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전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014047163
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서에 관한 것으로서, 전계효과 트랜지스터 기판의 후면에서 바이오 물질의 흡착 또는 탈착에 의해 생기는 전기적 특성 변화 효과를 전계효과 트랜지스터 기판 채널의 상부 또는 하부에서 검출하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 더 구체적으로 본 발명은, 서브스트레이트 기판; 상기 서브스트레이트 기판상에 형성되는 절연층; 상기 절연층상의 소정영역에 이격되어 형성되는 소스(source)와 드레인(drain); 상기 소스와 상기 드레인 사이의 영역에 형성되는 활성반도체층; 상기 활성반도체층 상에 형성되는 유전체층; 및 상기 유전체층 상에 형성되는 게이트(gate);를 포함하되, 상기 절연층은, 상기 활성반도체층의 하부면과 접하는 소정 영역이 제거되어 검출대상물질을 포획할 수 있는 공간인 공극을 형성하되, 상기 공극은 수용체 바이오분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서 및 그 제조방법을 제공한다. 또한, 본 발명의 타측면에 의하면, 서브스트레이트 기판; 상기 서브스트레이트 기판상에 형성되는 절연층; 상기 절연층 상부면의 소정영역상에 형성되는 게이트; 상기 게이트의 상부면 및 양측면에 형성되는 유전체층; 상기 유전체층 상부면의 소정영역상에 형성되고, 그 상부면에 수용체 바이오분자를 구비하는 활성반도체층; 및 상기 게이트 및 유전체층이 형성되지 아니한 절연층의 상부면의 소정영역과, 상기 유전체층의 측면 및 상기 활성반도체층의 측면과 접하도록 형성되고, 또한 서로 이격되어 형성되는 소스와 드레인; 을 포함하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서를 제공한다.
Int. CL G01N 27/414 (2006.01) H01L 29/786 (2006.01)
CPC G01N 27/414(2013.01) G01N 27/414(2013.01)
출원번호/일자 1020100019832 (2010.03.05)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1056467-0000 (2011.08.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110812) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.05)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최양규 대한민국 대전광역시 유성구
2 한진우 대한민국 대전광역시 유성구
3 김지연 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2010-0142197-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.06.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0048900-16
4 등록결정서
Decision to grant		 2011.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0389835-82
5 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2011.08.05 수리 (Accepted) 2-1-2011-0182206-73
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서브스트레이트 기판;상기 서브스트레이트 기판상에 형성되는 절연층;상기 절연층상의 소정영역에 이격되어 형성되는 소스(source)와 드레인(drain);상기 소스와 상기 드레인 사이의 영역에 형성되는 활성반도체층;상기 활성반도체층 상에 형성되는 유전체층; 및상기 유전체층 상에 형성되는 게이트(gate);를 포함하되, 상기 절연층은, 상기 활성반도체층의 하부면과 접하는 소정 영역이 제거되어 검출대상물질을 포획할 수 있는 공간인 공극을 형성하되, 상기 공극은 수용체 바이오분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서
2 2
(a) 서브스트레이트 기판 상에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상부면의 소정영역상에 활성반도체층을 형성하는 단계;(c) 상기 활성반도체층의 소정영역상에 유전체층 및 게이트 층을 순차적으로 형성하는 단계;(d) 상기 유전체층 및 게이트 층이 형성되지 아니한 활성반도체층 상부의 소정영역상에 불순물을 도핑하여 소스 및 드레인을 형성하는 단계;(e) 상기 활성반도체층의 하부면과 접하는 절연층의 소정영역을 제거하여 공극을 형성하는 단계; 및(f) 상기 공극에 수용체 바이오분자를 주입하는 단계;를 포함하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 (e) 단계후에, 상기 공극의 일측면에 검출대상물질을 포획할 수 있는 링커를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서의 제조방법
4 4
제 2항에 있어서, 상기 (b)단계는, 상기 절연층 상부면에 활성반도체층을 형성하는 단계; 및상기 활성반도체층의 측면부의 소정영역을 패터닝하고 제거하는 단계;인 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서의 제조방법
5 5
서브스트레이트 기판;상기 서브스트레이트 기판상에 형성되는 절연층;상기 절연층 상부면의 소정영역상에 형성되는 게이트;상기 게이트의 상부면 및 양측면에 형성되는 유전체층;상기 유전체층 상부면의 소정영역상에 형성되고, 그 상부면에 수용체 바이오분자를 구비하는 활성반도체층; 및상기 게이트 및 유전체층이 형성되지 아니한 절연층의 상부면의 소정영역과, 상기 유전체층의 측면 및 상기 활성반도체층의 측면과 접하도록 형성되고, 또한 서로 이격되어 형성되는 소스와 드레인; 을 포함하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서
6 6
(a) 서브스트레이트 기판 위에 절연층을 형성하는 단계;(b) 상기 절연층 상부면의 소정영역상에 게이트를 형성하는 단계;(c) 상기 게이트의 상부면 및 양측면에 유전층을 형성하는 단계;(d) 상기 유전체층 상부면의 소정영역상에 활성반도체층을 형성하는 단계; (e) 상기 게이트 및 유전체층이 형성되지 아니한 절연층의 상부면의 소정영역과, 상기 유전체층의 측면 및 상기 활성반도체층의 측면과 접하는 소스와 드레인을 서로 이격시켜 형성하는 단계; 및 (f) 상기 활성반도체층에 수용체 바이오분자를 주입하는 단계;를 포함하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서의 제조방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 (e) 단계 후에, 상기 활성반도체층 상에 검출대상물질을 포획할 수 있는 링커를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서의 제조방법
8 8
제 6항에 있어서, 상기 (b)단계는, 상기 절연층 상부면에 게이트를 형성하는 단계; 및상기 게이트의 측면부의 소정영역을 패터닝하고 제거하는 단계; 인 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서의 제조방법
9 9
제 6항에 있어서, 상기 (d)단계는, 상기 유전체층 상부면에 활성반도체층을 형성하는 단계; 및상기 활성반도체층의 측면부의 소정영역을 패터닝하고 제거하는 단계;인 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서의 제조방법
10 10
청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
11 11
제 1항에 있어서, 상기 공극의 일측면에 형성되며, 검출대상물질을 포획할 수 있는 링커를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서
12 12
제 5항에 있어서, 상기 활성반도체층의 상부면에 형성되며, 검출대상물질을 포획할 수 있는 링커를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서
13 13
청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
14 14
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
15 15
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
16 16
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.