항에 있어서, 상기 두 개의 수평축 선형전동기를 구동하는 수평 구동회로를 포함하여 구성되고, 상기 수평구동회로는 상기 각 수평축 선형전동기의 이동자의 상기 일정 극간격 τp에 대응하는 이동단위에 따라서 상기 각 수평축 선형전동기의 권선에 공급되는 전류 방향을 바꾸며, 상기 각 수평축 선형전동기의 권선에 공급되는 전류는 상기 일정 극간격 τp의 1/2에 대응하는 위상차를 갖는 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 수직축 선형전동기의 고정자는, U형상의 철심이 2배의 극간격 2τp 간격을 두고서 설치되고 상기 다수의 U형상 철심의 각각 동일방향 돌출부끼리 각각 권선으로 감싸는 형태로 구성되고, 상기 수직축 선형전동기의 이동자는, 상기 일정 극간격 τp 만큼 비틀어진 다수의 철심과 상기 철심과 같은 형상인 다수의 영구자석이 교번적으로 서로 밀착결합된 형태로 구성되고, 이 밀착결합된 구조가 상기 U형상 철심들의 돌출부 사이에 위치하며, 상기 이웃하는 영구자석끼리는 서로 다른 자극을 갖는 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 8항에 있어서, 상기 수직축 선형전동기를 구동하는 수직 구동회로를 포함하여 구성되고, 상기 수직구동회로는 상기 이동자의 상기 일정 극간격 τp에 대응하는 이동단위에 따라서 상기 권선에 공급되는 전류 방향을 바꾸는 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 수직이송수단은, 두 개의 영구자석여자 횡자속 방식의 수직축 선형전동기와; 상기 두 개의 수직축 선형전동기의 고정자 부분이 각각 고정되는 것으로 상기 수평 이동자 고정대에서 서로 일정 거리를 두고서 수직하게 설치된 두 개의 수직 이송지지대와; 상기 두 개의 수직축 선형전동기의 이동자 부분이 고정되고 이 이동자 부분과 함께 상기 이송대상을 수직방향으로 움직이는 수직 이동자 고정대를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 10항에 있어서, 상기 수직축 선형전동기의 고정자는, U형상의 철심이 2배의 극간격 2τp 간격을 두고서 설치되고 상기 다수의 U형상 철심의 각각 동일방향 돌출부끼리 각각 권선으로 감싸는 형태로 구성되고, 상기 수직축 선형전동기의 이동자는, 상기 일정 극간격 τp 만큼 비틀어진 다수의 철심과 상기 철심과 같은 형상인 다수의 영구자석이 교번적으로 서로 밀착결합된 형태로 구성되고, 이 밀착결합된 구조가 상기 U형상 철심들의 돌출부 사이에 위치하며, 상기 이웃하는 영구자석끼리는 서로 다른 자극을 갖는 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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제 11항에 있어서, 상기 두 개의 수직축 선형전동기를 구동하는 수직 구동회로를 포함하여 구성되고, 상기 수직구동회로는 상기 각 수직축 선형전동기의 이동자의 상기 일정 극간격 τp에 대응하는 이동단위에 따라서 상기 각 수평축 선형전동기의 권선에 공급되는 전류 방향을 바꾸며, 상기 각 수직축 선형전동기의 권선에 공급되는 전류는 상기 일정 극간격 τp의 1/2에 대응하는 위상차를 갖는 것을 특징으로 하는 수평 및 수직 이송장치
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