요약 | 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센스 및 이의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 의한 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법은, (1) 탄소재료를 반응기 내에 안착시키고, 열처리하는 제1단계; (2) 반응기 내에 불소 가스를 주입하여, 제1단계를 통하여 열처리된 탄소재료를 불소 처리하는 제2단계; 및 (3) 상기 제2단계를 통하여 불소 처리된 탄소재료를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 제3단계;를 포함하여 이루어진다. 본 발명에 의할 경우, 상온에서도 타깃 가스에 대한 민감도와 응답성이 우수한 가스센서를 제조할 수 있게 된다. |
---|---|
Int. CL | G01N 27/12 (2006.01) H01L 21/363 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) |
CPC | G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100047322 (2010.05.20) |
출원인 | 충남대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1260457-0000 (2013.04.26) |
공개번호/일자 | 10-2011-0127851 (2011.11.28) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20130506) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.05.20) |
심사청구항수 | 16 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 충남대학교산학협력단 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이영석 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 강석창 | 대한민국 | 대전광역시 동구 |
3 | 임지선 | 대한민국 | 대전광역시 대덕구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이동희 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 송파대로 ***, *층 (송파동, 옥명빌딩)(플랜국제특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 충남대학교산학협력단 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.05.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0324214-12 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.05.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5108981-12 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.11.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0096043-51 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0314161-16 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2012.07.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0608894-80 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2012.08.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0679367-83 |
8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2012.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0790200-05 |
9 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2012.10.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0888889-40 |
10 | 지정기간연장관련안내서 Notification for Extension of Designated Period |
2012.11.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2012-0134083-22 |
11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0996431-10 |
12 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.11.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0996432-55 |
13 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.04.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0280810-43 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.12.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5174286-48 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5116888-44 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5116889-90 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 (1) 탄소재료를 반응기 내에 안착시키고, 열처리하는 제1단계;(2) 반응기 내에 불소 가스를 주입하고, 500 내지 1,000℃의 온도에서 제1단계를 통하여 열처리된 탄소재료를 불소 처리하는 제2단계; 및(3) 분산용액 100 중량부에 상기 제2단계를 통하여 불소 처리된 탄소재료 0 |
2 |
2 제1항에 있어서, 상기 제1단계 이전에 반응기에 비활성 가스를 주입 및 배기하는 단계를 적어도 1회 이상 수행하는 것을 특징으로 하는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법 |
3 |
3 제2항에 있어서, 상기 반응기에 비활성 가스를 주입 및 배기하는 과정에서, 비활성 가스의 주입 및 배기는 반응기의 압력이 0 |
4 |
4 제3항에 있어서, 상기 비활성 가스의 배기가 완료된 반응기의 압력은 대기압 미만인 것을 특징으로 하는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법 |
5 |
5 제1항에 있어서, 상기 탄소재료는 단일벽 탄소나노튜브, 이중벽 탄소나노튜브, 다중벽 탄소나노튜브, 흑연, 활성탄, 카본블랙, 그라파이트 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법 |
6 |
6 제1항에 있어서, 상기 제1단계를 통하여 이루어지는 열처리는 100 내지 300℃의 온도 범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법 |
7 |
7 제1항에 있어서, 상기 제1단계를 통하여 이루어지는 열처리는 0 |
8 |
8 제1항에 있어서, 상기 제2단계에서 반응기 내부로 불소 가스를 공급함에 있어서, 불소 가스의 공급은 반응기의 압력이 0 |
9 |
9 제1항에 있어서, 상기 제2단계의 불소 처리는 불소가스 단독 또는 불소가스와 비활성가스의 혼합가스를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법 |
10 |
10 제9항에 있어서, 상기 불소가스 단독으로 불소 처리를 하는 경우, 불소 처리는 반응기 내 불소 가스의 압력이 0 |
11 |
11 제9항에 있어서, 상기 불소가스와 비활성가스의 혼합가스를 이용하여 불소 처리를 하는 경우, 불소 가스의 부분압은 0 |
12 |
12 제1항에 있어서, 상기 불소가스는 불소(F2), 삼불화질소(NF3), CF4(사불화탄소), CHF3(삼불화탄소), C3F8(팔분화삼탄소), C4F8(팔불화사탄소) 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법 |
13 |
13 삭제 |
14 |
14 제1항에 있어서,상기 제2단계의 불소 처리는 0 |
15 |
15 삭제 |
16 |
16 제1항에 있어서,상기 분산용액은 에탄올, 메탄올, 아세톤, 디메틸포름아미드 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법 |
17 |
17 삭제 |
18 |
18 제1항에 있어서, 상기 제3단계 이후에 상기 제3단계의 과정을 통하여 얻어진 가스센서를 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법 |
19 |
19 제18항에 있어서,상기 열처리는 30 내지 100℃의 온도범위에서 0 |
20 |
20 삭제 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1260457-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20100520 출원 번호 : 1020100047322 공고 연월일 : 20130506 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130425 청구범위의 항수 : 16 유별 : G01N 27/12 발명의 명칭 : 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센스 및 이의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 충남대학교산학협력단 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 334,500 원 | 2013년 04월 29일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 274,400 원 | 2016년 03월 29일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 274,400 원 | 2017년 03월 31일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 196,000 원 | 2018년 04월 02일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 354,000 원 | 2019년 03월 27일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 354,000 원 | 2020년 03월 31일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.05.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0324214-12 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.05.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5108981-12 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.11.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0096043-51 |
5 | 의견제출통지서 | 2012.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0314161-16 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2012.07.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0608894-80 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2012.08.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0679367-83 |
8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2012.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0790200-05 |
9 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2012.10.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0888889-40 |
10 | 지정기간연장관련안내서 | 2012.11.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2012-0134083-22 |
11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0996431-10 |
12 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.11.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0996432-55 |
13 | 등록결정서 | 2013.04.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0280810-43 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.12.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5174286-48 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5116888-44 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5116889-90 |
기술번호 | KST2014057144 |
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자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 충남대학교 |
기술명 | 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서 및 이의 제조방법 |
기술개요 |
불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센스 및 이의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 의한 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법은, (1) 탄소재료를 반응기 내에 안착시키고, 열처리하는 제1단계; (2) 반응기 내에 불소 가스를 주입하여, 제1단계를 통하여 열처리된 탄소재료를 불소 처리하는 제2단계; 및 (3) 상기 제2단계를 통하여 불소 처리된 탄소재료를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 제3단계;를 포함하여 이루어진다. 본 발명에 의할 경우, 상온에서도 타깃 가스에 대한 민감도와 응답성이 우수한 가스센서를 제조할 수 있게 된다. |
개발상태 | 기술개발진행중 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 가스센서 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 기술매매 |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1345136314 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6B1913 |
연구과제명 | 대덕특구연계에너지환경소재혁신인력양성사업 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 충남대학교 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
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[KST2014041989][충남대학교] | 폴리아닐린이 코팅된 함산소불소화 탄소나노튜브를 이용한 가스센서의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014057256][충남대학교] | 상온 상압에서의 전자빔 조사를 이용한 기체상 중공 나노입자의 제조장치 및 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015009542][충남대학교] | 코팅된 붕소 나노입자의 제조장치 및 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014032498][충남대학교] | 나노기공을 가지는 고분자 전해질막을 주형기질로 사용한 금이나 졸-겔의 나노입자의 합성과 그의 바이오센서에의 응용 | 새창보기 |
[KST2014037988][충남대학교] | 전도성 탄소재 함유 다공성 나노섬유를 이용한 가스센서 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014054523][충남대학교] | 무기고분자 및 친수성 고분자를 이용한 미세·나노유체 소자및 MEMS 미세구조물 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2014027491][충남대학교] | 불소처리에 의하여 약물 전달 서방성이 증진된 생분해성 나노섬유 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014040673][충남대학교] | 산화티탄을 첨가한 탄소나노튜브/폴리아닐린 가스센서 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
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[KST2015009509][충남대학교] | 나노 구조물의 제조방법, 나노 구조물 및 이를 이용하는 소자 | 새창보기 |
[KST2014027463][충남대학교] | 아연환원제를 이용한 저온에서의 텅스텐 나노분말의 제조방법 | 새창보기 |
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[KST2014041827][충남대학교] | 다공성 나노섬유를 이용한 가스센서 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
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