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상변화 물질 연마용 슬러리 및 이를 이용한 상변화 소자 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014040566
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 결정질 상의 상변화 물질 연마용 슬러리 및 이를 이용한 상변화 소자 제조 방법에 관한 것으로,본 발명의 일 실시예에 따른 상변화 물질 연마용 슬러리는, 연마제와, 알칼리성 연마 향상제와, 표준 환원 전위가 과염소산염(Perchlorates) 보다 큰 산화제와, 초순수를 포함한다.또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 상변화 소자 제조 방법은, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 결정질 상의 상변화 물질막을 형성하는 단계; 연마제와, 알칼리성 연마 향상제와, 표준 환원 전위가 과염소산염(Perchlorates) 보다 큰 산화제와, 초순수를 포함하는 상변화 물질 연마용 슬러리를 이용하여 화학기계적 연마 공정으로 상기 상변화 물질막을 제거하는 단계를 포함한다.
Int. CL C09K 3/14 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020100011142 (2010.02.05)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1396232-0000 (2014.05.12)
공개번호/일자 10-2011-0091351 (2011.08.11) 문서열기
공고번호/일자 (20140519) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.19)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재근 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 백운규 대한민국 서울특별시 강남구
3 박진형 대한민국 울산광역시 울주군
4 최호 중국 서울특별시 성동구
5 조종영 대한민국 서울특별시 노원구
6 황희섭 대한민국 서울특별시 도봉구
7 임재형 대한민국 인천광역시 부평구
8 김예환 대한민국 서울 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2010-0081382-85
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0307817-89
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0312434-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0430324-95
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0767900-41
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.09.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0862514-82
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0862513-36
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0027901-11
9 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2014.02.06 수리 (Accepted) 7-1-2014-0004569-10
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2014.03.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0247963-99
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0271095-81
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2014.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0265337-96
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
결정질 상의 상변화 물질 연마용 슬러리로서,연마제와, 알칼리성 연마 향상제와, 표준 환원 전위가 과염소산염(perchlorates) 보다 큰 산화제와, 초순수와, 부식 방지제를 포함하고,상기 산화제는 연마용 슬러리 100 중량%를 기준으로 0
2 2
청구항 1에 있어서,상기 상변화 물질은 결정질 칼코겐(Chalcogen) 2원 합금 또는 칼코겐 다원 합금인 상변화 물질 연마용 슬러리
3 3
청구항 1에 있어서,상기 연마제는 콜로이드 실리카(Colloidal silica), 세리아(Ceria), 퓸 실리카(Fumed silica), 및 알루미나(Al2O3)로 이루어진 그룹 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는 상변화 물질 연마용 슬러리
4 4
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,상기 연마제는 연마용 슬러리 100 중량%를 기준으로 0
5 5
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 상변화 물질은 절연층 상에 위치하고, 상기 연마제는 상기 절연층의 경도보다 낮은 상변화 물질 연마용 슬러리
6 6
청구항 1에 있어서,상기 알칼리성 연마향상제는 TMAH(Tetramethylammonium hydroxide), KOH, NaOH 및 NH4OH 중 적어도 어느 하나를 포함하는 상변화 물질 연마용 슬러리
7 7
삭제
8 8
청구항 1에 있어서,상기 산화제는 망가네이트이온(MnO4-)과 양이온의 결합으로부터 생성된 물질을 포함하는 상변화 물질 연마용 슬러리
9 9
삭제
10 10
청구항 1에 있어서,연마용 슬러리 100 중량%를 기준으로 0
11 11
청구항 10에 있어서,상기 연마 선택비 조절제는 아민기를 함유하고 있는 폴리머를 포함하는 상변화 물질 연마용 슬러리
12 12
청구항 10에 있어서,상기 연마 선택비 조절제는 1차 아민, 2차 아민, 및 3차 아민 중 적어도 어느 하나를 함유하는 상변화 물질 연마용 슬러리
13 13
청구항 10에 있어서,상기 연마 선택비 조절제는 폴리아크릴레이트(Polyacrylate), 폴리메틸메타클레이트(Polymethylmethacrylate), 폴리벤질메타클레이트(Polybenzylmethacrlyate)를 포함하는 아크릴계 고분자와, 폴리비닐폴리피로리돈(Polyvinyl pyrrolidone), 폴리아크릴아미드(Polyacrylamide), 및 이들의 염 치환물, 그리고 코폴리머(Copolymer)중 적어도 어느 하나를 포함하는 상변화 물질 연마용 슬러리
14 14
청구항 1에 있어서,연마용 슬러리 100 중량%를 기준으로 0
15 15
청구항 14에 있어서,상기 표면 거칠기 조절제는, 하이드록실에틸 셀룰로우즈(Hydroxylethylcellulose), 카르복실메틸 셀룰로우즈(Carboxylmethyl cellulose), 에틸 셀룰로우즈(Ethyl cellulose), 메틸 셀룰로우즈(Methyl cellulose), 하이드록시프로필 셀룰로우즈(Hydroxypropyl cellulose), 아미노에틸 셀룰로우즈(Aminoethyl cellulose), 옥시에틸 셀룰로우즈(Oxyethyl cellulose), 하이드록시부틸 메틸 셀룰로우즈(Hydroxylbutyl methyl cellulose)를 포함하는 셀룰로우즈 계열 물질 및, 이들의 염(Salt) 화합물 중 적어도 어느 하나인 상변화 물질 연마용 슬러리
16 16
삭제
17 17
청구항 1에 있어서,상기 부식 방지제는 벤조트리아졸(Benzotriazole), 아미노트리아졸(Aminotriazole), 트리아졸(Triazole)를 포함하는 아졸계 중에서 적어도 하나를 포함하는 상변화 물질 연마용 슬러리
18 18
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 결정질 상의 상변화 물질막을 형성하는 단계;연마제와, 알칼리성 연마 향상제와, 표준 환원 전위가 과염소산염(perchlorates) 보다 큰 산화제와, 초순수와, 부식 방지제를 포함하는 상변화 물질 연마용 슬러리를 이용하여 화학기계적 연마 공정으로 상기 결정질 상의 상변화 물질막의 일부를 제거하는 단계를 포함하고,상기 결정질 상의 상변화 물질막은 상기 기판 상에 상변화 물질 증착시 결정질 상으로 증착하여 형성하거나, 또는 상변화 물질 증착시 비정질 상태로 증착한 다음 후속 열처리 공정을 수행하여 결정질 상으로 형성하며,상기 연마용 슬러리는 상기 산화제가 상기 연마용 슬러리 100 중량%를 기준으로 0
19 19
삭제
20 20
청구항 18에 있어서,상기 기판을 준비하는 단계 이후, 상기 기판 상측에 금속 패턴을 포함하는 하부 구조물층을 형성하고, 상기 하부 구조물층 상에 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 상변화 소자 제조 방법
21 21
청구항 20에 있어서,상기 절연막의 일부를 제거하여 상기 금속 패턴의 일부를 노출시키는 홀을 형성하는 단계를 더 포함하는 상변화 소자 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10103331 US 미국 FAMILY
2 US20130032572 US 미국 FAMILY
3 US20150337173 US 미국 FAMILY
4 US20170141308 US 미국 FAMILY
5 WO2011096745 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
6 WO2011096745 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2013032572 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2011096745 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
3 WO2011096745 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.