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가스에 반응하는 센서를 테스트하기 위한 센서 테스트 장치에 있어서,
상기 센서를 장착하기 위한 센서 장착부;
상기 센서가 반응하는 수소가스가 저장되며 서로 병렬로 연결되는 복수개의 수소가스저장탱크를 포함하는 수소가스 공급부;
상기 센서와 무반응성을 갖는 질소가스가 저장되며 서로 병렬로 연결되는 복수개의 질소가스저장탱크, 및 상기 센서와 무반응성을 갖는 산소가스가 저장되며 서로 병렬로 연결되는 복수개의 산소가스저장탱크를 포함하는 전달가스 공급부;
상기 수소가스저장탱크, 상기 질소가스저장탱크 및 상기 산소가스저장탱크의 합류지점에 제공되며, 상기 합류 지점을 통과하여 상기 센서 장착부를 통해 상기 센서로 공급되는 상기 수소가스, 상기 질소가스 및 상기 산소가스의 질량유량을 제어하기 위한 질량식 유량조절기; 및
상기 수소가스가 공급되는 동안 상기 수소가스저장탱크 중 수소가스를 공급하는 수소가스저장탱크의 수소가스 잔량이 일정 이하로 소진되면 상기 수소가스저장탱크 중 다른 수소가스저장탱크로부터 수소가스가 연속적으로 공급되도록 하고, 상기 질소가스가 공급되는 동안 상기 질소가스저장탱크 중 질소가스를 공급하는 질소가스저장탱크의 질소가스 잔량이 일정 이하로 소진되면 상기 질소가스저장탱크 중 다른 질소가스저장탱크로부터 질소가스가 연속적으로 공급되도록 하며, 상기 산소가스가 공급되는 동안 상기 산소가스저장탱크 중 산소가스를 공급하는 산소가스저장탱크의 산소가스 잔량이 일정 이하로 소진되면 상기 산소가스저장탱크 중 다른 산소가스저장탱크로부터 산소가스가 연속적으로 공급되도록 하는 컨트롤러;를 포함하고,
상기 센서의 테스트 동안 상기 질소가스 및 상기 산소가스는 연속적으로 공급되고, 상기 수소가스는 일정 주기로 비연속적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 장치
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제1항에 있어서,
상기 수소가스저장탱크, 상기 질소가스저장탱크 및 상기 산소가스저장탱크의 각 공급라인 상에는 공급되는 상기 수소가스, 상기 질소가스, 및 상기 산소가스를 조절하기 위한 적어도 하나 이상의 밸브가 구비되되,
상기 수소가스저장탱크 중 수소가스를 공급하는 수소가스저장탱크의 수소가스 잔량이 일정 이하로 소진되면, 상기 컨트롤러는 상기 수소가스저장탱크 중 다른 수소가스저장탱크에 해당되는 밸브를 개방시킨 후, 상기 수소가스를 공급하던 수소가스저장탱크에 해당되는 밸브를 차단하고,
상기 질소가스저장탱크 중 질소가스를 공급하는 질소가스저장탱크의 질소가스 잔량이 일정 이하로 소진되면, 상기 컨트롤러는 상기 질소가스저장탱크 중 다른 질소가스저장탱크에 해당되는 밸브를 개방시킨 후, 상기 질소가스를 공급하던 질소가스저장탱크에 해당되는 밸브를 차단하며,
상기 산소가스저장탱크 중 산소가스를 공급하는 산소가스저장탱크의 산소가스 잔량이 일정 이하로 소진되면, 상기 컨트롤러는 상기 산소가스저장탱크 중 다른 산소가스저장탱크에 해당되는 밸브를 개방시킨 후, 상기 산소가스를 공급하던 산소가스저장탱크에 해당되는 밸브를 차단하는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 장치
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제2항에 있어서,
상기 수소가스저장탱크, 상기 질소가스저장탱크 및 상기 산소가스저장탱크의 각 공급라인 상에 제공되어 상기 수소가스, 상기 질소가스, 및 상기 산소가스의 역류를 방지하는 체크밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 장치
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제1항에 있어서,
상기 센서는 수소가스에 노출될 시 광학적 특성이 변화하는 가스채색(gasochromic) 재질로 형성된 센서박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 장치
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제5항에 있어서,
상기 센서박막은 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 니켈(Ni)을 포함하는 전이금속군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 전이금속 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 장치
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제6항에 있어서,
상기 센서박막은 상기 전이금속 박막에 하부에 적층되는 산화텅스텐(WO3) 박막 또는 산화바나듐(V2O5) 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 장치
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가스에 반응하는 센서를 테스트하기 위한 센서 테스트 방법에 있어서,
수소가스가 저장되며 서로 병렬로 연결되는 복수개의 수소가스저장탱크를 포함하는 수소가스 공급부, 및 상기 센서와 무반응성을 갖는 질소가스가 저장되며 서로 병렬로 연결되는 복수개의 질소가스저장탱크와, 상기 센서와 무반응성을 갖는 산소가스가 저장되며 서로 병렬로 연결되는 복수개의 산소가스저장탱크를 포함하는 전달가스 공급부로부터 상기 센서로 상기 수소가스, 상기 질소가스 및 상기 산소가스를 공급하는 단계;
상기 수소가스가 공급되는 동안 상기 수소가스를 공급하는 수소가스저장탱크의 수소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진되었는지 여부, 상기 질소가스가 공급되는 동안 상기 질소가스를 공급하는 질소가스저장탱크의 질소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진되었는지 여부, 및 상기 산소가스가 공급되는 동안 상기 산소가스를 공급하는 산소가스저장탱크의 산소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진되었는지 여부를 판단하는 단계; 및
상기 수소가스를 공급하는 수소가스저장탱크의 수소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면 상기 복수개의 수소가스저장탱크 중 다른 수소가스저장탱크로부터 수소가스를 연속적으로 공급하고, 상기 질소가스를 공급하는 질소가스저장탱크의 질소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면 상기 복수개의 질소가스저장탱크 중 다른 질소가스저장탱크로부터 질소가스를 연속적으로 공급하며, 상기 산소가스를 공급하는 산소가스저장탱크의 산소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면 상기 복수개의 산소가스저장탱크 중 다른 산소가스저장탱크로부터 산소가스를 연속적으로 공급하는 단계;를 포함하되,
상기 센서로 상기 수소가스, 상기 질소가스 및 상기 산소가스를 공급하는 단계에서, 상기 질소가스 및 상기 산소가스는 연속적으로 공급되고, 상기 수소가스는 일정 주기로 불연속적으로 공급되며,
상기 수소가스 공급부 및 상기 전달가스 공급부의 합류 지점에 제공되는 질량식 유량조절기에 의해, 상기 합류 지점을 통과하는 상기 수소가스, 상기 질소가스 및 상기 산소가스는 기설정된 질량유량으로 일정하게 공급되는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 방법
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제16항에 있어서,
상기 수소가스를 공급하는 수소가스저장탱크의 수소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면 상기 복수개의 수소가스저장탱크 중 다른 수소가스저장탱크로부터 수소가스를 연속적으로 공급하고, 상기 질소가스를 공급하는 질소가스저장탱크의 질소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면 상기 복수개의 질소가스저장탱크 중 다른 질소가스저장탱크로부터 질소가스를 연속적으로 공급하며, 상기 산소가스를 공급하는 산소가스저장탱크의 산소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면 상기 복수개의 산소가스저장탱크 중 다른 산소가스저장탱크로부터 산소가스를 연속적으로 공급하는 단계에서,
상기 수소가스를 공급하는 수소가스저장탱크의 수소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면, 상기 복수개의 수소가스저장탱크 중 다른 수소가스저장탱크가 개방된 후, 상기 수소가스를 먼저 공급하던 수소가스저장탱크가 차단되고,
상기 질소가스를 공급하는 질소가스저장탱크의 질소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면, 상기 복수개의 질소가스저장탱크 중 다른 질소가스저장탱크가 개방된 후, 상기 질소가스를 먼저 공급하던 질소가스저장탱크가 차단되며,
상기 산소가스를 공급하는 산소가스저장탱크의 산소가스 잔량이 기설정된 설정량 이하로 소진된 것으로 판단되면, 상기 복수개의 산소가스저장탱크 중 다른 산소가스저장탱크가 개방된 후, 상기 산소가스를 먼저 공급하던 산소가스저장탱크가 차단되
는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 방법
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제16항에 있어서,
상기 센서는 수소가스에 노출될 시 광학적 특성이 변화하는 가스채색(gasochromic) 재질로 형성된 센서박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 방법
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제21항에 있어서,
상기 센서박막은 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 니켈(Ni)을 포함하는 전이금속군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 전이금속 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 방법
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제22항에 있어서,
상기 센서박막은 상기 전이금속 박막 박막에 하부에 적층되는 산화텅스텐(WO3) 박막 또는 산화바나듐(V2O5) 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 테스트 방법
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