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진공 흑체 용기의 내부 일면에 형성되며 소정의 온도로 셋팅된 흑체 소스, 상기 흑체 소스로부터 방사된 적외선을 소정의 패턴으로 필터링하여 통과시키는 타겟 및 상기 타겟을 통과한 상기 적외선을 진공 흑체 용기 외부로 평행하게 방사하는 제 1렌즈로 이루어진 흑체 소스 패키지가 적어도 하나 이상 장착되며,
상기 타켓을 회전하는 타켓 휠 및 상기 제 1렌즈가 장착되는 렌즈 마운트를 포함하는 원형 배열 구조의 흑체 소스 어셈블리; 및
상기 흑체 소스 어셈블리의 원형 배열 구조에 대응되는 원형 배열 구조로 형성되며, 상기 흑체 소스 어셈블리를 통과한 적외선의 특성을 검출하는 검출부;
를 포함하는 적외선 검출기 검사 장치
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제 1항에 있어서, 상기 검출부는,
일면에 적외선 투과 물질이 도포되어 상기 흑체 소스 어셈블리를 통과한 적외선을 투과시키는 검출부 어셈블리;
상기 검출부 어셈블리를 통과한 적외선을 검출하는 다수의 적외선 검출기를 포함하는 프린트 기판; 및
상기 적외선 검출기에서 검출된 적외선의 특성을 검지하는 전자 회로부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치
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제 2항에 있어서, 상기 검출부 어셈블리는
냉각 검출기 또는 비냉각 검출기로 형성하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 적외선 특성은,
상기 적외선의 검사 속도 및 데이터의 균일성을 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치
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제 1항에 있어서, 상기 흑체 소스 패키지는,
상기 제 1렌즈로부터 방사된 상기 적외선을 분산시키는 제 2렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치
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6 |
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제 1항에 있어서, 상기 흑체 소스 패키지는,
상기 흑체 소스와 결합되는 형태로 형성되며, 상기 흑체 소스의 온도를 제어하는 온도 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치
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7
제 1항에 있어서, 상기 흑체 소스 어셈블리를 구성하는 각각의 흑체 소스 패키지는 서로 상이한 온도를 나타내는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치
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8
제 1항에 있어서, 상기 흑체 소스 어셈블리에 형성된 적어도 하나 이상의 상기 흑체 소스 패키지의 온도 범위는 -100℃ 이상 250℃ 이하인 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치
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