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베이스;
상기 베이스 상에 위치하는 캐리어;
상기 캐리어를 4방향으로 탄력지지하는 플렉서블 지지체; 및
상기 플렉서블 지지체의 당김력을 조절하여 상기 캐리어의 이동위치를 제어하는 컨트롤러;를 포함하고,
상기 플렉서블 지지체는,
양 단부가 상기 캐리어에 지지된 채 삼각 폐곡선 형태로 된 제1 지지체와;
양 단부가 상기 캐리어에 지지된 채 삼각 폐곡선 형태로 되되, 상기 제1 지지체와 대칭되는 제2 지지체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 이송장치
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제1항에 있어서,
상기 제1,2 지지체의 캐리어와 마주하는 부위에 각각 설치되어, 제1,2 지지체를 감거나 풀면서 각 지지체가 일정한 장력을 유지할 수 있도록 제어하는 장력제어유닛을 더 포함하는 평면 이송장치
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8
제7항에 있어서,
상기 장력제어유닛은, 상기 제1 지지체의 소정부위를 권회하고 있는 권회롤과, 상기 권회롤을 정역회전시켜주며 상기 베이스에 고정되는 회전모터와, 상기 지지체의 장력을 측정하는 장력측정센서와, 상기 장력측정센서에서 측정된 지지체의 장력에 따라 상기 회전모터를 구동을 제어하는 제어부로 구성된 평면 이송장치
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9
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 장력제어유닛은, 상기 베이스 상에서 상기 캐리어와 마주하는 변을 따라 이동 가능하게 설치된 평면 이송장치
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10
제7항에 있어서,
상기 제1,2 지지체의 캐리어와 장력제어유닛 사이구간은 컨트롤러에 의해 지지되고, 상기 제1,2 지지체의 장력제어유닛과 캐리어 사이구간은 가이드 롤에 의해 지지된 평면 이송장치
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11
제1항에 있어서,
상기 플렉서블 지지체는 자체적으로 탄성을 갖는 와이어, 벨트 중 선택된 어느 하나 인 평면 이송장치
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