맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

플라즈마 형성시간 측정방법

  • 기술번호 : KST2014047094
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 플라즈마 형성시간 측정방법은, 기판상에 소수성 코팅층을 형성하는 단계; 상기 소수성 코팅층 상에 측정대상물질을 박막 증착하는 단계; 레이저를, 상기 기판의, 상기 소수성 코팅층이 형성된 면과 반대쪽의 면에 주사하는 단계; 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 큰지 같은지를 확인하는 단계;상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 큰 경우에는, 상기 레이저의 펄스 폭을 점차 줄여가면서, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기와 같게 되는 시점을 포착하고, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기와 같은 경우에는, 상기 레이저의 펄스 폭을 점차 늘여가면서, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 크게 되는 시점을 포착하는 단계; 및 상기 포착된 시점에서의 펄스폭을 상기 레이저에 의한 플라즈마 형성시간으로 구하는 단계;를 포함한다.
Int. CL G01N 21/00 (2014.01) H05K 3/00 (2014.01) B23K 26/0622 (2014.01)
CPC B23K 26/0622(2013.01) B23K 26/0622(2013.01) B23K 26/0622(2013.01) B23K 26/0622(2013.01) B23K 26/0622(2013.01) B23K 26/0622(2013.01)
출원번호/일자 1020110011502 (2011.02.09)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1181307-0000 (2012.09.04)
공개번호/일자 10-2012-0091623 (2012.08.20) 문서열기
공고번호/일자 (20120911) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.09)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전광역시 유성구
2 강봉철 대한민국 대전광역시 유성구
3 김건우 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 손재용 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동, 미진빌딩*층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0092768-97
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.07.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2012-0063744-10
4 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0521176-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 소수성 코팅층을 형성하는 단계;상기 소수성 코팅층 상에 측정대상물질을 박막 증착하는 단계;레이저를, 상기 기판의, 상기 소수성 코팅층이 형성된 면과 반대쪽의 면에 주사하는 단계;상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 큰지 같은지를 확인하는 단계;상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 큰 경우에는, 상기 레이저의 펄스 폭을 점차 줄여가면서, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기와 같게 되는 시점을 포착하고, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기와 같은 경우에는, 상기 레이저의 펄스 폭을 점차 늘여가면서, 상기 소수성 코팅층이 제거된 패턴의 크기가 상기 레이저의 초점 크기보다 크게 되는 시점을 포착하는 단계; 및상기 포착된 시점에서의 펄스폭을 상기 레이저에 의한 플라즈마 형성시간으로 구하는 단계;를 포함하는, 플라즈마 형성시간 측정방법
2 2
제1항에 있어서,상기 레이저는 소정 시간 간격으로 주사되는, 플라즈마 형성시간 측정방법
3 3
제1항에 있어서,상기 측정대상물은 금속인, 플라즈마 형성시간 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.