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선형전동기의 고정자의 상단면에 대면하는 이동자의 하면부 소정 부위에 설치되며, 이동자의 이동에 따라 고정자의 요철 구조의 변화에 대응하는 검출신호를 출력하는 근접센서; 선형전동기의 고정자의 측면에 위치하는 이동자 가이드용 레일에 접촉되도록 이동자의 하면부 소정 부위에 설치되며, 이동자의 이동에 따라 레일에 접촉되어 회전하는 회전부재의 회전수를 카운팅하여 그에 상응하는 신호를 출력하는 회전형 엔코더; 상기 근접센서로부터의 출력신호를 입력받아 신호 레벨을 변환하여 출력하는신호처리장치; 상기 신호처리장치의 출력신호를 입력받아 상기 근접센서의 상승에지를 검출하는 한편 상기 회전형 엔코더로부터의 두 개의 펄스 신호를 입력받아 두 펄스 간의 우선 순위에 따라 방향을 판정하는 논리소자; 및 장치의 시스템 전체를 총괄적으로 제어하며, 상기 논리소자로부터 근접센서의 상승에지신호 및 방향 판정신호와 회전형 엔코더의 현재의 카운터값을 일정한 시간 간격으로 읽어들여, 이동자의 전체 이동 거리를 연산하는 주제어부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 선형전동기의 위치 검출장치
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