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전구체를 공급하는 펌프(2)와, 상기 전구체를 기화시키는 기화기(3)와, 기화된 전구체와 운반가스가 혼합되는 가열튜브(11) 및 상기 가열튜브(11)를 가열시키는 히터(12)로 이루어진 반응로(5)와, 상기 반응로(5)에 관통되게 설치된 상기 운반가스의 통로(9)를 포함하여 구성된 나노 금속 또는 세라믹 분말의 생성장치에 있어서,상기 기화기(3)는 상기 가열튜브(11)의 내부에 그 길이방향을 따라 이동이 자유롭게 설치되어 있되, 상기 가열튜브(11)의 내부에서 전구체의 기화온도보다 50∼150℃ 높은 지점에 설치된 것을 특징으로 하는 나노 금속 또는 세라믹 분말의 생성장치
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제1항에 있어서,상기 기화기(3)는 수평으로 배치된 것을 특징으로 하는 나노 금속 또는 세라믹 분말의 생성장치
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제1항에 있어서,상기 기화기(3)의 소재는 스테인레스강, 동, 알루미나, 뮬라이트, 실리콘카바이드, 테프론 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 금속 또는 세라믹 분말의 생성장치
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제3항에 있어서, 상기 기화기(3)의 소재는 스테인레스강, 동, 알루미나, 뮬라이트, 실리콘카바이드, 테프론 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 금속 또는 세라믹 분말의 생성장치
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제3항에 있어서, 상기 기화기(3)의 소재는 스테인레스강, 동, 알루미나, 뮬라이트, 실리콘카바이드, 테프론 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 금속 또는 세라믹 분말의 생성장치
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