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트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어

  • 기술번호 : KST2014045269
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어에 관한 것으로서, 트렌치 격리 구조를 통해 셀 고밀도화로 인해 불가항력적으로 수반되는 유효 수광 면적비의 감소를 줄여 광 검출 효율을 높게 유지함과 동시에 광도 측정의 동적 영역을 높일 수 있으며, 셀 사이에 누설되는 광자를 차단함과 동시에 트렌치에 소멸 저항 및 가드 링의 역할을 동시에 구현하여 다기능화 함으로써 셀간 이격 거리를 최소화하여 소자의 유효 수광 면적비를 증가시키고 성능을 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 27/14 (2006.01) H01L 31/101 (2006.01)
CPC H01L 31/101(2013.01) H01L 31/101(2013.01) H01L 31/101(2013.01) H01L 31/101(2013.01) H01L 31/101(2013.01)
출원번호/일자 1020100131869 (2010.12.21)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1648023-0000 (2016.08.08)
공개번호/일자 10-2012-0070348 (2012.06.29) 문서열기
공고번호/일자 (20160812) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.22)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아주 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0845378-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2015.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-0494066-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0207819-11
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0491104-88
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-0491099-36
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0403138-80
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번호 청구항
1 1
광 여기에 의한 항복 현상이 일어나는 복수의 셀 수광부; 및 상기 복수의 셀 수광부 사이에 형성되어 상기 복수의 셀 수광부를 분리하는 트렌치를 포함하되, 상기 트렌치는 그 내부가 반도체 혹은 저항체로 채워진 트렌치 저항과, 상기 트렌치의 격벽을 이루는 트렌치 절연막을 포함하고, 상기 복수의 셀 수광부 각각은 육각형 형상을 가지고, 벌집 모양으로 배열되는 것을 특징으로 하는 트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어
2 2
제 1항에 있어서, 상기 트렌치 중 임의의 지점을 절연하는 트렌치 분리부; 및 상기 트렌치 저항을 상기 셀 수광부와 전기적으로 직렬 연결하는 전극 접촉부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어
3 3
제 1항에 있어서, 상기 트렌치의 깊이를 상기 실리콘 포토멀티플라이어의 매몰층 깊이의 20 내지 80% 내로 형성하는 것을 특징으로 하는 트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어
4 4
제 1항에 있어서, 상기 트렌치 저항과 인접한 상기 셀 수광부 사이의 거리를 상기 트렌치의 깊이의 30 내지 300% 내로 형성하는 것을 특징으로 하는 트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서, 상기 트렌치의 수평 구조는 벌집 모양으로 구성되는 것을 특징으로 하는 트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어
7 7
제 1항에 있어서, 상기 트렌치 절연막은 산화실리콘, 질화실리콘 혹은 기타 절연체의 다층막 중 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 트렌치 분리형 실리콘 포토멀티플라이어
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1 US08664691 US 미국 FAMILY
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1 US2012153423 US 미국 DOCDBFAMILY
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