맞춤기술찾기

이전대상기술

이종 물질의 동시증착에 의한 초전도 박막의 완충층

  • 기술번호 : KST2014012496
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초전도 박막의 완충층에 관한 것으로, 이종의 물질을 동시에 증착할 수 있는 다수개의 증착장치로부터 증착성분이 기판에 도달되는 경로를 제어하여 단일 완충층이 증착되는 것을 특징으로 하는 이종 물질의 동시증착에 의한 초전도 박막의 완충층을 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 이종 물질의 동시증착에 의해 초전도 박막의 완충층을 단일 공정으로 증착시킬 수 있어 초전도 박막의 제조 시간 단축 및 비용의 저렴화로 경제적이며, 또한 이종 물질의 동시증착에 의해 초전도 박막의 단일 완충층은 기판의 결정 배향성이 초전도층까지 유지되고 기판의 성분에 대한 확산장벽으로 충분한 역할을 수행할 수 있는 새로운 완충층으로써 기대되고 있으며, 또한 상기 초전도 박막의 완충층으로써, YZO층(Yttrium Zirconium Oxide layer) 또는 CZO층(Cerium Zirconium Oxide layer)을 포함하는 초전도 박막의 완충층을 제공하며, 이는 종래의 YSZ(Yittrium Stablized Zirconium)와는 완전히 다른 신물질로써 초전도 특성을 개선시키는 이점이 있다. 동시증착 단일 완충층 YSZ YZO CZO 스파터링 이배퍼레이션 이-빔
Int. CL C23C 14/24 (2006.01)
CPC C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01)
출원번호/일자 1020060083323 (2006.08.31)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0908066-0000 (2009.07.09)
공개번호/일자 10-2008-0020191 (2008.03.05) 문서열기
공고번호/일자 (20090715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.31)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김태형 대한민국 대구광역시 북구
2 오상수 대한민국 경상남도 창원시
3 김호섭 대한민국 경상남도 김해시
4 하동우 대한민국 경상남도 창원시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2006-0629805-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0028464-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0377226-33
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0655092-19
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.10.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0722582-29
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0805574-33
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.12.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0885997-96
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0886027-13
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2008.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0183293-77
11 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2008.05.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2008-0022950-28
12 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2008.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0314164-25
13 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2008.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0314163-80
14 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2008.07.11 수리 (Accepted) 7-8-2008-0022755-39
15 등록결정서
Decision to grant
2009.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0158279-96
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 일측에서 타측으로 공급되면서 감기게 되는 릴투릴(reel-to-reel)장치가 형성되어 이종의 물질을 동시에 증착할 수 있는 다수개의 증착장치로부터 증착성분이 기판에 도달되는 경로를 제어하여 YZO층을 포함하는 단일 완충층이 증착되는 것을 특징으로 하는 이종 물질의 동시증착에 의한 초전도 박막의 완충층
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 완충층은, YZO/CeO2으로 형성된 것을 특징으로 하는 이종 물질의 동시증착에 의한 초전도 박막의 완충층
4 4
기판이 일측에서 타측으로 공급되면서 감기게 되는 릴투릴(reel-to-reel)장치가 형성되어 이종의 물질을 동시에 증착할 수 있는 다수개의 증착장치로부터 증착성분이 기판에 도달되는 경로를 제어하여 CZO층을 포함하는 단일 완충층이 증착되는 것을 특징으로 하는 이종 물질의 동시증착에 의한 초전도 박막의 완충층
5 5
제 4항에 있어서, 상기 완충층은, CeO2/CZO로 형성된 것을 특징으로 하는 이종 물질의 동시증착에 의한 초전도 박막의 완충층
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.