| 1 |
1
고융점 희유금속의 성형체를 제조하기 위한 소결 방법에 있어서,
고융점 희유금속의 마이크로 분말을 형성하는 제1단계;
상기 마이크로 분말과 동일한 화학 조성의 나노 입자를 형성하는 제2단계;
마이크로 분말 입자의 표면에 나노 입자를 증착시켜서 혼합 분말을 형성하는 제3단계;
불활성 분위기에서 충진된 혼합 분말을 소결하는 제4단계;
를 포함하고,
상기 마이크로 입자 및 나노 입자는 각각 동종의 텅스텐 또는 티타늄 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 제3단계는,
열 플라즈마를 이용한 기상 응축 공정을 통해 마이크로 분말 입자의 표면에 나노 입자가 증착되는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,
상기 열 플라즈마는 RF 플라즈마로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 제4단계는,
충진된 혼합 분말에 펄스 전류를 통전시키는 스파크 플라즈마 공정을 통해 소결이 이루어지는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
고융점 희유금속의 성형체를 제조하기 위한 소결 방법에 있어서,
고융점 희유금속의 마이크로 분말을 형성하는 제1단계;
상기 마이크로 분말과 동일한 화학 조성의 나노 입자를 형성하는 제2단계;
마이크로 분말 입자의 표면에 나노 입자를 증착시켜서 혼합 분말을 형성하는 제3단계;
불활성 분위기에서 충진된 혼합 분말을 소결하는 제4단계;
를 포함하고,
상기 제2단계는,
챔버 내부로 나노 입자 형성을 위한 제2상 소재가 주입된 후 기화되고, 챔버 내부로 주입된 냉매 가스에 의해 기화된 제2상 소재가 나노 입자 형태로 응축됨으로써, 나노 입자가 형성되는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,
상기 제2상 소재는 플라즈마 토치에서 발생되는 열 플라즈마에 의해 기화되는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 8 |
8
제6항에 있어서,
나노 입자 형성을 위한 제2상 소재는 기상, 액상, 고상 중 어느 한 상의 형태로 챔버에 주입되는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 9 |
9
제6항에 있어서, 상기 제3단계는,
냉매 가스와 함께 마이크로 입자가 챔버 내부에 주입되고, 나노 입자가 마이크로 입자의 표면에서 응축됨으로써, 마이크로 분말 입자의 표면에 나노 입자가 증착되는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 10 |
10
제6항에 있어서,
챔버 내부에서 형성된 혼합 분말이 챔버 외부로 배출된 후, 다시 냉매 가스와 함께 챔버 내부로 주입되는 제3-1단계;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 11 |
11
제6항에 있어서,
상기 냉매 가스 및 마이크로 입자가 열 플라즈마에 대향되는 방향에서 챔버 내부로 주입되는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 12 |
12
제6항에 있어서,
상기 냉매 가스 및 마이크로 입자를 챔버 내부로 주입하는 배기노즐이 다수의 튜브 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속의 저온 소결 방법
|
| 13 |
13
상기 제1항 내지 제4항, 제6항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 소결 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 고융점 희유금속 성형체
|
