| 1 |
1
삭제
|
| 2 |
2
금형과,상기 금형에 고정되는 마이크로 패턴을 가지는 몰드인서트와,상기 금형과 몰드인서트 사이에 MEMS 공정을 이용하여 집적된 마이크로 발열부를 구비하는 마이크로 발열기구를 포함하여 이루어지고,상기 마이크로 발열부로 인가되는 전류를 조절하여 상기 마이크로 발열부에서 발생하는 줄열에 의해 상기 몰드인서트를 가열 제어하고, 상기 마이크로 발열기구는 MEMS 공정을 이용하여 집적된 마이크로 온도센서를 추가적으로 구비하고, 상기 마이크로 온도센서는 상기 몰드인서트의 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 마이크로 온도센서는 온도에 따라 저항 값이 변하는 재료를 이용하여 제작되어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 4 |
4
금형과,상기 금형에 고정되는 마이크로 패턴을 가지는 몰드인서트와,상기 금형과 몰드인서트 사이에 MEMS 공정을 이용하여 집적된 마이크로 발열부를 구비하는 마이크로 발열기구를 포함하여 이루어지고,상기 마이크로 발열부로 인가되는 전류를 조절하여 상기 마이크로 발열부에 서 발생하는 줄열에 의해 상기 몰드인서트를 가열 제어하고, 상기 마이크로 발열기구는 MEMS 공정을 이용하여 집적된 마이크로 압력센서를 추가적으로 구비하고, 상기 마이크로 압력센서는 몰드인서트로부터 가해지는 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 마이크로 압력센서는 압전재료를 이용하여 제작되어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 6 |
6
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 발열부 및 상기 마이크로 센서는 리프트 오프 공정에 의하여 제작된 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 7 |
7
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 발열부 및 상기 마이크로 센서는 복수개가 구비되어, 상기 몰드인서트의 국부적 온도 제어가 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 8 |
8
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 발열부 및 상기 마이크로 센서는 상기 몰드인서트의 후면에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 9 |
9
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 센서에 의하여 측정된 값에 기초하여 마이크로 발열부의 줄열을 제어하는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 10 |
10
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 센서에 의해 측정된 값을 데이터베이스화하여 추후 성형공정에 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 11 |
11
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 발열부 및 상기 마이크로 센서를 상기 몰드인서트 및 상기 금형으로부터 절연시키기 위한 절연부가 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 12 |
12
제2항에 있어서, 상기 마이크로 발열부와 상기 마이크로 온도센서는 동일 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물 성형용 금형 구조
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
삭제
|
| 15 |
15
삭제
|
| 16 |
16
삭제
|
| 17 |
17
삭제
|
| 18 |
18
삭제
|
| 19 |
19
삭제
|
