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실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 및 이를 위한 제조 방법, LED 칩

  • 기술번호 : KST2014035219
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르는 본 발명에 따르는 실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법은, (a) 제1절연기판, 상기 제1절연기판위에 형성된 다수개의 제1금속층, 상기 다수개의 제1금속층 위에 각각 형성된 다수개의 p 타입 나노 와이어 모듈을 포함하는 p 타입 나노 와이어층을 제조하는 단계; (b) 제2절연기판, 상기 제2절연기판 위에 형성된 다수개의 제2금속층, 상기 다수개의 제2금속층 위에 각각 형성된 다수개의 n 타입 나노 와이어 모듈을 포함하는 n 타입 나노 와이어 층을 제조하는 단계; (c) 상기 p 타입 나노 와이어층과 상기 n 타입 나노 와이어층을 서로 대향시켜 상기 다수개의 p 타입 나노 와이어 모듈과 상기 다수개의 n 타입 나노 와이어 모듈이 서로 맞물리게 결합하여 본딩하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B82B 3/00 (2006.01) H01L 35/34 (2006.01) H01L 35/32 (2006.01)
CPC H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01)
출원번호/일자 1020100082173 (2010.08.24)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1127541-0000 (2012.03.09)
공개번호/일자 10-2012-0019062 (2012.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상권 대한민국 충청남도 계룡시
2 김태홍 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
3 이승용 대한민국 전라북도 전주시 완산구
4 김길성 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
5 서덕원 대한민국 전라북도 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 전라북도 전주시 덕진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0546783-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2010-5245806-20
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.19 수리 (Accepted) 9-1-2011-0062315-34
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0564107-78
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0951536-72
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0951516-69
8 등록결정서
Decision to grant
2011.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0735996-96
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5206243-46
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법에 있어서, (a) 제1절연기판, 상기 제1절연기판위에 형성된 다수개의 제1금속층, 상기 다수개의 제1금속층 위에 각각 형성된 다수개의 p 타입 나노 와이어 모듈을 포함하는 p 타입 나노 와이어층을 제조하는 단계;(b) 제2절연기판, 상기 제2절연기판 위에 형성된 다수개의 제2금속층, 상기 다수개의 제2금속층 위에 각각 형성된 다수개의 n 타입 나노 와이어 모듈을 포함하는 n 타입 나노 와이어 층을 제조하는 단계;(c) 상기 p 타입 나노 와이어층과 상기 n 타입 나노 와이어층을 서로 대향시켜 상기 다수개의 p 타입 나노 와이어 모듈과 상기 다수개의 n 타입 나노 와이어 모듈이 서로 맞물리게 결합하여 본딩하는 단계;를 구비하며, 상기 (a) 단계는,(a1) 제1절연기판의 표면에 금속층을 형성하는 단계;(a2) 상기 금속층 위에 p 타입 반도체층을 형성하는 단계;(a3) 상기 p 타입 반도체층을 일정 높이까지 연마하는 단계;(a4) 상기 p 타입 반도체층에서 p 타입 나노 와이어가 형성되지 않는 영역을 식각하여 금속층의 표면을 노출시켜 p 타입 나노 와이어 모듈들이 형성될 모듈 영역들을 패터닝하는 단계; (a5) 상기 모듈 영역들 각각이 서로 인접한 모듈 영역들과 절연되도록 상기 금속층의 일부 영역을 식각하여 다수개의 제1금속층을 형성하는 단계;(a6) 상기 모듈 영역들 각각을 패터닝하여 상기 모듈 영역들 각각에 p 타입 나노 와이어들을 형성하여 다수개의 p 타입 나노 와이어층을 형성하는 단계;를 구비하며, 상기 (b) 단계는,(b1) 제2절연기판의 표면에 금속층을 형성하는 단계;(b2) 상기 금속층 위에 n 타입 반도체층을 형성하는 단계;(b3) 상기 n 타입 반도체층을 일정 높이까지 연마하는 단계;(b4) 상기 n 타입 반도체층에서 n 타입 나노 와이어가 형성되지 않는 영역을 식각하여 금속층의 표면을 노출시켜 n 타입 나노 와이어 모듈들이 형성될 모듈 영역들을 패터닝하는 단계; (b5) 상기 모듈 영역들 각각이 서로 인접한 모듈 영역들과 절연되도록 상기 금속층의 일부 영역을 식각하여 다수개의 제2금속층을 형성하는 단계;(b6) 상기 모듈 영역들 각각을 패터닝하여 상기 모듈 영역들 각각에 n 타입 나노 와이어들을 형성하는 단계;를 구비하며, 상기 금속층과 반도체층 사이에 규소 화합물 층(silicide layer)이 구비됨을 특징으로 하는 실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 (a6) 단계 또는 상기 (b6) 단계는,상기 p 타입 반도체층 또는 상기 n 타입 반도체층의 모듈 영역의 상부 표면에 나노 파티클을 형성하는 단계;상기 나노 파티클을 마스크로 하여, 상기 p 타입 반도체층 또는 상기 n 타입 반도체층을 식각하여 p 타입 나노 와이어들 또는 상기 n 타입 나노 와이어들을 형성하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 나노 파티클은 Ag로 구성됨을 특징으로 하는 실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법
6 6
제4항에 있어서, 상기 반도체층의 식각은 H2O2 및 HF 용액을 이용한 습식 식각임을 특징으로 하는 실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 (c) 단계는 p 타입 나노 와이어층의 나노 와이어들이 n 타입 나노 와이어층의 제2금속층과 본딩되고, n 타입 나노 와이어층의 나노 와이어들이 p 타입 나노 와이어층의 제1금속층과 본딩되는 것임을 특징으로 하는 실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 p타입 나노 와이어 모듈 위에 금속층이 형성하는 단계;를 더 구비함을 특징으로 하는 실리콘 나노 와이어를 이용한 열전소자 어레이 모듈 제조 방법
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11 11
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.