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내부안테나 구조체 및 플라즈마 발생장치

  • 기술번호 : KST2014046928
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내부 안테나 구조체를 제공한다. 상기 내부 안테나 구조체는 RF 전원에 연결되고 플라즈마 챔버에 삽입되는 안테나, 및 안테나의 둘레에 배치되는 절연 자켓을 포함하고, 안테나는 상기 플라즈마 챔버의 내부에 플라즈마를 형성하고, 안테나와 플라즈마는 축전기를 형성하고, 축전기의 단위 길이 당 정전용량은 상기 안테나의 길이 방향에 따라 변한다. 내부 안테나, 정전용량, 정상파 효과, 축전 결합, 유도 결합, 플라즈마
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H05H 1/34 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01)
CPC H01Q 1/366(2013.01) H01Q 1/366(2013.01) H01Q 1/366(2013.01) H01Q 1/366(2013.01) H01Q 1/366(2013.01)
출원번호/일자 1020090069764 (2009.07.30)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1071092-0000 (2011.09.30)
공개번호/일자 10-2011-0012167 (2011.02.09) 문서열기
공고번호/일자 (20111010) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.30)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장홍영 대한민국 대전 유성구
2 이헌수 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0467460-77
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2009.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0631498-59
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0559865-05
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0035211-19
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0035213-00
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2011.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0405223-26
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0629881-99
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0629864-12
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0542725-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
RF 전원에 연결되고 플라즈마 챔버에 삽입되는 직선형의 안테나; 상기 안테나의 둘레에 배치되는 절연 자켓; 및 상기 안테나와 상기 절연 자켓 사이에 개재된 보상 구조체를 포함하고, 상기 안테나는 상기 플라즈마 챔버의 내부에 플라즈마를 형성하고, 상기 안테나와 상기 플라즈마는 축전기를 형성하고, 상기 축전기의 단위 길이 당 정전용량은 상기 안테나의 길이 방향에 따라 변하고, 상기 안테나는 서로 다른 외경을 가진 안테나 링들을 포함하고, 상기 안테나 링들은 서로 나사 결합하고, 상기 안테나의 외경은 상기 안테나의 길이 방향에 따라 계단 형상으로 변하고, 상기 보상 구조체는 복수의 보상 링들을 포함하고, 상기 보상 링들의 외경은 일정하고, 상기 보상 링들의 내경은 위치에 따라 다르고, 상기 보상 구조체는 절연성 물질인 것을 특징으로 하는 내부 안테나 구조체
2 2
RF 전원에 연결되고 플라즈마 챔버에 삽입되는 직선형의 안테나; 상기 안테나의 둘레에 배치되는 절연 자켓; 및 상기 안테나와 상기 절연 자켓 사이에 개재된 보상 구조체를 포함하고, 상기 안테나는 상기 플라즈마 챔버의 내부에 플라즈마를 형성하고, 상기 안테나와 상기 플라즈마는 축전기를 형성하고, 상기 축전기의 단위 길이 당 정전용량은 상기 안테나의 길이 방향에 따라 변하고, 상기 안테나의 외경은 일정하고, 상기 보상 구조체는 상기 안테나의 길이 방향에 따라 변하는 단위 길이 당 유전율을 가지고, 상기 보상 구조체는 복수의 보상 링들을 포함하고, 상기 보상 링들은 일정한 외경 및 내경을 가지고 위치에 따라 다른 유전율을 가지는 것을 특징으로 하는 내부 안테나 구조체
3 3
제 1항 또는 제2 항에 있어서, 상기 안테나의 내부로 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 하는 내부 안테나 구조체
4 4
제 1항 또는 제2 항에 있어서, 상기 정전용량은 상기 안테나의 전압의 절대값이 최대인 위치에서 최소인 것을 특징으로 하는 내부 안테나 구조체
5 5
제 1항 또는 제2 항에 있어서, 상기 안테나의 내경은 일정한 것을 특징으로 하는 내부 안테나 구조체
6 6
플라즈마 챔버; RF 전원에 연결되고 플라즈마 챔버에 삽입되는 직선형의 안테나; 정현파의 구동 주파수를 가지고 상기 안테나에 전력을 공급하는 RF 전원; 상기 안테나의 둘레에 배치되는 절연 자켓; 및 상기 안테나와 상기 절연 자켓 사이에 개재된 보상 구조체를 포함하고, 상기 안테나는 상기 플라즈마 챔버의 내부에 플라즈마를 형성하고, 상기 안테나와 상기 플라즈마는 축전기를 형성하고, 상기 축전기의 단위 길이 당 정전용량은 상기 안테나의 길이 방향에 따라 변하고, 상기 안테나는 서로 다른 외경을 가진 안테나 링들을 포함하고, 상기 안테나 링들은 서로 나사 결합하고, 상기 안테나의 외경은 상기 안테나의 길이 방향에 따라 계단 형상으로 변하고, 상기 보상 구조체는 복수의 보상 링들을 포함하고, 상기 보상 링들의 외경은 일정하고, 상기 보상 링들의 내경은 위치에 따라 다르고, 상기 보상 구조체는 절연성 물질인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
7 7
플라즈마 챔버; RF 전원에 연결되고 플라즈마 챔버에 삽입되는 직선형의 안테나; 정현파의 구동 주파수를 가지고 상기 안테나에 전력을 공급하는 RF 전원 상기 안테나의 둘레에 배치되는 절연 자켓; 및 상기 안테나와 상기 절연 자켓 사이에 개재된 보상 구조체를 포함하고, 상기 안테나는 상기 플라즈마 챔버의 내부에 플라즈마를 형성하고, 상기 안테나와 상기 플라즈마는 축전기를 형성하고, 상기 축전기의 단위 길이 당 정전용량은 상기 안테나의 길이 방향에 따라 변하고, 상기 안테나의 외경은 일정하고, 상기 보상 구조체는 상기 안테나의 길이 방향에 따라 변하는 단위 길이 당 유전율을 가지고, 상기 보상 구조체는 복수의 보상 링들을 포함하고, 상기 보상 링들은 일정한 외경 및 내경을 가지고 위치에 따라 다른 유전율을 가지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
8 8
제6 항 또는 제7항에 있어서, 상기 정전용량은 상기 RF 전원의 구동 주파수의 반 파장을 주기로 하여 주기적으로 변하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
9 9
제6 항 또는 제7항에 있어서, 상기 안테나의 내부로 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
10 10
제6 항 또는 제7항에 있어서, 상기 안테나는 파이프 형상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
11 11
제6 항 또는 제7항에 있어서, 상기 절연 자켓은 상기 플라즈마 챔버를 관통하도록 배치되어, 상기 플라즈마 챔버의 내부와 상기 자켓의 내부는 서로 다른 압력을 유지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
12 12
제6 항 또는 제7항에 있어서, 상기 보상 구조체는 절연 물질인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
13 13
제6 항 또는 제7항에 있어서, 상기 안테나는 제1 그룹과 제2 그룹을 포함하고, 상기 제1 그룹과 상기 제2 그룹은 서로 다른 평면에 배치된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
14 14
제13 항에 있어서, 상기 제1 그룹의 하부에 제1 기판이 배치되고, 상기 제2 그룹의 하부에 제2 기판이 배치되어, 다수의 기판이 동시에 처리되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.