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대상체를 로딩하는 대상체 로딩부;상기 로딩부에서 이송된 상기 대상체 상에 칼코겐 소스를 위치시키고, 상기 칼코겐 소스가 통과하는 크기를 가지는 미세 기공을 포함하는 미세 기공체 부재를 상기 대상체와 상기 칼코겐 소스 사이에 개재시키는 칼코겐 소스 제공부;상기 칼코겐 소스 제공부에서 이송된 상기 칼코겐 소스를 가열하여, 상기 칼코겐 소스가 상기 미세 기공체 부재의 상기 미세 기공을 통하여 상기 대상체에 도달하여 칼코겐화 반응함으로써, 칼코겐화된 대상체를 형성하는 칼코겐화 형성부; 상기 칼코겐화 형성부에서 이송된 상기 칼코겐화된 대상체를 언로딩하는 대상체 언로딩부; 및 상기 대상체를 상기 대상체 로딩부, 상기 칼코겐 소스 제공부, 상기 칼코겐화 형성부, 및 상기 대상체 언로딩부에 순차적으로 이송하는 이송수단;을 포함하고, 상기 미세 기공체 부재에 포함된 상기 미세 기공은, 액상의 칼코겐 소스는 통과시키지 않고 기상의 칼코겐 소스는 통과시키는 크기를 가지는, 태양 전지 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 소스 제공부는 제1 칼코겐 소스를 제공하는 제1 칼코겐 소스 제공부와 제2 칼코겐 소스를 제공하는 제2 칼코겐 소스 제공부를 포함하고,상기 칼코겐화 형성부는 제1 칼코겐화 형성부와 제2 칼코겐화 형성부를 포함하고,상기 이송 수단은 상기 대상체를 상기 제1 칼코겐 소스 제공부, 상기 제1 칼코겐화 형성부, 상기 제2 칼코겐 소스 제공부, 및 상기 제2 칼코겐화 형성부에 순차적으로 이송하는, 태양 전지 제조 장치
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3
제 2 항에 있어서,상기 제1 칼코겐 소스는 셀레늄(Se)을 포함하고, 상기 제2 칼코겐 소스는 황(Se)을 포함하는, 태양 전지 제조 장치
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4
제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 소스 제공부와 상기 칼코겐화 형성부 사이에, 상기 대상체와 상기 칼코겐 소스가 불활성 가스 분위기에 위치하도록, 불활성 가스 분위기 형성하는 불활성 가스 분위기 형성부;를 더 포함하는, 하는 태양 전지 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 미세 기공체 부재는 1
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 미세 기공체 부재에 포함된 상기 미세 기공은, 하기의 식에 따른 반경을 가지는, 태양 전지 제조 장치
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