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와이어 어레이를 이용한 태양광 전지 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014033671
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 와이어 어레이를 이용한 태양광 전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 상기 태양광 전지는, 기판; 상기 기판의 표면으로부터 수직하게 돌출된 다수개의 와이어(wire)들이 어레이(array) 형태로 형성되며, 각 와이어들은 동심원 형태로 pn 접합이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어 어레이; 상기 와이어 어레이의 표면에 형성된 투명 전극층; 절연성의 물질로 상기 투명 전극층이 형성된 와이어들의 사이를 충진하되 상기 와이어들의 사전에 설정된 높이까지만 충진된 충진층; 충진층이 형성되지 않은 와이어들의 표면 및 상기 충진층의 상부 표면에 형성된 상부 투명 전극층; 상기 투명 전극층의 상부 표면에 형성된 상부 전극;을 구비한다. 상기 와이어 어레이의 각 와이어는, 와이어의 중심 영역에 제1 반도체 유형으로 구성된 와이어 코어; 및 와이어의 표면에 상기 와이어 코어와 반대 유형인 제2 반도체 유형으로 구성된 와이어 쉬스;로 형성된다. 상기 와이어 어레이는 전기 화학적 식각법 또는 귀금속 촉매 식각법을 이용하여 형성된다. 태양광 전지, 와이어 어레이, 나노선, 전기화학적 식각, 귀금속 촉매 식각
Int. CL H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01G 9/2027(2013.01) H01G 9/2027(2013.01) H01G 9/2027(2013.01) H01G 9/2027(2013.01) H01G 9/2027(2013.01)
출원번호/일자 1020090131472 (2009.12.28)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자 10-1027493-0000 (2011.03.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110406) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.28)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재현 대한민국 대구광역시 달서구
2 백성호 대한민국 대구광역시 동구
3 우성호 대한민국 대구광역시 북구
4 장환수 대한민국 대구광역시 달서구
5 최호진 대한민국 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0804850-31
2 보정요구서
Request for Amendment		 2010.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0001030-69
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2010-5006262-09
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2010-0079310-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2010-5060059-92
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5007932-94
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0160415-61
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5164104-34
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5164108-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2013-5149764-85
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판의 표면으로부터 수직하게 돌출된 다수개의 와이어(wire)들이 어레이(array) 형태로 형성되며, 각 와이어들은 동심원 형태로 pn 접합이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어 어레이; 상기 와이어 어레이의 표면에 형성된 투명 전극층; 절연성의 물질로 상기 투명 전극층이 형성된 와이어들의 사이를 충진하되 상기 와이어들의 사전에 설정된 높이까지만 충진된 충진층; 충진층이 형성되지 않은 와이어들의 표면 및 상기 충진층의 상부 표면에 형성된 상부 투명 전극층; 상기 투명 전극층의 상부 표면에 형성된 상부 전극;을 구비하고, 상기 와이어 어레이의 각 와이어는, 와이어의 중심 영역에 제1 반도체 유형으로 구성된 와이어 코어; 및 와이어의 표면에 상기 와이어 코어와 반대 유형인 제2 반도체 유형으로 구성된 와이어 쉬스; 로 형성되는 것을 특징으로 하는 와이어 어레이를 이용한 태양광 전지
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판은 제1 반도체 유형으로 도핑된 반도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어 어레이를 이용한 태양광 전지
3 3
제1항에 있어서, 상기 충진층은 공극으로 구성되거나, 전기 절연성을 갖는 유기물, 무기물 및 유기물과 무기물의 혼합물 중 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 어레이를 이용한 태양광 전지
4 4
제1항에 있어서, 상기 투명 전극층은 TCO(Transparent Conductive Oxide) 및 Al2O3 중 하나로 이루어지며, 상기 투명 전극층은 원자층 증착법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 와이어 어레이를 이용한 태양광 전지
5 5
제1항에 있어서, 각 와이어의 와이어 코어는 100nm ~ 100㎛의 지름으로 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 어레이를 이용한 태양광 전지
6 6
제1항에 있어서, 상기 와이어 어레이는 전기 화학적 식각법 또는 귀금속 촉매 식각법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 와이어 어레이를 이용한 태양광 전지
7 7
(a) 기판의 표면에 역피라미드 형태의 에칭용 구멍(Etch pit)을 형성하는 단계; (b) 에칭용 구멍이 형성된 표면과 대향되는 기판의 후면에 전기화학적 식각용 전극을 형성하는 단계; (c) 기판을 전기화학적 식각하여 기판의 표면에 와이어 어레이를 형성하는 단계; (d) 와이어 어레이들에 pn 접합을 형성하여 와이어 코어 및 와이어 쉬스를 완성하는 단계; (e) 와이어 어레이들의 표면에 전기 전도성을 갖는 투명한 물질을 증착하여 투명 전극층을 형성하는 단계; (f) 투명 전극층이 형성된 와이어들의 사이에 절연성의 무기물 또는 무기물을 충진하거나 공극으로 구성하여 충진층을 형성하는 단계; (g) 충진층의 상부 표면 및 충진층이 형성되지 않은 와이어들의 상부 표면을 전기 전도성을 갖는 투명한 물질로 도포하여 상부 투명 전극층을 형성하는 단계; (h) 상부 투명 전극층의 상부에 배선용 금속 물질을 도포한 후 패터닝하여 상부 전극을 형성하는 단계; 를 구비하는 태양광 전지의 제조 방법
8 8
(a) 기판의 표면에 포토 레지스트를 도포한 후, 사진식각공정을 이용하여 식각할 영역의 포토 레지스트를 제거하는 단계; (b) 포토 레지스트가 패터닝된 기판의 표면에 귀금속을 증착하는 단계; (c) 귀금속이 증착된 기판을 HF를 함유하는 용액에 담궈 기판의 표면을 식각하여 기판의 표면에 와이어 어레이를 형성하는 단계; (d) 와이어 어레이들에 pn 접합을 형성하여 와이어 코어 및 와이어 쉬스를 완성하는 단계; (e) 와이어 어레이들의 표면에 전기 전도성을 갖는 투명한 물질을 증착하여 투명 전극층을 형성하는 단계; (f) 투명 전극층이 형성된 와이어들의 사이에 절연성의 무기물 또는 무기물을 충진하거나 공극으로 구성하여 충진층을 형성하는 단계; (g) 충진층의 상부 표면 및 충진층이 형성되지 않은 와이어들의 상부 표면을 전기 전도성을 갖는 투명한 물질로 도포하여 상부 투명 전극층을 형성하는 단계; (h) 상부 투명 전극층의 상부에 배선용 금속 물질을 도포한 후 패터닝하여 상부 전극을 형성하는 단계; 를 구비하는 태양광 전지의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 대구경북과학기술원 기관고유사업 고효율나노에너지 소재 및 소자개발