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원자층 증착법을 이용한 휘발성 유기화합물(ＶＯＣ)의 제거방법

  • 기술번호 : KST2014033174
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자층 증착법(ALD)을 이용한 휘발성 유기화합물(VOC)의 제거방법에 관한 것으로, 구체적으로 원자층 증착법을 이용하여 지지체 표면에 TiO2 박막을 균일하게 증착시켜 휘발성 유기화합물(VOC) 제거제를 제조하는 단계; 상기 휘발성 유기화합물(VOC) 제거제에 휘발성 유기화합물(VOC)을 접촉시키는 단계; 및 상기 접촉에 의해 상기 휘발성 유기화합물(VOC) 제거제의 색이 변화하는 단계를 포함하고,상기 단계는 광촉매의 사용 없이 수행되는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법에 관한 것이다. 원자층 증착법, 박막, 이산화티타늄, 휘발성 유기화합물, VOC, 광촉매, 연소법
Int. CL C23C 16/40 (2006.01) B01D 53/86 (2006.01) C23C 16/06 (2006.01)
CPC B01D 53/8668(2013.01) B01D 53/8668(2013.01) B01D 53/8668(2013.01) B01D 53/8668(2013.01) B01D 53/8668(2013.01)
출원번호/일자 1020090086091 (2009.09.11)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1104620-0000 (2012.01.03)
공개번호/일자 10-2011-0028139 (2011.03.17) 문서열기
공고번호/일자 (20120112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.11)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나원 중국 경기도 수원시 장안구
2 김명주 대한민국 경기도 수원시 권선구
3 태위승 중국 경기도 수원시 장안구
4 김영독 대한민국 경기도 수원시 영통구
5 김광대 대한민국 인천광역시 남동구
6 서현욱 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0561612-04
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.04.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.05.03 수리 (Accepted) 9-1-2011-0037993-83
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0256792-21
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0535248-81
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0535247-35
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0710865-94
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원자층 증착법(ALD)을 이용한 휘발성 유기화합물(VOC)의 제거방법에 있어서, 원자층 증착법을 이용하여 지지체 표면에 TiO2 박막을 균일하게 증착시켜 휘발성 유기화합물(VOC) 제거제를 제조하는 단계(단계 1); 상기 휘발성 유기화합물(VOC) 제거제에 휘발성 유기화합물(VOC)을 접촉시키는 단계(단계 2); 및 상기 접촉에 의해 상기 휘발성 유기화합물(VOC) 제거제의 색이 변화하는 단계(단계 3)를 포함하고, 상기 단계는 광촉매의 사용 없이 수행되는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 단계(1)의 TiO2 박막은 Ti(OC2H5)4, Ti(OCH(CH3)2)4 또는 TiCl4와, 증류수를 순차적으로 주입하여 증착시키는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 단계(1)의 TiO2 박막의 두께는 Ti(OC2H5)4, Ti(OCH(CH3)2)4 또는 TiCl4와, 증류수의 순차적인 주입의 반복 횟수에 따라 원자층 수준에서 조절하는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 단계(1)의 TiO2 박막의 두께가 수백 나노미터인 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 단계(1)은 350℃ 미만에서 수행되는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 단계(2) 및 단계(3)은 암실에서 수행되는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 단계(2) 및 단계(3)은 실온에서 수행되는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 단계(2) 및 단계(3)은 대기압에서 수행되는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기화합물(VOC) 제거방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 환경부 환경기술진흥원 차세대핵심환경기술개발사업 원자층 증착을 통한 환경오염물질 제거 고효율 나노촉매 개발