| 1 |
1
복 수개의 제1관통홀을 구비하며, 다공성인 제1전극;
상기 제1전극과 일정 간격으로 이격되어 이격 공간을 형성하며, 상기 제1관통홀과 대응되는 제2관통홀 및 상기 이격 공간과 외부를 연결하는 복 수개의 제1연결홀을 구비한 제2전극; 및
상기 제1관통홀 및 제2관통홀을 관통하여 외부로 연결하는 세라믹 노즐;을 포함하며,
상기 다공성인 제1전극을 통해 상기 이격 공간에 소오스 가스를 공급하고, 상기 세라믹 노즐을 통해 상기 이격 공간을 통과하면서 외부로 이차 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,
상기 제1전극 및 제2전극에 전원을 인가하면, 상기 이격 공간에서 상기 제1전극을 통해 공급된 상기 소오스 가스가 플라즈마로 상변화된 후 상기 제1연결홀들을 통해 외부로 분사되고, 상기 세라믹 노즐을 통해 상기 플라즈마가 발생된 이격 공간을 통과한 이차 가스가 외부로 분사되면, 상기 플라즈마와 이차 가스는 외부에서 혼합되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서,
상기 제2전극 상에 구비되되, 적어도 하나의 혼합 홈을 구비하고, 상기 혼합 홈과 외부를 연결하는 제2연결홀을 구비한 커버;를 더 포함하되,
상기 혼합 홈들 각각에는 적어도 하나의 제1연결홀과 적어도 하나의 세라믹 노즐이 연결되어 있어 상기 이차 가스와 플라즈마가 공급되며, 상기 제2연결홀을 통해 플라즈마가 혼합된 이차 가스가 외부로 분사되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서,
상기 각각의 세라믹 노즐의 끝단부는 상기 각각의 혼합 홈 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 5 |
5
가스 공급부와 기구 안착부를 구비한 내부 공간을 갖고, 상기 가스 공급부의 내부 공간에는 이차 가스 챔버를 구비하고, 상기 가스 공급부의 벽 내부에는 소오스 가스 공급관을 구비한 하우징;
상기 하우징의 기구 안착부에 안착되되, 샬레 형태로 이루고 있어 바닥부와 측벽부에 의해 정의되는 소오스 가스 챔버를 구비하며, 상기 안착부의 내부 직경보다 작은 외부 직경을 가져 상기 소오스 가스 공급관에서 공급되는 소오스 가스가 상기 하우징과의 소오스 가스 가이드 영역에 공급될 수 있도록 하며, 바닥에는 복 수개의 제3관통홀을 구비하고, 측벽에는 상기 소오스 가스 가이드 영역과 소오스 가스 챔버를 연결하는 적어도 하나의 소오스 가스 공급홀을 구비한 노즐 홀더;
상기 노즐 홀더 상에 안착되되, 상기 노즐 홀더의 외부 직경과 동일한 외부 직경을 가지며 중앙의 일정 영역이 비어있는 디스크 형태의 보조 전극;
상기 보조 전극 상에 안착되되, 상기 노즐 홀더의 제3관통홀들과 대응되는 복 수개의 제1관통홀을 구비하며 다공성 물질로 이루어진 다스크 형태의 제1전극;
내부 직경이 상기 보조 전극과 제1전극의 외부 직경과 동일하거나 큰 샬레 형태로 이루고 있고, 적어도 상기 보조 전극 및 제1전극의 측면을 덮는 형태로 상기 제1전극 상에 안착되되, 바닥부의 중앙의 일정 영역이 비어 있는 전극 절연체;
상기 전극 절연체 상에 안착되되, 상기 전극 절연체의 외부 직경과 동일한 직경을 가지며, 상기 전극 절연체에 의해 상기 제1전극과 일정 간격으로 이격되는 이격 공간을 형성하며, 상기 이격 공간과 외부를 연결하는 제1연결홀 및 상기 제1관통홀과 대응되는 제2관통홀을 구비한 디스크 형태의 제2전극;
상기 노즐 홀더의 제3관통홀, 제1전극의 제1관통홀 및 제2챔버의 제2관통홀을 관통하도록 구비된 세라믹 노즐; 및
상기 제2전극의 중앙 영역은 노출시키고, 상기 제2전극의 가장자리 영역과 상기 하우징의 일정 영역을 동시에 덮어 상기 하우징의 내부 공간을 밀폐시키는 캡;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서,
상기 제1전극 및 제2전극에 전원을 인가하면, 상기 이격 공간에서 상기 제1전극을 통해 공급된 상기 소오스 가스가 플라즈마로 상변화된 후 상기 제1연결홀들을 통해 외부로 분사되고, 상기 세라믹 노즐을 통해 상기 플라즈마가 발생된 이격 공간을 통과한 이차 가스가 외부로 분사되면, 상기 플라즈마와 이차 가스는 외부에서 혼합되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 7 |
7
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 제2전극을 관통하는 세라믹 노즐 및 제1연결홀은 하나의 세라믹 노즐을 중심으로 적어도 하나의 제2연결홀이 감싸고 있는 형태인 단위 셀로 상기 제2전극 상에 구비되며, 상기 단위 셀은 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서,
상기 제2전극과 하우징 사이에 구비되며, 상기 제2전극의 외부 직경과 동일한 외부 직경을 가지며, 적어도 하나의 혼합 홈을 구비하고, 상기 혼합 홈과 외부를 연결하는 제2연결홀을 구비한 커버;를 더 포함하되,
상기 혼합 홈들 각각에는 적어도 하나의 제1연결홀과 적어도 하나의 세라믹 노즐이 연결되어 있어 상기 이차 가스와 플라즈마가 공급되며, 상기 제2연결홀을 통해 플라즈마가 혼합된 이차 가스가 외부로 분사되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 9 |
9
제 8 항에 있어서,
상기 각각의 세라믹 노즐의 끝단부는 상기 각각의 혼합 홈에 위치하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 10 |
10
제 7 항에 있어서,
상기 보조 전극의 하부면에는 외부의 전원과 연결하기 위한 전극 연결봉;을 더 구비하며, 상기 전극 연결봉은 상기 노즐 홀더를 관통하여 상기 가스 공급부까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
| 11 |
11
제 7 항에 있어서,
상기 하우징의 가스 공급부에 대응되는 벽 상에는 상기 하우징과 이차 가스를 절연시키는 하우징 절연체;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 장치
|
