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이중 도핑을 이용한 산화아연의 도핑방법

  • 기술번호 : KST2014042762
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투명 전도성 산화물(Transparent Conducting Oxide, TCO)을 제작하기 위한 산화아연(ZnO)의 도핑방법으로서, 기존의 단일 종의 불순물을 도핑하여 투명 전도성 전극을 얻는 방법을 개선한 것으로, 2종의 불순물을 이용하여 동시에 도핑함으로써 높은 전기전도도와 광투과율을 얻을 수 있는 투명 전도성 산화물의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 도핑방법은, ⅢA족 원소와 ⅦA족 원소를 이중으로 도핑하는데 구성적 특징이 있다. 투명 전도성 산화물, ZnO, 이중 도핑
Int. CL H01L 21/20 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/1884(2013.01) H01L 31/1884(2013.01) H01L 31/1884(2013.01)
출원번호/일자 1020090010393 (2009.02.10)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0091277 (2010.08.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.10)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도영 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 김형준 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0079882-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2010-0065634-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0509026-10
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0019705-86
6 보정요구서
Request for Amendment
2011.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0005175-08
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0096473-16
8 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2011.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0039481-12
9 보정요구서
Request for Amendment
2011.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0015279-26
10 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2011.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0120757-97
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.03.10 무효 (Invalidation) 1-1-2011-0174948-10
12 보정요구서
Request for Amendment
2011.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0024341-71
13 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2011.04.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0031895-17
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.05.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0246061-96
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
ⅢA족 원소와 ⅦA족 원소를 이중으로 도핑하는 것을 특징으로 하는 산화아연의 도핑방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 ⅢA족 원소는 Ga이며, ⅦA족 원소는 F 또는 Cl인 것을 특징으로 하는 산화아연의 도핑방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 ⅦA족 원소는 Cl인 것을 특징으로 하는 산화아연의 도핑방법
4 4
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도핑은 ⅢA족 원소와 ⅦA족 원소를 모두 함유하는 단일의 전구체를 이용하는 것을 특징으로 하는 산화아연의 도핑방법
5 5
ⅢA족 원소와 ⅦA족 원소의 이중 도핑을 통해, 격자산란(lattice scattering)을 조절하는 것을 특징으로 하는 산화아연의 도핑방법
6 6
ⅢA족 원소와 ⅦA족 원소의 이중 도핑을 하며, 도핑되는 ⅢA족 원소와 ⅦA족 원소의 이온반경의 차이를 통해 결정구조를 조절하는 것을 특징으로 하는 산화아연의 도핑방법
7 7
투명 전도성 산화아연 박막으로서, 상기 산화아연(ZnO)에서 ⅢA족 원소 중 1종 이상이 아연(Zn)위치에 ⅦA족 원소 중 1종 이상이 산소(O)의 위치에 이중으로 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 투명 전도성 산화아연
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 ⅢA족 원소는 Ga이며, ⅦA족 원소는 F 또는 Cl인 것을 특징으로 하는 투명 전도성 산화아연박막
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 ⅦA족 원소는 Cl인 것을 특징으로 하는 투명 전도성 산화아연박막
10 10
제 7 항에 있어서, 상기 산화아연 박막은 하기 식 1로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 투명 전도성 산화아연 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.