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플라즈마 발생 장치

  • 기술번호 : KST2014046906
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 장치는 진공 용기, 진공 용기의 내부에 일부 또는 전부가 노출되고 나란히 연장되는 복수의 전원 전극들, 및 기판을 지지하고, 전원 전극들이 배치되는 평면에서 수직으로 이격되어 배치된 기판 홀더를 포함한다. 전원 전극들은 라인 형상이고, 전원 전극들은 N 등분되고, N 등분된 부분의 중심부에 배치된 노드들에 RF 전력이 공급된다. 축전 결합 플라즈마, 멀티 파워 공급, 정상파효과
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) H05H 1/46 (2006.01.01) H05H 1/46 (2006.01.01)
CPC H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01) H01J 37/32091(2013.01)
출원번호/일자 1020090076516 (2009.08.19)
출원인 한국과학기술원, 주성엔지니어링(주)
등록번호/일자 10-1101751-0000 (2011.12.27)
공개번호/일자 10-2011-0018996 (2011.02.25) 문서열기
공고번호/일자 (20120109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.08.19)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주성엔지니어링(주) 대한민국 경기도 광주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서상훈 대한민국 대전 유성구
2 장홍영 대한민국 대전 유성구
3 인정환 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주성엔지니어링(주) 대한민국 경기도 광주시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2009-0505429-42
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2009.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0631316-69
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0040529-86
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.02.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0091630-27
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0091603-05
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0551842-14
7 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2011.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-5038358-64
8 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2011.12.27 수리 (Accepted) 2-1-2011-0309764-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5098149-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.18 수리 (Accepted) 4-1-2019-5143725-93
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 용기; 상기 진공 용기의 내부에 일부 또는 전부가 노출되고 나란히 연장되는 복수의 전원 전극들; 및 기판을 지지하고, 상기 전원 전극들이 배치되는 평면에서 수직으로 이격되어 배치된 기판 홀더를 포함하고, 상기 전원 전극들은 라인 형상이고, 상기 전원 전극들은 N 등분되고, N 등분된 부분의 중심부에 배치된 노드들에 RF 전력이 공급되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
2 2
제1 항에 있어서, 상기 노드들은 제1 및 제2 노드를 포함하고, 상기 전원 전극의 길이는 L이고, 상기 제1 노드는 L/4에 위치하고, 상기 제2 노드는 3L/4에 위치하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
3 3
제1 항에 있어서, 상기 노드들은 제1 내지 제3 노드를 포함하고, 상기 전원 전극의 길이는 L이고, 상기 제1 노드는 L/6에 위치하고, 상기 제2 노드는 L/2, 상기 제3 노드는 5L/6에 위치하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
4 4
제1 항에 있어서, 상기 노드들은 제1 내지 제4 노드를 포함하고, 상기 전원 전극의 길이는 L이고, 상기 제1 노드는 L/8에 위치하고, 상기 제2 노드는 3L/8, 상기 제3 노드는 5L/8에 위치하고, 상기 제4 노드는 7L/8에 위치하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
5 5
제1 항에 있어서, 상기 전원 전극들 양측 및 상기 전원 전극들 사이에 배치된 접지 전극들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
6 6
제5 항에 있어서, 상기 접지 전극들은 상기 전원 전극들 양단에서 서로 연결되어 상판을 형성하고, 상기 상판은 상기 진공 용기의 뚜껑인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
7 7
청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
8 8
제1 항에 있어서, RF 전원의 전력을 상기 전원 전극들에 전력을 전달하는 분배부를 더 포함하되, 상기 분배부는 상기 전원 전극들을 상기 RF 전원에 병렬 연결하고, 상기 전원 전극들과 상기 RF 전원 사이의 배선 길이는 동일한 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
9 9
청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
10 10
제1 항에 있어서, 상기 전원 전극들에 전력을 전달하는 분배부를 더 포함하되, 상기 분배부는: 분배 기판; 상기 분배 기판을 관통하는 콘택 홀들을 채우는 콘택 플러그들; 및 상기 분배 기판에서 상기 콘택 플러그들와 전기적으로 연결되는 전기 배선을 포함하고, 상기 콘택 플러그들은 상기 노드들에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
11 11
청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
12 12
제1 방향으로 나란히 연장되는 복수의 전원 전극들; 및 RF 전력 입력단 및 복수의 RF 전력 출력단들을 포함하고 상기 전원 전극들에 RF 전원의 전력을 전달하는 분배부를 포함하고, 상기 전원 전극들 각각은 상기 RF 전력 출력단들을 통하여 상기 전원 전극들의 복수의 노드들에서 RF 전력을 공급받고, 상기 전원 전극들은 N 등분되고, 상기 노드들은 N 등분된 부분의 중심부에 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 분배부는: 분배 기판; 상기 분배 기판을 관통하는 콘택 홀을 채우는 콘택 플러그; 및 상기 분배 기판에서 상기 콘택 플러그와 전기적으로 연결되는 전기 배선을 포함하고, 상기 콘택 플러그는 상기 노드들에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
14 14
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
15 15
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
16 16
제1 방향으로 나란히 연장되는 제1 내지 제4 전원 전극들; 및 RF 전원의 전력을 RF 전력 입력단으로 입력받아 복수의 RF 전력 출력단들을 통하여 상기 제1 내지 제4 전원 전극들에 분배하는 배선부를 포함하고, 상기 전원 전극들 각각은 상기 RF 전력 출력단들을 통하여 상기 전원 전극의 복수의 노드들에서 RF 전력이 공급되고, 상기 배선부는 중심축을 중심으로 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 거울 대칭적으로 배선된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
17 17
제 16 항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 전원 전극들은 직선 형상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
18 18
진공 용기의 내부에 노출되고 제1 방향으로 연장되는 복수의 전원 전극들; 상기 복수의 전원 전극들 사이 및 양측에 배치된 접지 전극들; RF 전원의 전력을 RF 전력 입력단으로 입력받아 복수의 RF 전력 출력단들을 통하여 상기 복수의 전원 전극들에게 RF 전력을 공급하는 배선부를 포함하고, 상기 배선부의 RF 전력 출력단들은 상기 전원 전극들 각각에 복수 개의 지점에 RF 전력을 공급하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
19 19
청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.