| 1 |
1
진공 챔버의 내부에 원통금형 스테이지를 장착하고,
상기 원통금형 스테이지에 결합된 원통금형을 움직이면서 상기 원통금형에 전자빔을 조사하여,
상기 원통금형에 미리 도포한 감광막이나 잠상막 상에 상기 전자빔이 조사되는 부분을 따라 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 외부로부터의 상기 전자빔을 상기 원통금형 쪽으로 조사시키기 위한 헤드에 대한 상기 원통금형의 수평 위치가 상기 진공 챔버에 결합된 벨로즈에 의하여 일정거리 확보되어, 상기 원통금형의 일정 면적에 연속적으로 패턴하는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 원통금형은 상기 원통금형 스테이지의 양쪽 끝의 각 핀에 의하여 지지되며, 회전 모터를 이용하여 한쪽핀을 회전시켜 상기 원통금형을 회전시키며, 핀 이송용 수동 스테이지를 이용하여 다른쪽 핀을 수평으로 이송하는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 회전 모터는 회전변위 센서 스케일부의 회전 변위를 측정하는 회전변위 센서헤드의 제어에 따라 회전 속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, X축 나노급 스캐닝 스테이지를 이용하여 상기 진공 챔버를 직선 운동시키는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 X축 나노급 스캐닝 스테이지의 양측면에는 대칭적으로 바닥면과 측면에서 접촉하면서 슬라이딩하는 에어베어링 슬라이더를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 7 |
7
제5항에 있어서, 상기 X축 나노급 스캐닝 스테이지의 운동 시에 자세 제어 스테이지를 이용하여 상기 진공 챔버의 위치 에러를 보상하는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 8 |
8
제7항에 있어서, 상기 자세 제어 스테이지는 경사면 위의 에어베어링 슬라이더를 이용하여 수평 방향으로 입력된 힘을 상기 진공 챔버 쪽의 수직 방향으로 출력하는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 9 |
9
제7항에 있어서, 능동 제진기를 이용하여 상기 X축 나노급 스캐닝 스테이지와 상기 자세 제어 스테이지의 진동을 감소시키는 것을 특징으로 하는 노광기
|
| 10 |
10
진공 챔버의 내부에서 원통금형을 움직이면서 상기 원통금형에 미리 도포한 감광막이나 잠상막 상에 전자빔을 조사하여 상기 전자빔이 조사되는 부분을 따라 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 노광 방법
|
| 11 |
11
제10항에 있어서, 상기 노광 방법은 나노급 패턴의 형성에 이용되는 것을 특징으로 하는 노광 방법
|
