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대면적 박막 코팅방법 및 그 장치

  • 기술번호 : KST2014048937
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계, 실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 기층의 일면에서 회전 전진시켜 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계, 및 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 스퀴지(squeegee) 또는 블레이드(blade)를 위치시키고 스퀴지 또는 블레이드를 설정된 속도로 전진시켜 도포된 상태의 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계에 따라 작업이 이루어진다.이와 같이 본 발명의 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치는 바 코터, 스퀴지 또는 블레이드를 이용함으로써, 감광액 또는 페이스트와 같은 액체 화학 물질을 일정 넓이 이상의 대면적 기층에 용이하게 도포할 수 있을 뿐만 아니라, 기층에 도포된 액체 화학 물질의 도포 두께도 10um 이하의 박막으로 설정할 수 있는 효과가 있다.바 코터(Bar coater), 스퀴지, 닥터 블레이드, 박막, 박막코팅, 대면적 도포
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/08 (2006.01)
CPC G03F 7/162(2013.01) G03F 7/162(2013.01) G03F 7/162(2013.01)
출원번호/일자 1020070011602 (2007.02.05)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0866323-0000 (2008.10.27)
공개번호/일자 10-2008-0073068 (2008.08.08) 문서열기
공고번호/일자 (20081031) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.05)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조정대 대한민국 대전광역시 유성구
2 이택민 대한민국 대전 유성구
3 김충환 대한민국 서울 강남구
4 김동수 대한민국 대전 서구
5 이응숙 대한민국 대전 유성구
6 최병오 대한민국 대전광역시 유성구
7 정태영 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0106664-93
2 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0430449-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.02.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0014899-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0161977-83
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0372562-96
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.05.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0372564-87
8 등록결정서
Decision to grant		 2008.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0501357-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계; 및실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계를 포함하는 대면적 박막 코팅방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기층은 유리기판, 플라스틱기판, 금속기판, 웨이퍼 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 액체 화학 물질은 감광액(photoresist), 페이스트(paste), 잉크 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 기층은 진공 홀이 있는 플레이트의 상부에 수평되게 놓여져 고정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제2 단계는 상기 바 코터에 감겨지는 선의 직경, 또는 상기 바 코터에 감겨지는 선의 두께에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 액체 화학 물질의 도포 두께는 2㎛ ~ 100㎛ 로 설정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 제2 단계에서는 상기 바 코터를 전진시키는 동작을 수 회 반복하여, 상기 액체 화학 물질을 평탄화시키는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
8 8
기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계; 실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계; 및상기 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 스퀴지(squeegee)를 위치시키고, 상기 스퀴지를 설정된 속도로 전진시켜 상기 도포된 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 제3 단계는 상기 스퀴지의 모양과, 상기 스퀴지가 부착된 높이에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
10 10
기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계; 실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계; 및상기 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 블레이드(blade)를 위치시키고, 상기 블레이드를 설정된 속도로 전진시켜 상기 도포된 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
11 11
제 10 항에 있어서,상기 제3 단계는 상기 블레이드가 부착된 높이에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법
12 12
기층이 놓여져 고정되는 플레이트;상기 기층의 상부에 위치하여 액체 화학 물질을 박막 코팅하는 코팅부;상기 코팅부와 체결되어 이를 지지하는 박막 코팅 지지부; 및상기 플레이트의 일 방향을 따라 연장 설치되어, 상기 박막 코팅 지지부가 일 방향으로 진행되게 가이드 결합되는 가이드부를 포함하고,상기 코팅부는 바 형상을 갖는 실린더의 외주면에 선(wire)이 감겨진 바 코터로 이루어진 대면적 박막 코팅장치
13 13
제 12 항에 있어서,상기 플레이트는 진공 홀이 형성된 플레이트(vacuum plate)인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치
14 14
삭제
15 15
삭제
16 16
제 12 항에 있어서,상기 박막 코팅 지지부와 상기 가이드부는 상기 기층의 양 측부에 각각 설치되며,상기 박막 코팅 지지부는 상기 가이드부에 각각 가이드 결합되는 한 쌍의 지지부재들, 상기 한 쌍의 지지부재 사이를 연결하는 연결부재, 및 상기 지지부재에 지지되면서 상기 코팅부가 체결되는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치
17 17
제 16 항에 있어서,상기 박막 코팅 지지부의 결합부재에는 박막 두께 조절기가 결합되며,상기 박막 두께 조절기는 스퀴지 또는 블레이드 중 어느 하나가 상하방향으로 거동 가능하게 슬라이딩 홈이 내측에 마련되고, 상기 슬라이딩 홈에 상기 스퀴지 또는 상기 블레이드가 끼워진 상태에서 고정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치
18 18
제 17 항에 있어서,상기 박막 두께 조절기에는 상기 스퀴지 또는 상기 블레이드에 설정된 하중을 인가하는 가압력 조절 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치
19 19
제 12 항에 있어서,상기 박막 코팅 지지부와 연결되며, 상기 액체 화학 물질의 점도에 따라 상기 박막 코팅 지지부를 구동하면서 그 이동 속도를 제어하는 디지털 제어장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.