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레이저빔을 조사하는 광원;
상기 광원으로부터 조사된 레이저빔을 수평 및 수직편광 빔으로 분리하는 제1 편광 빔분리기;
상기 제1 편광 빔분리기로부터 각각 분리된 수평 및 수직편광 빔을 원형편광 빔으로 변환하는 제1 및 제2 위상차판;
상기 제1 및 제2 위상차판으로부터 각각 변환된 원형편광 빔을 서로 직각인 2방향의 서로 다른 선초점 형태의 빔으로 출력하는 제1 및 제2 렌즈;
상기 제1 및 제2 렌즈로부터 각각 출력된 선초점 형태의 빔을 수직방향으로 경로를 변경시켜 주사하는 제1 및 제2 스캐너;
상기 제1 및 제2 스캐너로부터 각각 주사된 빔이 샘플 방향으로 진행하도록 경로를 변환하는 빔분리기;
상기 빔분리기와 상기 샘플 사이에 배치되어, 입사되는 빔을 집속시키는 대물렌즈; 및
상기 제1 편광 빔분리기와 상기 제1 및 제2 위상차판 사이에 각각 배치되며, 상기 샘플에서 반사되어 최초 입사된 광 경로를 따라 되돌아오는 반사빔이 제1 및 제2 영상획득장치 방향으로 진행하도록 경로를 변환하는 제2 및 제3 편광 빔분리기를 포함하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경
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2
제1 항에 있어서,
상기 광원과 상기 제1 편광 빔분리기 사이 및 상기 제1 편광 빔분리기와 상기 제3 편광 빔분리기 사이에 각각 배치되어, 입사된 광을 일정각도로 선형 편광시키는 제1 및 제2 선형 위상판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경
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3
제1 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 영상획득장치는,
상기 제2 및 제3 편광 빔분리기로부터 각각 변환된 반사빔을 편광시키는 제1 및 제2 편광판;
상기 제1 및 제2 편광판을 각각 통과한 빔을 집광시키는 적어도 하나의 제1 및 제2 집광렌즈;
상기 제1 및 제2 집광렌즈에 의해 각각 집광된 빔을 필터링하도록 적어도 하나의 슬릿을 갖는 제1 및 제2 슬릿부;
상기 제1 및 제2 슬릿부의 슬릿을 각각 통과한 빔을 평행빔으로 변환시켜주는 제1 및 제2 시준렌즈; 및
상기 제1 및 제2 시준렌즈로부터 각각 변환된 평행빔을 광전변환하고, 상기 변환된 전기신호를 출력하는 제1 및 제2 광전검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경
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4
청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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5
제3 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 광전검출기는 선주사 카메라로 이루어진 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경
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6
청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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7
제1 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 영상획득장치로부터 검출된 수평 및 수직 이미지를 각각 보정하고, 상기 각 보정된 수평 및 수직 이미지의 평균을 취하여 상보적으로 정합하는 영상처리장치가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경
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8
제7 항에 있어서,
상기 영상처리장치는 상기 제1 및 제2 영상획득장치로부터 검출된 수평 및 수직 이미지를 RL(Richardson-Lucy) 알고리듬, TR(Tikhonov Regularization) 또는 국소 선형필터 중 어느 하나를 적용하여 보정하는 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경
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9
제7 항에 있어서,
상기 영상처리장치는 상기 각 보정된 수평 및 수직 이미지를 산술평균 또는 기하평균을 적용하여 평균을 취하는 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경
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10
청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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11
제1 항에 있어서,
상기 빔분리기와 상기 대물렌즈 사이에 배치되어, 상기 빔분리기로부터 변환된 빔을 평행빔으로 만들어주는 적어도 하나의 렌즈가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경
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12
(a) 광원에서 조사된 레이저빔을 수평 및 수직편광 빔으로 분리하는 단계;
(b) 상기 각 분리된 수평 및 수직편광 빔을 원형편광 빔으로 변환하는 단계;
(c) 상기 각 변환된 원형편광 빔을 서로 직각인 2방향의 서로 다른 선초점 형태의 빔으로 출력하는 단계;
(d) 상기 각 출력된 선초점 형태의 빔을 수직방향으로 경로를 변경시켜 주사하는 단계;
(e) 상기 각 주사된 빔을 하나로 합하여 샘플 방향으로 조사한 후, 상기 샘플에서 반사되어 최초 입사된 광 경로를 따라 되돌아오는 반사빔을 2차원 영상인 수평 및 수직 이미지를 획득하는 단계;
(f) 상기 수평 및 수직 이미지를 각각 보정하는 단계; 및
(g) 상기 각 보정된 수평 및 수직 이미지의 평균을 취하여 상보적으로 정합하는 단계를 포함하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경을 이용한 영상 처리 방법
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13
제12 항에 있어서,
상기 단계(f)에서, 상기 수평 및 수직 이미지의 보정은 RL(Richardson-Lucy) 알고리듬, TR(Tikhonov Regularization) 또는 국소 선형필터 중 어느 하나를 적용하여 오차를 제거하는 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경을 이용한 영상 처리 방법
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14
제12 항에 있어서,
상기 단계(g)에서, 상기 각 보정된 수평 및 수직 이미지는 산술평균 또는 기하평균을 적용하여 평균을 취하는 것을 특징으로 하는 2방향 선주사 방식을 적용한 공초점 레이저 주사 현미경을 이용한 영상 처리 방법
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15
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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