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캔틸레버 센서; 및 상기 센서 표면에 형성된 패턴층을 포함하며,상기 패턴층은, 친수성 영역 및 소수성 영역을 포함하는 채널을 형성하며,상기 채널은 소수성 영역의 벽면과 친수성 영역의 바닥면을 포함하는, 표면 패턴화된 캔틸레버 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 패턴층은, 유체의 이동을 유도하는 친수성 영역; 및 유체의 이동을 차단하는 소수성 영역을 포함하는 유체 채널을 형성하는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서
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제 1 항에 있어서,상기 친수성 영역은 이산화규소(SiO2), 질화규소(SiNx), 이산화티타늄(TiO2), 금(Au) 및 친수성 자가조립단분자층(self assembled monolayer, SAM)으로 구성된 군으로부터 선택되는 하나 이상을 함유하고,상기 소수성 영역은 폴리테트라플루오르에틸렌(polytetrafluoroethylene; PTFE), 실란(Silane), 테트라플루오로메탄(CF4), 에폭시수지 및 소수성 자가조립단분자층으로 구성된 군으로부터 선택되는 하나 이상을 함유하는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서
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제 1 항에 있어서,상기 캔틸레버 센서는, 친수성 영역과 소수성 영역간의 높이 차이를 제공하는 단차가 형성된 구조인 표면 패턴화된 캔틸레버 센서
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제 4 항에 있어서,상기 단차의 높이는 10 내지 200 um인 표면 패턴화된 캔틸레버 센서
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제 4 항에 있어서,소수성 영역이 친수성 영역보다 높은, 표면 패턴화된 캔틸레버 센서
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제 1 항에 있어서,상기 표면 패턴층의 일부는,셀룰로오스; 또는기공율(porosity)이 0
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제 1 항에 있어서,상기 캔틸레버 센서는, 패턴층 위에, 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS) 또는 붕규산 유리(borosilicate glass)로 이루어진 표면 보호층을 포함하는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서
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제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 상기 캔틸레버 센서를 포함하는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서 기반 생체 물질 검출장치
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제 9 항에 있어서,상기 캔틸레버 센서는 동시분석이 가능한 멀티플렉싱(multiplexing) 캔틸레버인 표면 패턴화된 캔틸레버 센서 기반 생체 물질 검출장치
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제 1 항에 따른 표면 패턴화된 캔틸레버 센서의 제조방법으로서,상기 제조방법은,캔틸레버 센서의 표면에 패턴층을 형성하는 패턴화(patterning) 공정을 포함하며,상기 패턴층은 유체의 이동을 유도하는 친수성 영역과 유체의 이동을 차단하는 소수성 영역으로 구성되는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서의 제조방법
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제 11 항에 있어서,상기 캔틸레버 센서의 제조방법은, 패턴화 공정 이전에,센서 표면에 패턴에 따른 높이차를 제공하는 단차 형성 공정을 더 포함하는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서의 제조방법
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제 12 항에 있어서,형성된 단차의 높이는 10 내지 200 um인 표면 패턴화된 캔틸레버 센서의 제조방법
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제 11 항에 있어서,상기 친수성 영역은 이산화규소(SiO2), 질화규소(SiNx), 이산화티타늄(TiO2), 금(Au) 및 친수성 자가조립단분자층(self assembled monolayer; SAM)으로 구성된 군으로부터 선택되는 하나 이상의 물질을 함유하고,상기 소수성 영역은 폴리테트라플루오르에틸렌(polytetrafluoroethylene; PTFE), 실란(Silane), 테트라플루오로메탄(CF4), 에폭시수지 및 소수성 자가조립단분자층으로 구성된 군으로부터 선택되는 하나 이상을 함유하는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서의 제조방법
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제 11 항에 있어서,상기 표면 패턴화 공정 이후에, 자외선(UV)을 조사하여 표면을 활성화하는 공정을 더 포함하는 표면 패턴화된 캔틸레버 센서의 제조방법
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