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다수의 판을 적층하여 구성되는 잉크젯에 있어서, 상, 하부 전극 및 그 사이에 압전판이 삽입되어 가압부가 형성되고, 상기 상부전극의 상측에 보호층이 위치되고, 상기 하부전극의 하측에 탄성판이 배치되어 채널의 상측면을 형성하여 구성되는 위판과 상기 위판의 하측에 채널판이 배치되어 채널의 측면을 형성하고, 상기 채널판의 하측에 하부판이 배치되어 채널의 하측면을 형성하여 구성되는 아래판이 접합되어 채널이 내측에 형성되는 나노 잉크젯 프린터헤드가 구성되고, 상기 채널은 잉크 채널 및 하나 이상의 공기 채널로 구분되어 상기 위판을 관통하는 잉크 공급부 및 공기 공급부와 연결되고, 상기 잉크 채널 및 공기 채널이 한 지점으로 수렴되어 잉크 채널의 잉크와 공기 채널의 공기가 내측 및 외측에 위치한 잉크-공기유동을 생성하는 집속부와, 상기 집속부의 잉크-공기유동을 외부로 안내하는 잉크-공기 채널이 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드
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청구항 1에 있어서, 상기 집속부는 상기 잉크 채널과 공기 채널이 90도 이하의 각도로 만나도록 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드
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청구항 2에 있어서, 상기 가압부 하측의 탄성판에는 압력 챔버가 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드
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청구항 3에 있어서, 상기 잉크 공급부의 상측에 잉크 가압펌프가 설치되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드
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청구항 4에 있어서, 상기 잉크 공급부 및 공기 공급부는 아래판의 구멍이 위판의 구멍보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드
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6
청구항 1 내지 청구항 5중 어느 한 항에 있어서, 상기 공기 채널과 잉크-공기 채널은 그 단면이 마름모 형태인 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드
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7
청구항 6에 있어서, 상기 탄성판과 하부판은 그 재료가 Si인 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드
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Si판의 상측에 SiO2을 원하는 두께로 증착하는 증착단계와, 상기 증착된 SiO2층을 마스크와 자외선으로 원하는 선폭과 형상으로 노광하는 노광단계와, 상기 노광단계를 거친 후 습식 에칭으로 노광된 SiO2을 제거하여 원하는 형상의 잉크, 공기, 잉크-공기 채널을 형성시키는 채널형성단계를 포함하는 아래판 제조단계와; 상, 하부 전극 및 그 사이에 압전판이 삽입되어 가압부가 형성되는 단계와, 상기 상부전극의 상측에 보호층이 위치되고, 상기 하부전극의 하측에 탄성판이 위치되는 단계와, 상기 보호층에서 탄성판을 관통하는 잉크 및 공기 공급부를 가공하는 단계를 포함하는 위판 제조단계와; 상기 아래판과 위판을 접착제로 접합하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드의 제조방법
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청구항 8에 있어서, 상기 공기 채널 및 잉크-공기 채널의 상하면에 이방성 KOH 습식에칭으로 마름모 형태로 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드의 제조방법
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청구항 8 또는 청구항 9에 있어서, 상기 가압부의 하측에 위치한 탄성판에 이방성 KOH 습식에칭으로 압력챔버를 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드의 제조방법
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청구항 8 또는 청구항 9에 있어서, 상기 가압부의 하측에 위치한 탄성판에 이방성 KOH 습식에칭으로 압력챔버를 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터헤드의 제조방법
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