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빔을 방출하는 레이저 다이오드;상기 레이저 다이오드를 통해 방출된 빔을 회절시키는 회절격자;상기 회절격자에서 회절된 빔을 반사하는 반사거울;상기 반사거울을 통하여 반사된 빔이 통과하는 글래스 플레이트(glass plate)를 포함하여 구성되어,상기 반사거울의 회전을 통해 빔의 스티어링(steering) 현상을 조정하고 상기 글래스 플레이트에 의해 빔의 경로변경이 유발되어 빔의 시프트(shift) 현상을 조정할 수 있도록 형성하되,상기 레이저 다이오드는 적어도 2개 이상 설치되고, 상기 레이저 다이오드에서 상기 회절격자로 향하는 레이저 빔의 진행경로 상에는 특정 파장의 빔을 통과시키거나 반사시킬 수 있는 색선별 거울이 설치된 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제1항에 있어서, 상기 회절격자와 반사거울 및 글래스 플레이트는 각각 엑츄에이터(actuator)에 의해 회전 구동되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제1항에 있어서, 상기 회절격자와 반사거울 및 글래스 플레이트는 각각 갈바노 미러(Galvano Mirror)에 의해 회전 구동되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제1항에 있어서, 상기 회절격자와 반사거울 및 글래스 플레이트는 각각 전동 스테이지 의해 회전 구동되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제1항에 있어서, 상기 글래스 플레이트를 통해 입사되는 빔 중 일부를 투과하거나 반사시키는 빔 스플리터(beam spliter)가 더 설치된 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제6항에 있어서, 상기 빔 스플리터를 통해 입사되는 빔을 검출하는 광 검출기가 더 설치된 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제7항에 있어서, 상기 레이저 다이오드에서 방출되는 빔의 온도를 검출하는 온도센서와;상기 온도센서를 통해 검출된 빔의 온도와 상기 광 검출기를 통해 검출된 빔의 광량을 기반으로 상기 회절격자와 반사거울 및 글래스 플레이트의 회전구동을 각각 제어하는 제어부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제7항에 있어서, 상기 빔 스플리터와 광 검출기는 각각 적어도 2개 이상이 설치되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제7항에 있어서, 상기 글래스 플레이트와 빔 스플리터 사이에는 상기 글래스 플레이트를 통과한 빔의 광량을 조절해주는 어퍼처(aperture)가 더 설치된 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제10항에 있어서, 상기 어퍼처는 적어도 2개 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제10항에 있어서, 상기 어퍼처와 상기 광 검출기는 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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제7항에 있어서, 상기 광 검출기는 복수 개로 분할된 광 검출소자를 통해 광의 입사되는 위치를 검출하는 분할형 광 검출기인 것을 특징으로 하는 외부 공진기 레이저 시스템
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