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극초미세형상 패터닝이 가능한 고온엠보싱 장비기술

  • 기술번호 : KST2014035921
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열판 및 상기 열판을 적용한 고온 엠보싱 나노 임프린트 리소그래피 장치에 관한 것으로, 상기 열판은 육면체 형상의 모재의 측면에 길이방향으로 다수개의 관통홀(냉각홀, 가열홀)을 규칙적으로 형성시키고, 상기 모재가 가열 또는 냉각이 되도록 가열수단 및 냉각수단을 구비하며, 상기 냉각홀 및 가열홀은 서로 엇갈리게 배치하는 것을 특징으로 한다.상기 가열수단은 해당 관통홀(가열홀) 내에 삽입된 일자형 카트리지 히터인 것이 바람직하다.또한, 본 발명은 어느 하나의 냉각홀, 상기 냉각홀과 이웃하는 냉각홀을 통과하는 기체의 이동 방향이 서로 반대인 것을 특징으로 한다.또한, 본 발명은 상기 냉각홀 및 가열홀은 서로 엇갈리게 배치하는 것을 특징으로 한다.이상에서와 같이, 본 발명은 열판 본체(모체) 내부에 일자형 히터와 냉각홀을 병렬로 배치하여 가열과 냉각 기능을 동시에 제공함으로써 열판의 구조가 단순하여 프레스 압력에 대응하기 쉬우며 무엇보다 대면적으로 확장성이 뛰어나다. 열판, 고온 엠보싱 나노 임프린트, 가열홀, 냉각홀, 일자형 히터
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020060052140 (2006.06.09)
출원인 한국기계연구원, 금오공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0761212-0000 (2007.09.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070921) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.06.09)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 금오공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽호상 대한민국 경북 구미시
2 박규진 대한민국 대구 동구
3 양진오 대한민국 경북 청도군
4 손병철 대한민국 대구 서구
5 이재종 대한민국 대전 서구
6 박희창 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0406962-18
2 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0428090-14
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.02.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2007-0018634-90
5 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2007.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0217159-17
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0206820-89
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0427578-59
8 의견서
Written Opinion
2007.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0427579-05
9 등록결정서
Decision to grant
2007.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0485777-23
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2009-5248845-02
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5177397-22
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2014-5047711-41
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2015-5157879-38
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5079599-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
열판에 있어서,육면체 형상의 모재의 측면에 길이방향으로 다수개의 관통홀(냉각홀, 가열홀)을 규칙적으로 형성시키고,상기 모재가 가열 또는 냉각이 되도록 가열수단 및 냉각수단을 구비하고,상기 냉각홀 및 가열홀은 서로 엇갈리게 배치하는 것을 특징으로 하는 열판
2 2
제 1항에 있어서,상기 모재의 온도를 측정하는 센서를 더 포함함을 특징으로 하는 열판
3 3
제 1항 또는 2항에 있어서,상기 가열수단은 해당 관통홀(가열홀) 내에 삽입된 일자형 카트리지 히터인 것을 특징으로 하는 열판
4 4
제 3항에 있어서,상기 카트리지 히터는 그 재질이 스테인리스인 것을 특징으로 하는 열판
5 5
제 1항에 있어서,상기 냉각수단은 해당 관통홀(냉각홀)에 소정 기체를 통과시켜 냉각시키는 기체 냉각 방식인 것을 특징으로 하는 열판
6 6
제 1항 또는 5항에 있어서,어느 하나의 냉각홀, 상기 냉각홀과 이웃하는 냉각홀을 통과하는 기체의 이동 방향이 서로 반대인 것을 특징으로 하는 열판
7 7
제 6항에 있어서,상기 냉각홀은 냉기의 흐름이 난류로 유지되는 범위 내에서 최대한 작게 가공되는 것을 특징으로 하는 열판
8 8
제 3항에 있어서, 상기 카트리지 히터의 출력을 PID 방식으로 제어하여 모재의 온도를 소정 이상 초과되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 열판
9 9
제 1항 또는 2항에 있어서, 상기 모재는 열전도도가 우수한 금속판재인 것을 특징으로 하는 열판
10 10
삭제
11 11
제 1항, 제 2항, 제 4항, 제 5항, 제 7항 중 어느 한 항의 열판을 적용한 고온 엠보싱 나노 임프린트 리소그래피 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.