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이종구조를 갖는 열전 나노 와이어 제조방법 및 그 열전 나노와이어

  • 기술번호 : KST2014040298
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이종구조를 갖는 열전 나노 와이어 제조방법 및 그 열전 나노와이어가 제공된다.본 발명은, 그 상부에 산화층을 갖는 기판상에 스퍼터링법으로 Bi 박막을 형성하는 공정; 상기 Bi 박막이 형성된 기판을 열처리함으로써 압축응력을 이용하여 Bi 단결정 나노와이어를 성장시킨 후, 상온으로 냉각하는 공정; 상기 형성된 Bi 나노와이어상에 열전재료인 Te를 스퍼터링함으로써 Bi/Te 코어/쉘구조를 갖는 나노와이어를 제조하는 공정; 및 상기 코어/쉘 구조를 갖는 나노와이어를 어닐링함으로써 그 길이를 따라 교대로 형성된 Bi영역과 Bi14Te6 영역의 이종구조를 갖는 열전 나노와이어를 제조하는 공정;을 포함하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노 와이어 제조방법과, 그 열전 나노와이어에 관한 것이다.
Int. CL H01L 35/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100066157 (2010.07.09)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1151644-0000 (2012.05.24)
공개번호/일자 10-2012-0005630 (2012.01.17) 문서열기
공고번호/일자 (20120614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.09)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우영 대한민국 서울특별시 마포구
2 강주훈 대한민국 서울특별시 서대문구
3 함진희 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 이창희 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, B동, ****호(국제특허이창)
3 김성태 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)(특허법인씨엔에스)
4 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)
5 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)
6 권정기 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0443309-53
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0142293-53
4 보정요구서
Request for Amendment		 2012.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0018206-64
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2012-0184694-21
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.03.07 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2012-0184610-18
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0189323-70
8 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2012.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0027469-65
9 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2012.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0046285-51
10 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0263341-53
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그 상부에 산화층을 갖는 기판상에 스퍼터링법으로 Bi 박막을 형성하는 공정;상기 Bi 박막이 형성된 기판을 열처리함으로써 압축응력을 이용하여 Bi 단결정 나노와이어를 성장시킨 후, 상온으로 냉각하는 공정; 상기 형성된 Bi 나노와이어상에 열전재료인 Te를 스퍼터링함으로써 Bi/Te 코어/쉘 구조를 갖는 나노와이어를 제조하는 공정; 및 상기 코어/쉘 구조를 갖는 나노와이어를 어닐링함으로써 그 길이를 따라 교대로 형성된 Bi영역과 Bi14Te6 영역의 이종구조를 갖는 열전 나노와이어를 제조하는 공정;을 포함하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노 와이어 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 열전 나노와이어를 이루는 열전재료층인 쉘의 두께는 코어인 Bi 나노와이어 직경의 절반 이하임을 특징으로 하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노 와이어 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 열전 나노와이어를 이루는 열전재료층인 쉘의 두께는 30~50 nm인 것을 특징으로 하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노와이어의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 단결정 Bi 나노와이어는 50-1000nm의 직경을 가짐을 특징으로 하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노 와이어 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 산화층은 SiO2, BeO, Mg2Al4Si5O18 중 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노 와이어 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 어닐링온도를 300~330℃로 함을 특징으로 하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노 와이어 제조방법
7 7
그 길이를 따라 볼록형상의 Bi 영역과 선형의 Bi14Te6 영역이 교대로 형성된 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노와이어
8 8
제 7항에 있어서, 상기 Bi영역과 Bi14Te6 영역은 단결정 조직임을 특징으로 하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노와이어
9 9
제 7항에 있어서, 상기 Bi와 Bi14Te6 나노와이어의 두께는 각각 100~200 nm 임을 특징으로 하는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노와이어
10 10
제 7항에 있어서, 상기 볼록형상의 Bi 영역과 선형의 Bi14Te6 영역이 규칙적 내지 불규칙적으로 교대로 형성되어 있음을 특징으로 는 이종구조(heterostructure)를 갖는 열전 나노와이어
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1 WO2012005423 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2012005423 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 학술진흥재단, 한국과학재단 연세대학교 산학협력단 중점연구소 지원, 원천기술 개발사업 나노융합 그린에너지 원천기술 개발, 나노 구조물을 이용한 초고효율 열전소재및 열전소자개발