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전이금속 나노 와이어의 제조 방법
- 기술번호 : KST2014058492
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 전이금속 나노 와이어의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전이금속 나노 와이어의 제조 방법은, 반응 챔버 내에 피처리체를 제공하는 단계; 상기 반응 챔버 내에 화학식 MA2Bx-2 (상기 M은 전이금속이고, 상기 x는 상기 전이금속의 배위수이고, 상기 A 및 B는 서로 다른 작용기임)인 헤테로랩틱 구조를 갖고 상기 작용기 A가 상기 작용기 B보다 반응성이 큰 전이금속 전구체를 공급하는 단계; 상기 반응 챔버 내에 산소 함유 가스를 공급하는 단계; 및 상기 전구체의 상기 작용기 A와 상기 산소 함유 가스의 우선적 반응에 의한 중간체가 상기 피처리체의 표면 상에서 성장하는 단계를 포함할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | C23C 16/455 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) |
| CPC | C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020110066185 (2011.07.05) |
| 출원인 | 서울대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1338932-0000 (2013.12.03) |
| 공개번호/일자 | 10-2013-0004950 (2013.01.15) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20131209) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2011.09.23) |
| 심사청구항수 | 16 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박상현 | 대한민국 | 경기도 오산시 |
| 2 | 허재영 | 대한민국 | 미국 매사추세츠주 * |
| 3 | 김형준 | 대한민국 | 경기도 성남시 분당구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김권석 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서울대학교산학협력단 | 서울특별시 관악구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.07.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0512071-13 |
| 2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2011.07.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0063156-89 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2011.08.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0632324-51 |
| 4 | 보정요구서 Request for Amendment |
2011.08.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0076810-35 |
| 5 | [출원서등 보정]보정서(납부자번호) [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number) |
2011.08.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0656012-73 |
| 6 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2011.09.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0741219-99 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
| 8 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2012.11.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 9 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.12.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0093778-10 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 11 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.03.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0214930-32 |
| 12 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2013.05.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0479276-25 |
| 13 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2013.05.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0484466-11 |
| 14 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.07.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0586448-69 |
| 15 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.07.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0586447-13 |
| 16 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0803289-22 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 반응 챔버 내에 전이금속 나노 와이어가 성장하는 표면을 제공하는 피처리체를 제공하는 단계;상기 반응 챔버 내에 화학식 MA2Bx-2 (상기 M은 전이금속이고, 상기 x는 상기 전이금속의 배위수이고, 상기 A 및 B는 서로 다른 작용기임)인 헤테로랩틱 구조를 갖고 상기 작용기 A가 상기 작용기 B보다 입체적으로 반응성이 큰 전이금속 전구체를 공급하는 단계;상기 반응 챔버 내에 산소 함유 가스를 공급하는 단계; 및상기 전구체의 상기 작용기 A와 상기 산소 함유 가스의 우선적 반응에 의한 상기 M의 산화물 및 상기 M의 산화물들이 결합된 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하는 중간체가 상기 피처리체의 표면 상에서 성장하는 단계를 포함하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 중간체는 상기 전구체 및 상기 산소 함유 가스와 축합 반응을 겪는 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서,상기 작용기 A는 수소기보다 입체적으로 큰 반응성 작용기이고, 상기 B는 수소기인 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 4 |
4 제 3 항에 있어서,상기 작용기 A는 -NR1R2 (상기 R1 및 R2는 각각 탄화 수소 화합물임)인 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 5 |
5 제 4 항에 있어서,상기 탄화 수소는 알킬기인 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서,상기 산소 함유 가스는 히드록실기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 산소 함유 가스는 H2O 인 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서, 상기 전구체를 공급하는 단계 이전에,상기 피처리체의 표면을 세정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 9 |
9 제 8 항에 있어서, 상기 세정하는 단계는 알코올을 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 10 |
10 제 1 항에 있어서, 상기 전구체를 공급하는 단계 이전에,상기 피처리체의 표면을 수산화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 11 |
11 제 1 항에 있어서,상기 전이금속은, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Y, Zr, Nb, Mo, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, Hf, Ta, W, Ir, Pt, Os, 및 Au로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 12 |
12 반응 챔버 내에 전이금속 나노 와이어가 성장하는 표면을 제공하는 피처리체를 제공하는 제 1 단계;상기 반응 챔버 내에 화학식 MA2Bx-2 (상기 M은 전이금속이고, 상기 x는 상기 전이금속의 배위수이고, 상기 A 및 B는 서로 다른 작용기임)인 헤테로랩틱 구조를 갖고 상기 작용기 A가 상기 작용기 B보다 입체적으로 반응성이 큰 전이금속 전구체를 펄스 공급하여 상기 전이금속 전구체의 중간체를 상기 피처리체에 흡착시키는 제 2 단계;상기 반응 챔버 내에 잔류하는 상기 전구체, 및 상기 전구체와 상기 피처리체 표면의 반응에 의한 제 1 반응생성물을 제거하기 위하여, 상기 반응 챔버 내에 퍼지 가스를 펄스 공급하는 제 3 단계; 상기 반응 챔버 내에 산소 함유 가스를 펄스 공급하고, 상기 전구체의 상기 작용기 A와 상기 산소 함유 가스의 우선적 반응이 일어나 상기 작용기 A가 치환되는 제 4 단계;상기 반응 챔버 내에 잔류하는 상기 산소 함유 가스, 및 상기 산소 함유 가스와 상기 전구체의 작용기 A의 반응에 의한 제 2 반응생성물을 제거하기 위하여, 상기 반응 챔버 내에 퍼지 가스를 펄스 공급하는 제 5 단계; 및상기 제 2 단계 내지 제 5 단계를 적어도 1회 이상 반복하고,상기 중간체는 상기 M의 산화물 및 상기 M의 산화물들이 결합된 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하고,상기 제 1 반응생성물은 상기 흡착된 중간체 이외의 화합물이고, 상기 제 2 반응생성물은 상기 작용기 A가 치환된 중간체 이외의 화합물인 것을 특징으로 하는 원자층 증착법에 의한 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 13 |
13 제 12 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 중간체들은 상기 전구체 및 상기 산소 함유 가스와 축합 반응을 겪는 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 14 |
14 제 12 항에 있어서,상기 작용기 A는 수소기보다 입체적으로 큰 반응성 작용기이고, 상기 B는 수소기인 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 15 |
15 제 12 항에 있어서, 상기 전구체를 펄스 공급하는 제 2 단계 이전에,상기 피처리체의 표면을 수산화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 16 |
16 화학식 MA2Bx-2 (상기 M은 전이금속이고, 상기 x는 상기 전이금속의 배위수이고, 상기 A 및 B는 서로 다른 작용기임)인 헤테로랩틱 구조를 갖고 상기 작용기 A가 상기 작용기 B보다 입체적으로 반응성이 큰 전이금속 전구체와 산소 함유 가스의 축합에 의해 형성된 -(M-O-M)- 체인으로 일방향으로 연장된 전이금속 나노 와이어 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1338932-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20110705 출원 번호 : 1020110066185 공고 연월일 : 20131209 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20131120 청구범위의 항수 : 16 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 334,500 원 | 2013년 12월 03일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 274,400 원 | 2016년 02월 22일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 274,400 원 | 2017년 11월 24일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 196,000 원 | 2018년 12월 03일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 354,000 원 | 2019년 12월 03일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.07.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0512071-13 |
| 2 | 보정요구서 | 2011.07.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0063156-89 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2011.08.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0632324-51 |
| 4 | 보정요구서 | 2011.08.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0076810-35 |
| 5 | [출원서등 보정]보정서(납부자번호) | 2011.08.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0656012-73 |
| 6 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2011.09.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0741219-99 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
| 8 | 선행기술조사의뢰서 | 2012.11.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 9 | 선행기술조사보고서 | 2012.12.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0093778-10 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 11 | 의견제출통지서 | 2013.03.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0214930-32 |
| 12 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2013.05.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0479276-25 |
| 13 | [출원서등 보정]보정서 | 2013.05.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0484466-11 |
| 14 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.07.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0586448-69 |
| 15 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.07.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0586447-13 |
| 16 | 등록결정서 | 2013.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0803289-22 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 기술번호 | KST2014058492 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 서울대학교 |
| 기술명 | 전이금속 나노 와이어의 제조 방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 전이금속 나노 와이어의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전이금속 나노 와이어의 제조 방법은, 반응 챔버 내에 피처리체를 제공하는 단계; 상기 반응 챔버 내에 화학식 MA2Bx-2 (상기 M은 전이금속이고, 상기 x는 상기 전이금속의 배위수이고, 상기 A 및 B는 서로 다른 작용기임)인 헤테로랩틱 구조를 갖고 상기 작용기 A가 상기 작용기 B보다 반응성이 큰 전이금속 전구체를 공급하는 단계; 상기 반응 챔버 내에 산소 함유 가스를 공급하는 단계; 및 상기 전구체의 상기 작용기 A와 상기 산소 함유 가스의 우선적 반응에 의한 중간체가 상기 피처리체의 표면 상에서 성장하는 단계를 포함할 수 있다. |
| 개발상태 | 기술개발진행중 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스 |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제정보가 없습니다 |
|---|
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