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(a) (ⅰ) 텅스텐 산화물, 텅스테이트, 니오복사이드, 몰리브덴 산화물, 몰리브테이드, 니켈 산화물, 티타늄 산화물, 바나듐 산화물, 이리듐 산화물, 망간 산화물, 코발트 산화물 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택되는 전이금속 산화물; (ⅱ) La1-zMgzHx, Y1-zMgzHx, Gd1-zMgzHx, Yhb, LaHb, SmHb, NiMg2Hx, CoMg2Hx 또는 이의 혼합물[z는 0-1, x는 0-5, 그리고 b는 0-3]로 구성된 군으로부터 선택되는 금속 수소화물; 또는 (ⅲ) 폴리비올로겐, 폴리티오펜, 폴리아닐린 및 프루시안 블루로 구성된 군으로부터 선택되는 스위칭 중합체를 포함하는 가스채색층(gasochromic layer); 및 (b) 상기 채색층 상에 증착된 팔라듐(Pb) 및 백금(Pt)을 포함하는 촉매층을 포함하는 수소 센서용 박막
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제 2 항에 있어서, 상기 채색층은 텅스텐 산화물, 텅스테이트, 니오복사이드, 몰리브덴 산화물, 몰리브테이드, 니켈 산화물, 티타늄 산화물, 바나듐 산화물, 이리듐 산화물, 망간 산화물, 코발트 산화물 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택되는 전이금속 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서용 박막
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제 1 항에 있어서, 상기 촉매층은 팔라듐으로 이루어진 층 및 백금으로 이루어진 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서용 박막
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제 1 항에 있어서, 상기 촉매층은 팔라듐과 백금의 합금층을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서용 박막
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제 1 항에 있어서, 상기 촉매층은 반응성 스퍼터링(reactive sputtering) 방식으로 채색층 상에 증착된 것을 특징으로 하는 수소 센서용 박막
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제 6 항에 있어서, 상기 반응성 스프터링은 RF(radio frequency) 스퍼터링 또는 DC 스퍼터링인 것을 것을 특징으로 하는 수소 센서용 박막
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제 1 항에 있어서, 상기 촉매층은 20-50 중량%의 팔라듐 및 50-80 중량%의 백금을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서용 박막
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상기 제 1 항 및 제 3 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 수소 센서용 박막이 기판 상에 증착된 수소센서
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제 9 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘, 유리, 석영, 융합 실리카, 스테인레스강, 마이카, 카본, 탄소나노튜브, 폴리머, 세라믹 및 자기(porcelain) 에나멜로 구성된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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