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전극을 형성하고 있는 하부 전극부;상기 하부 전극부에 형성된 전극과 대응되는 위치에 전극을 형성하고 있는 상부 전극부;상기 하부 전극부와 상기 상부 전극부 사이에 형성되며, 상기 하부 전극부에 형성된 전극과 대응되는 위치에 천공을 형성하고 있는 캐비티 형성부;상기 상부 전극부 상단에 형성되며, 하면 중 상기 상부 전극부에 형성된 전극과 대응되는 위치에 돌출부를 형성하고 있는 액츄에이터를 포함함을 특징으로 하는 정전용량 방식의 센서
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제 1항에 있어서, 상기 캐비티 형성부의 상단에는 돌출부를 형성하며, 상기 상부 전극부의 하단에는 상기 돌출부와 대응되는 위치에 홀을 형성함을 특징으로 하는 정전용량 방식의 센서
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제 2항에 있어서, 상기 상부 전극부는 상단에 가해지는 하중의 크기에 따라 상기 상부 전극부와 상기 하부 전극부 사이의 정전 용량이 선형적으로 증가함을 특징으로 하는 정전용량 방식의 센서
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제 3항에 있어서, 상기 캐비티 형성부에 형성된 천공 부분에 폴리머, 실리콘, 고무, 겔, 글리세린 중 적어도 하나를 채움을 특징으로 하는 정전용량 방식의 센서
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제 3항에 있어서, 상기 상부 전극부는,부도체의 재질을 갖는 기판의 하단 중 상기 하부 전극부에 형성된 전극과 대응되는 위치에 전도성 재질이 도금되어 있음을 특징으로 하는 센서
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하부 전극부에 전극을 형성하는 단계;상기 하부 전극부에 형성된 전극에 대응되는 위치에 천공을 형성하고 있는 캐비티 형성부는 상기 하부 전극부 상단에 적층하는 단계;상기 하부 전극부에 형성된 전극과 대응되는 위치에 전극을 형성하고 있는 상부 전극부를 상기 캐비티 형성부 상단에 적층하는 단계;하면 중 상기 상부 전극부에 형성된 전극과 대응되는 위치에 돌출부를 형성하고 있는 액츄에이터를 상기 상부 전극부 상단에 적층하는 단계를 포함하며,상기 캐비티 형성부의 상단에는 돌출부를 형성하며, 상기 상부 전극부의 하단에는 상기 돌출부와 대응되는 위치에 홀을 형성함을 특징으로 하는 센서 제작 방법
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