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금속 나노 링 패턴을 이용한 나노 구조물의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014040982
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 나노 링을 이용한 나노 구조물의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 나노 구조물의 제조 방법은, 기판의 일면에 금속을 증착하여 금속막을 형성하는 제1 단계와, 금속막을 양극산화시켜 금속막의 표면으로부터 기판을 향해 복수의 제1 나노 홀을 가지는 금속 산화막을 형성하며, 금속 산화막의 바닥면 일부가 기판과 면접촉하는 시점까지 양극산화를 진행하는 제2 단계와, 금속 산화막을 제거하여 남은 금속막으로 복수의 제2 나노 홀을 가지는 금속 나노 링 패턴을 형성하는 제3 단계와, 금속 나노 링 패턴을 식각 마스크로 사용하여 기판을 식각함으로써 기판에 제2 나노 홀과 같은 패턴의 복수의 제3 나노 홀을 형성하는 제4 단계를 포함한다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020110077111 (2011.08.02)
출원인 강원대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1165396-0000 (2012.07.06)
공개번호/일자 10-2011-0094261 (2011.08.23) 문서열기
공고번호/일자 (20120712) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2009-0107219 (2009.11.06)
관련 출원번호 1020090107219
심사청구여부/일자 Y (2011.08.02)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 대한민국 강원도 춘천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병희 대한민국 강원도 춘천시 후만로 **,
2 서영호 대한민국 강원도 춘천시 지석로 **,
3 신홍규 대한민국 강원도 강릉시 남
4 박용민 대한민국 강원도 원주시 일

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 김병희 강원 춘천시
2 서영호 강원도 춘천시 지석로 **
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0598726-14
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0638395-68
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5249875-98
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1051129-61
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-1051127-70
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5049179-27
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0379866-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5230938-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 일면에 금속을 증착하여 금속막을 형성하는 제1 단계;상기 금속막을 양극산화시켜 상기 금속막의 표면으로부터 상기 기판을 향해 복수의 제1 나노 홀을 가지는 금속 산화막을 형성하며, 상기 금속 산화막의 바닥면 일부가 상기 기판과 면접촉하는 시점까지 양극산화를 진행하는 제2 단계;상기 금속 산화막을 제거하여 남은 상기 금속막으로 복수의 제2 나노 홀을 가지는 금속 나노 링 패턴을 형성하는 제3 단계; 및상기 금속 나노 링 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 기판을 식각함으로써 상기 기판에 상기 제2 나노 홀과 같은 패턴의 복수의 제3 나노 홀을 형성하는 제4 단계를 포함하고, 상기 제2 단계에서 상기 금속 산화막의 바닥면은 상기 제1 나노 홀 각각을 둘러싸는 곡률을 형성하며, 상기 금속 산화막의 바닥면 중 상기 제1 나노 홀의 중앙에 대응하는 부분이 다른 부분보다 상기 기판에 먼저 닿은 후 접촉 면적을 확대시켜 상기 제2 나노 홀을 형성하는 나노 구조물의 제조 방법
2 2
제1항의 방법으로 제조되며, 나노 튜브 또는 나노 와이어 제조용 템플릿으로 사용되는 나노 구조물
3 3
기판의 일면에 금속을 증착하여 금속막을 형성하는 제1 단계;상기 금속막을 양극산화시켜 상기 금속막의 표면으로부터 상기 기판을 향해 복수의 제1 나노 홀을 가지는 금속 산화막을 형성하며, 상기 금속 산화막의 바닥면 일부가 상기 기판과 면접촉하는 시점까지 양극산화를 진행하는 제2 단계;상기 금속 산화막을 제거하여 남은 상기 금속막으로 복수의 제2 나노 홀을 가지는 금속 나노 링 패턴을 형성하는 제3 단계; 및상기 금속 나노 링 패턴 위에 니켈을 도금하여 상기 제2 나노 홀과 같은 패턴의 복수의 제4 나노 홀을 가지는 금속의 나노 구조물을 형성하는 제4 단계를 포함하고, 상기 제2 단계에서 상기 금속 산화막의 바닥면은 상기 제1 나노 홀 각각을 둘러싸는 곡률을 형성하며, 상기 금속 산화막의 바닥면 중 상기 제1 나노 홀의 중앙에 대응하는 부분이 다른 부분보다 상기 기판에 먼저 닿은 후 접촉 면적을 확대시켜 상기 제2 나노 홀을 형성하는 나노 구조물의 제조 방법
4 4
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 제1 단계에서 상기 금속막은 알루미늄, 티타늄, 니오븀, 및 아연 중 어느 하나를 포함하는 나노 구조물의 제조 방법
5 5
삭제
6 6
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 제2 나노 홀이 상기 제1 나노 홀보다 큰 나노 구조물의 제조 방법
7 7
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 금속 나노 링 패턴과 상기 나노 구조물은 50nm 내지 200nm의 내경과 100nm 내지 250nm의 외경을 가지며, 상기 내경은 상기 외경보다 작은 값을 가지는 나노 구조물의 제조 방법
8 8
제3항의 방법으로 제조되며, 나노 와이어 또는 나노 튜브 제조용 템플릿, 나노 임프린트 몰드, 및 사출 성형 또는 핫 엠보싱 가공의 몰드 스탬프 중 어느 하나로 사용되는 나노 구조물
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101106694 KR 대한민국 FAMILY

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