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아크 발생장치

  • 기술번호 : KST2014066079
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 아크 발생장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 저전류에서의 아크 증착시 아크의 이동속도를 증가시켜 매크로 입자 발생을 억제하고, 이동속도 증가를 위한 장치 구조를 간소화시킨 저전류 구동형 펄스 아크발생부에 관한 것이다.이를 위해, 전원부 및 상기 전원부와 연결된 아크발생부를 통해 진공실 내부의 아크 소스에 전류를 인가하여 아크를 발생시키는 장치에 있어서, 상기 아크 소스에서 발생되는 아크 및 펄스아크의 이동속도를 증가시킬 수 있도록 상기 아크 소스 내부에 자장발생수단을 내장 구비한 것을 특징으로 한다.상기한 구성에 따라, 자장발생수단을 아크 소스 내부에 구비하여 아크 소스의 원주 방향으로 자장을 인가함으로써, 아크 이동속도를 증가시켜 매크로 입자가 발생하는 것을 방지하는 효과가 있고, 또한 상기 자장발생수단을 작동시키는 별도의 전원공급장치가 불필요하여 구조를 단순화시킬 수 있는 효과도 있다.아크, 아크 소소, 펄스, 영구자석, 전자석.
Int. CL C23C 14/35 (2006.01) H01J 37/30 (2006.01)
CPC C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01)
출원번호/일자 1020050110844 (2005.11.18)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0701267-0000 (2007.03.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.18)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성완 대한민국 서울 양천구
2 조용기 대한민국 경기 안산시 상록구
3 김상권 대한민국 경기도 광명시 광
4 문경일 대한민국 인천 남구
5 김윤택 대한민국 경기 군포시
6 이동우 대한민국 경기 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유종정 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 *, ***호(역삼동, 강남역센트럴푸르지오시티)(오주특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2005-0665413-82
2 보정요구서
Request for Amendment
2005.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0118424-92
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2005.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2005-0684377-15
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.08.11 수리 (Accepted) 9-1-2006-0052919-59
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0593761-14
7 의견서
Written Opinion
2006.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2006-0920233-65
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.12.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0920230-28
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
10 등록결정서
Decision to grant
2007.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0141789-03
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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전원부 및 상기 전원부와 연결된 아크발생부를 통해 진공실 내부의 아크 소스에 전류를 인가하여 아크를 발생시키되, 상기 아크 소스에서 발생되는 아크 및 펄스아크의 이동속도를 증가시킬 수 있도록 상기 아크 소스 내부에 영구자석이나 전자석으로 이루어진 자장발생수단을 내장 구비한 펄스 아크 발생장치에 있어서,상기 자장발생수단(80)은 이웃하는 다른 자장발생수단(80)과 서로 다른 극성으로 아크 소스(20)에 고정 배치될 수 있게 복수 구비하되, 상기 자장발생수단(80)은 아크 소스(20) 내측면에 종방향으로 고정 설치한 것을 특징으로 하는 저전류 구동형 펄스 아크 발생장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 아크 소스(20)는 양끝 각각에서 아크 및 펄스아크를 발생시킬 수 있도록 양단에 전원부(70)와 아크발생부(40)를 각각 설치하는 것을 특징으로 하는 저전류 구동형 펄스 아크 발생장치
5 5
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패밀리정보가 없습니다
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