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집속 렌즈;상기 집속렌즈 상에 증착된 광도전체 박막; 및상기 광도전체 박막 상에 형성된 광전도 안테나용 금속전극을 포함하고,상기 집속렌즈와 상기 광도전체 박막은 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠파 발생 및 검출을 위한 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자
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제 1항에 있어서,상기 집속렌즈는 초반구형이고 고저항 실리콘을 포함하여 구성되는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자
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제 1항에 있어서,상기 광도전체 박막은 다결정 GaAs를 포함하여 구성되는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자
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제 1항에 있어서,상기 집속렌즈는 초반구형이고 고저항 실리콘을 포함하여 구성되고,상기 광도전체 박막은 다결정 GaAs를 포함하여 구성되는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자
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집속 렌즈를 형성하는 단계;상기 집속렌즈 상에 광도전체 박막을 증착하는 단계; 및상기 광도전체 박막 상에 광전도 안테나용 금속전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 집속렌즈와 상기 광도전체 박막은 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠파 발생 및 검출을 위한 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자의 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 집속렌즈는 초반구형이고 고저항 실리콘을 포함하여 구성되는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자의 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 광도전체 박막은 다결정 GaAs를 포함하여 구성되는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자의 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 집속렌즈는 초반구형이고 고저항 실리콘을 포함하여 구성되고,상기 광도전체 박막은 다결정 GaAs를 포함하여 구성되는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자의 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 집속렌즈 상에 광도전체 박막을 증착하는 단계에서,상기 집속렌즈를 수용하는 시편홀더에 상기 집속렌즈가 장착된 상태에서 상기 증착단계가 수행되는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자의 제조방법
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제 9항에 있어서,상기 시편홀더는상기 초반구형의 집속렌즈가 장착되는 삽입부를 갖는 장착부; 및상기 초반구형의 집속렌즈가 삽입되는 관통공을 갖는 덮개부를 포함하는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자의 제조방법
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제 10항에 있어서,상기 장착부의 삽입부는 반구형의 오목부이고,상기 관통공은 상부로 갈수록 관통 반경이 감소하는, 집속렌즈 일체형 광전도 안테나 소자의 제조방법
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