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(a) 다수의 박막 세라믹 테이프를 적층 성형하여 단위 세라믹 성형체를 제작하는 단계; (b) 상기 단위 세라믹 성형체를 소정 형상의 지그 속에 상호 소정 간격으로다수개 배열 설치하는 단계; (c) 상기 배열 설치된 다수의 단위 세라믹 성형체들 사이에 세라믹 슬러리 접착체를 주입하여 접착 및 건조시키는 단계; (d) 상기 세라믹 슬러리 접착제에 의해 접착된 세라믹 적층 구조체를 가열 및 압착하는 단계; 및 (e) 상기 가열 및 압착 과정을 거친 세라믹 적층 구조체를 소정 시간 동안 건조시킨 후, 동시 소성 공정을 수행하여 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조를 완료하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 단계 (c)에서의 세라믹 슬러리 접착제는 그 주요 구성물질이 상기 단위 세라믹 성형체의 조성과 동일한 조성을 가지는 물질로 구성되며, 여기에 용매, 결합제를 적절히 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 단계 (c)에서의 단위 세라믹 성형체와 세라믹 슬러리 접착제의 접합은 순차적 접합방식에 의해 접합하되, 그 순차적 접합방식은(a) 두 개의 단위 세라믹 성형체를 지그 안에 위치시키는 단계;(b) 세라믹 슬러리 접착제를 상기 양측 단위 세라믹 성형체의 서로 대면하는 면에 소정 두께로 도포하는 단계; (c) 소정의 온도에서 소정 압력으로 지그의 양측면에 소정의 압력 증가 속도로 서서히 가압하여 소정 시간 동안 압착하는 단계; (d) 상기 1단계의 접합공정이 완료되면, 상기 접합 성형체를 냉각 및 건조시킨 후, 지그의 압착강도를 거의 0(zero)에 가깝도록 충분히 낮춘 상태에서 기접합된 성형체에 제3의 다른 단위 세라믹 성형체를 나란히 위치시키는 단계; 및 (e) 상기 기접합 성형체와 제3의 단위 세라믹 성형체의 서로 대면하는 양측 표면에 세라믹 슬러리 접착제를 도포하고, 상기 단계(c)에서와 같은 방식으로 지그의 양측면에 압력을 가하여 압착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 단계 (c)에서의 단위 세라믹 성형체와 세라믹 슬러리 접착제의 접합은 일괄 접합방식에 의해 접합하되, 그 일괄 접합방식은(a) 2개 이상의 단위 세라믹 성형체를 압착 지그 내에 나란히 위치시키는 단계; (b) 상기 성형체들 간의 서로 대면하는 각각의 면에 세라믹 슬러리 접착제를 도포하는 단계; (c) 소정의 압력으로 상기 지그의 양측면을 가압하는 단계; 및 (d) 상기 단계(c)의 가압에 의해 성형체들과 세라믹 슬러리 접착제의 접착과정이 완료되면, 고정죔쇠를 이용하여 지그의 양측면의 위치를 고정시킨 후, 외부의 압력을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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