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단결정을 이용한4-포인트 프로브 홀더의 제조방법 및 이에 의해 제조된 단결정4-포인트 프로브 홀더

  • 기술번호 : KST2014041616
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 4-포인트 프로브 홀더의 제조방법 및 이에 의해 제조된 4-포인트 프로브 홀더에 관한 것으로서, 기판과, 상기 기판에 결합되며 금속 재료로 형성된 전극, 프로브, 고정핀, 배선라인으로 이루어진 금속 부품을 포함하는 4-포인트 프로브 홀더의 제조방법에 있어서, 금, 구리, 은, 알루미늄, 니켈 중 어느 하나를 단결정으로 육성시키는 제1단계와; 상기 육성된 단결정을 원형 플레이트로 가공하는 제2단계와; 상기 원형 플레이트를 가공하여 4-포인트 프로브 홀더의 상기 금속 부품을 단결정 부품으로 형성하는 제3단계와; 상기 단결정 부품을 연마 및 미세가공하는 제4단계와; 상기 기판의 4-포인트부에 대응하여 상기 단결정 부품을 배치하고, 고정시키는 제5단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 단결정을 이용한 4-포인트 프로브 홀더의 제조방법 및 이에 의해 제조된 단결정을 이용한 4-포인트 프로브 홀더를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 비전도성 시편의 경우에도 전기적인 특성인 홀효과의 측정(비저항 측정)이 가능하여, 기존의 4-포인트 프로브 홀더에서 불가능하였던 물질 분석의 정밀도를 향상시킬 수 있어 비저항의 측정 시편의 범위를 확대시켜 다양한 물질의 특성 분석이 가능한 이점이 있다.
Int. CL G01R 1/067 (2006.01) G01R 3/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100130503 (2010.12.20)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1168342-0000 (2012.07.18)
공개번호/일자 10-2012-0069102 (2012.06.28) 문서열기
공고번호/일자 (20120724) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.20)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 차수영 대한민국 부산광역시 동래구
2 조용찬 대한민국 부산광역시 북구
3 박상언 대한민국 부산광역시 금정구
4 조채용 대한민국 부산광역시 동래구
5 정세영 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0837802-36
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0872714-82
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.01.16 수리 (Accepted) 9-1-2012-0004977-24
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.03.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0129553-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2012-0360491-44
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.05.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0360494-81
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0397738-28
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0387365-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
1 1
기판과, 상기 기판에 결합되며 금속 재료로 형성된 전극, 프로브, 고정핀, 배선라인으로 이루어진 금속 부품을 포함하는 4-포인트 프로브 홀더의 제조방법에 있어서,금, 구리, 은, 알루미늄, 니켈 중 어느 하나를 단결정으로 육성시키는 제1단계와;상기 육성된 단결정을 원형 플레이트로 가공하는 제2단계와;상기 원형 플레이트를 가공하여 4-포인트 프로브 홀더의 상기 금속 부품을 단결정 부품으로 형성하는 제3단계와;상기 단결정 부품을 연마 및 미세가공하는 제4단계와;상기 기판의 4-포인트부에 대응하여 상기 단결정 부품을 배치하고 고정시키되, 4개의 프로브를 기판에 배치하고 고정핀으로 프로브를 기판에 고정한 후, 기판의 뒷면에서 배선라인을 결합하여 전극과 접촉되도록 형성하는 제5단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 단결정을 이용한 4-포인트 프로브 홀더의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 제2단계 및 제3단계는,프레스 가공법, 와이어컷 방전가공법, 워터젯 방전가공법 및 3차원 방전가공법 중에 어느 하나의 방법을 사용하거나, 이들을 혼용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 단결정을 이용한 4-포인트 프로브 홀더의 제조방법
3 3
금, 구리, 은, 알루미늄, 니켈로 구성된 그룹 중 어느 하나의 금속으로 육성된 단결정을 절단 가공하여, 4-포인트 프로브 홀더에 사용되는 전극, 프로브, 고정핀, 배선라인으로 이루어진 금속 부품을 단결정 부품으로 형성시키고, 기판의 4-포인트부에 대응하여 상기 단결정 부품을 배치하고 고정시키되 4개의 프로브를 기판에 배치하고 고정핀으로 프로브를 기판에 고정한 후, 기판의 뒷면에서 배선라인을 결합하여 전극과 접촉되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 4-포인트 프로브 홀더
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1 WO2012086979 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2012086979 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 부산대학교 산학협력단 세계수준의 연구중심대학육성사업 나노 광메카트로닉스 기반 인지 공학
2 교육과학기술부 밀양캠퍼스 부산대학교 산학협력단 신기술융합형성장동력사업 우주 환경 모사 활용 나노 융합 신소재 개발