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나노 다이아몬드를 포함하는 표면 연마제 제조 방법 및 이 방법에 의해 제조된 연마제, 그리고 이 연마제를 이용한 연마 방법

  • 기술번호 : KST2014055483
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 나노 다이아몬드를 포함하는 표면 연마제 제조 방법 및 이 방법에 의해 제조된 연마제, 그리고 이 연마제를 이용한 연마 방법은, 나노다이아몬드 입자를 이용하여 이를 적절한 용액에 분산 또는 혼합하여 연마제를 제조 구성함으로써, 사파이어, 글래스 및 합성 석영, 실리콘 카바이드, 실리콘 단결정 웨이퍼, 리튬 탄탈레이트 단결정 웨이퍼 등을 연마할 때, 연마 속도를 향상시킬 수 있고, 연마된 표면 조도의 고조도화, 고평탄화를 달성할 수 있는 효과가 있다. 연마제, 웨이퍼, 글래스, 기판, 실리콘, 사파이어, 나노
Int. CL C09K 3/14 (2006.01.01) B24D 3/10 (2006.01.01) B24B 23/02 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC C09K 3/1409(2013.01) C09K 3/1409(2013.01) C09K 3/1409(2013.01) C09K 3/1409(2013.01) C09K 3/1409(2013.01)
출원번호/일자 1020090047678 (2009.05.29)
출원인 한국공학대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1097178-0000 (2011.12.15)
공개번호/일자 10-2010-0128971 (2010.12.08) 문서열기
공고번호/일자 (20111221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술대학교산학협력단 대한민국 경기도 시흥시 산기대학로

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조언정 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 이원근 대한민국 대구광역시 달성군 다사읍
3 배영제 대한민국 대구광역시 달서구
4 매용훈 대한민국 경기도 시흥시
5 정용화 대한민국 경상북도 포항시 남구
6 전구식 대한민국 대구광역시 서구
7 우원희 대한민국 대구광역시 북구
8 김헌덕 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 디오셈 주식회사 경기도 화성
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0326774-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.01.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.02.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0011025-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0155517-02
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0371015-58
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0371013-67
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0681316-70
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2014-0066577-70
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
콜로이달 실리카(SiO2) 60~72wt%, 나노 입경을 갖는 다이아몬드 0
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 물질들을 혼합할 때, 5 ~ 20분 동안 초음파로 처리한 다음, 12 ~ 24시간 동안 교반하여 혼합하는 것을 특징으로 하는 나노 다이아몬드를 포함하는 표면 연마제 제조 방법
3 3
삭제
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 나노 다이아몬드는, 입경이 10nm ~ 50nm인 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 나노 다이아몬드를 포함하는 표면 연마제 제조 방법
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 물질들을 혼합할 때, 유기산을 사용하여 pH를 10~11로 조절하는 것을 특징으로 하는 나노 다이아몬드를 포함하는 표면 연마제 제조 방법
6 6
콜로이달 실리카(SiO2) 60~72wt%, 나노 입경을 갖는 다이아몬드 0
7 7
청구항 6에 기재된 표면 연마제를 이용한 피삭체 연마 방법으로서, 연마 정반 및 연마 패드 상에 피삭체를 위치시키는 제1단계와; 상기 제1단계를 통해 피삭체가 연마 패드 상에 위치되면, 상기 연마 정반 및 연마 패드상에 상기 연마제를 제공하면서 상기 연마 정반 및 연마 패드를 회전시켜, 상기 연마제로 피삭체를 연마하는 제2단계를 포함한 것을 특징으로 하는 나노 다이아몬드를 포함하는 표면 연마제를 이용한 연마 방법
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 제2단계 후에, 상기 피삭체를 세정한 다음, 피삭체의 연마된 표면을 검사하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 나노 다이아몬드를 포함하는 표면 연마제를 이용한 연마 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.