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기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판;
상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대;
상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;
을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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청구항 1에 있어서, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축이 설치되는 지지대;
모터축을 통해 상기 지지축과 연결되고, 상기 지지대에 위치되는 모터;
상기 지지대에 구성되는 힌지축과 힌지결합되는 힌지부와, 부채꼴로 마련되는 가이드부를 구비하는 몸체;
가 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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청구항 3에 있어서,
상기 가이드부는 상기 지지대의 회전을 가이드하는 가이드 라인 및 상기 지지대를 일측에 고정시키는 고정장치가 더 포함 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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청구항 3에 있어서, 상기 지지축은 베어링을 개재하여 설치되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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6
기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
원통형 기판이 장착되어 회전하는 회전판;
상기 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축이 설치되는 수평이동대;
상기 원통형 기판의 일측을 고정하는 고정용 척;
상기 고정용 척과 기어결합되어 변속비를 조절할 수 있는 기어박스;
상기 기어박스와 연결되는 헬리컬 기어가 구비되는 헬리컬 기어박스;
제어부에 의해 회전속도가 조절되고, 상기 회전판을 관통하는 헬리컬 기어와 모터축이 연결되는 모터;
상기 수평이동대를 길이방향의 가장자리에 복수로 장착하고, 스플라인으로 형성되는 상기 모터축과 연결되는 회전판;
을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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7
기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
각각 회전판의 내측과 가장자리에 마련되며, 원통형 기판의 중심축이 연결되는 지지축이 설치되는 고정대와 수평이동대;
내측에 수직방향으로 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정간격 떨어진 가장자리에 장착되는 복수의 수평이동대를 갖는 회전판;
상기 수평이동대에서 일정 간격 이격된 위치의 회전판에 복수로 구성되는 고정대;
상기 고정대 사이에 장착되어 상기 원통형 기판의 중심축에 연결되는 헬리컬 기어가 구비되는 헬리컬 기어박스;
상기 회전판을 관통하는 헬리컬 기어와 연결되는 모터축이 구비되고, 제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터;
원주를 따라 다수의 전자석이 설치되고, 상기 회전판이 내부에 장착되며, 일측에 배출구가 형성되는 몸체;
상기 수평이동대의 외측면에 장착되는 영구자석;
을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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8
청구항 1, 청구항 6 및 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수평이동대는 수평방향으로 이동하기 위하여 수평이동수단이 더 포함되어 장착되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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9
청구항 1 또는 청구항 6에 있어서, 상기 회전판은 배출구가 형성된 챔버 내부에 장착되고, 이 챔버와 탈착 가능한 덮개가 배기구를 형성하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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10
청구항 9에 있어서,
상기 모터축은 베어링을 개재하여 구성되고, 상기 회전판은 판 베어링을 개재하여 챔버에 장착되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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11
청구항 6 또는 청구항 7에 있어서, 상기 지지축은 베어링을 개재하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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12
청구항 7에 있어서,
상기 모터축은 베어링을 개재하고, 상기 회전판은 판 베어링을 개재하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터
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스핀 코터를 이용한 코팅방법에 있어서,
코팅액 도포장치의 코팅액 베스에 코팅액을 채우고, 원통형 기판을 핸들에 의해 회전 가능하도록 상기 코팅액 베스에 설치된 지지축에 연결한 다음, 상기 핸들을 돌리면서 상기 원통형 기판에 코팅액을 도포하는 도포단계;
전면에 코팅액이 도포된 원통형 기판을 스핀 코터의 회전판에 구성되는 수평이동대와 고정대에 설치된 지지축에 연결하여 장착하고, 상기 고정대의 높이조절장치를 조절하여 상기 원통형 기판의 중심축의 기울기를 조절한 다음, 상기 회전판과 연결된 모터를 구동시켜, 상기 회전판에 회전력을 전달하여, 상기 원통형 기판을 상기 회전판과 일정각도를 이루게 한 상태에서 회전시켜, 원심력에 의해 얇고 균일한 코팅막을 형성하도록 하는 코팅막 성형단계;
코팅막을 형성한 원통형 기판을 베이킹 챔버의 지지축에 연결장착하고, 상기 지지축에 연결된 모터를 통해 상기 원통형 기판을 회전시키면서, 상기 베이킹 챔버 내부에 장착된 히터의 온도를 조절하여 코팅막을 밀착건조시키는 베이킹 단계;
를 포함하여, 상기 원통형 기판에 얇고 균일한 고정밀도의 코팅막을 형성하는 코팅방법
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스핀 코터를 이용한 코팅방법에 있어서,
코팅액 도포장치의 코팅액 베스에 코팅액을 채우고, 원통형 기판을 핸들에 의해 회전 가능하도록 상기 코팅액 베스에 설치된 지지축에 연결한 다음, 상기 핸들을 돌리면서 상기 원통형 기판에 코팅액을 도포하는 도포단계;
전면에 코팅액이 도포된 원통형 기판을 스핀 코터의 지지대에 설치된 지지축에 연결하여 장착하고, 상기 지지대를 몸체의 가이드 라인을 따라 회전시켜 지면에 대해 0~90°사이의 일정각도로 고정한 다음, 상기 원통형 기판을 회전시켜 원심력과 중력에 의해 얇고 균일한 코팅막을 형성하는 코팅막 성형단계;
코팅막을 형성한 원통형 기판을 베이킹 챔버의 지지축에 연결장착하고, 상기 지지축에 연결된 모터를 통해 상기 원통형 기판을 회전시키면서, 상기 베이킹 챔버 내부에 장착된 히터의 온도를 조절하여 코팅막을 밀착건조시키는 베이킹 단계;
를 포함하여, 상기 원통형 기판에 얇고 균일한 코팅막을 형성하도록 하는 코팅방법
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스핀 코터를 이용한 코팅방법에 있어서,
코팅액 도포장치의 코팅액 베스에 코팅액을 채우고, 원통형 기판을 핸들에 의해 회전 가능하도록 상기 코팅액 베스에 설치된 지지축에 연결한 다음, 상기 핸들을 돌리면서 상기 원통형 기판에 코팅액을 도포하는 도포단계;
전면에 코팅액이 도포된 원통형 기판의 일측을 고정용 척에 장착하고, 타측을 스핀 코터의 회전판의 수평이동대에 회전 가능하게 설치된 지지축에 연결한 다음, 상기 회전판을 회전시키는 동시에, 변속 가능한 기어박스를 통해 상기 고정용 척과 연결된 헬리컬 기어를 이용하여 상기 원통형 기판을 회전시켜, 서로 다른 방향의 회전 운동에 의한 원심력이 상기 원통형 기판에 작용하도록 하여, 얇고 균일한 코팅막을 형성하는 코팅막 성형단계;
코팅막을 형성한 원통형 기판을 베이킹 챔버의 지지축에 연결장착하고, 상기 지지축에 연결된 모터를 통해 상기 원통형 기판을 회전시키면서, 상기 베이킹 챔버 내부에 장착된 히터의 온도를 조절하여 코팅막을 밀착건조시키는 베이킹 단계;
를 포함하여, 상기 원통형 기판에 얇고 균일한 코팅막을 형성하도록 하는 코팅방법
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스핀 코터를 이용한 코팅방법에 있어서,
코팅액 도포장치의 코팅액 베스에 코팅액을 채우고, 원통형 기판을 핸들에 의해 회전 가능하도록 상기 코팅액 베스에 설치된 지지축에 연결한 다음, 상기 핸들을 돌리면서 상기 원통형 기판에 코팅액을 도포하는 도포단계;
전면에 코팅액이 도포된 원통형 기판을 스핀 코터의 회전판에 구성되는 수평이동대와 고정대에 설치된 지지축에 연결장착하고, 모터와 연결된 헬리컬 기어를 이용하여 상기 원통형 기판을 회전시키며, 상기 수평이동대에 부착된 영구자석과 상기 회전판이 장착된 몸체의 원주를 따라 설치되어 순차적으로 작동하는 전자석에 의해 상기 회전판이 회전되어, 서로 다른 방향의 회전 운동에 의한 원심력이 상기 원통형 기판에 작용하도록 하여, 얇고 균일한 코팅막을 형성하는 코팅막 성형단계;
코팅막을 형성한 원통형 기판을 베이킹 챔버의 지지축에 연결장착하고, 상기 지지축에 연결된 모터를 통해 상기 원통형 기판을 회전시키면서, 상기 베이킹 챔버 내부에 장착된 히터의 온도를 조절하여 코팅막을 밀착건조시키는 베이킹 단계;
를 포함하여, 상기 원통형 기판에 얇고 균일한 코팅막을 형성하도록 하는 코팅방법
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