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태양전지 광흡수층 제조장치

  • 기술번호 : KST2015011507
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 인체에 위해한 H2Se나 가격이 높은 DESe를 사용하지 않고 순수한 셀레늄 증기를 이용한 셀렌화 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 태양전지 광흡수층 제조장치를 제공하는 것이다본 발명의 일 관점에 따르면, 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되는 스퍼터링 타겟 및 증발기; 및 기판이 상기 챔버 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기의 외측에 위치하도록 장착되고, 상기 기판을 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치가 제공된다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020120072777 (2012.07.04)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1444188-0000 (2014.09.18)
공개번호/일자 10-2014-0007035 (2014.01.16) 문서열기
공고번호/일자 (20141002) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.04)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전찬욱 대한민국 서울특별시 중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0535042-17
2 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2013.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0606539-85
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0078160-42
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0722795-91
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-1174379-33
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0067499-37
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0067500-07
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0370957-13
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2014.06.30 수리 (Accepted) 7-1-2014-0024721-23
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2014.07.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0703564-59
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0703562-68
15 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2014.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0606919-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
셀레늄을 포함하는 태양전지 광흡수층을 제조하는 태양전지 광흡수층 제조장치로서,상기 태양전지 광흡수층 제조장치는,챔버;상기 챔버 내부에 설치되는 스퍼터링 타겟;상기 챔버 내부에 설치되고, 셀레늄 증발물질을 증발시키는 증발기; 및기판이 상기 챔버 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기의 외측에 위치하도록 장착되고, 상기 기판을 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더;를 포함하고,상기 스퍼터링 타겟은 구리-인듐-갈륨 합금 타겟, 구리-갈륨 합금 타겟, 구리-인듐 합금 타겟, 구리 타겟 및 인듐 타겟 중 어느 하나 이상을 포함하고,상기 증발기는 몸체, 제1 격판, 제2 격판, 토출구 및 가이드판을 포함하도록 구성되고,상기 몸체 내에 상기 셀레늄 증발물질이 장입되는 공간이 상기 제1격판에 의해 구획되고, 상기 셀레늄 증발물질이 기화되어 형성된 셀레늄 증기가 상기 제1 격판과 상기 제2 격판 사이의 통로를 통해 이동하여 상기 토출구를 통해서 토출되고, 토출된 상기 셀레늄 증기가 상기 몸체의 외측에 마련되는 상기 가이드판에 의해 가이드되어 상기 기판에 도달하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
2 2
셀레늄을 포함하는 태양전지 광흡수층을 제조하는 태양전지 광흡수층 제조장치로서,상기 태양전지 광흡수층 제조장치는,기판이 내측에 장착되고, 상기 기판을 회전시킬 수 있는 기판홀딩챔버;상기 기판홀딩챔버 내부에서 상기 기판에 대향될 수 있도록 고정되어, 상기 기판홀딩챔버의 회전을 허용하는 스퍼터링 타겟; 및상기 기판홀딩챔버 내부에서 상기 기판에 대향될 수 있도록 고정되어, 상기 기판홀딩챔버의 회전을 허용하고, 셀레늄 증발물질을 증발시키는 증발기;를 포함하고, 상기 스퍼터링 타겟은 구리-인듐-갈륨 합금 타겟, 구리-갈륨 합금 타겟, 구리-인듐 합금 타겟, 구리 타겟 및 인듐 타겟 중 어느 하나 이상을 포함하고,상기 증발기는 몸체, 제1 격판, 제2 격판, 토출구 및 가이드판을 포함하도록 구성되고,상기 몸체 내에 상기 셀레늄 증발물질이 장입되는 공간이 상기 제1격판에 의해 구획되고, 상기 셀레늄 증발물질이 기화되어 형성된 셀레늄 증기가 상기 제1 격판과 상기 제2 격판 사이의 통로를 통해 이동하여 상기 토출구를 통해서 토출되고, 토출된 상기 셀레늄 증기가 상기 몸체의 외측에 마련되는 상기 가이드판에 의해 가이드되어 상기 기판에 도달하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 기판홀더는,링 또는 드럼 형상을 가지고, 회전할 수 있도록 설치되는 회전부재;상기 회전부재의 내주면에 상기 기판이 장착될 수 있도록 마련되는 장착부; 및상기 회전부재를 회전시키는 회전구동부를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
4 4
제2항에 있어서, 상기 기판홀딩챔버는, 드럼 형상을 가지고, 회전할 수 있도록 설치되는 회전챔버;상기 회전챔버의 내주면에 상기 기판이 장착될 수 있도록 마련되는 장착부; 및상기 회전챔버를 회전시키는 회전구동부를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
5 5
삭제
6 6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟은 복수 개로 이루어지고, 상기 증발기와 함께 타겟홀더의 둘레를 따라 이격되도록 설치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치
7 7
삭제
8 8
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판을 가열할 수 있는 가열기를 더 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 가열기는 상기 기판이 상기 증발기에 대향될 때 상기 기판을 가열할 수 있도록 설치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치
10 10
제8항에 있어서, 상기 가열기는 상기 기판이 장착되는 장착부에 설치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치
11 11
셀레늄을 포함하는 태양전지 광흡수층을 제조하는 태양전지 광흡수층 제조장치로서,상기 태양전지 광흡수층 제조장치는,챔버;상기 챔버 내부에 설치되는 스퍼터링 타겟;상기 챔버 내부에 설치되고, 셀레늄 증발물질을 증발시키는 증발기; 및기판이 상기 챔버 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기의 외측에 위치하도록 장착되고, 상기 기판을 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더;를 포함하고, 상기 스퍼터링 타겟은 구리-인듐-갈륨 합금 타겟, 구리-갈륨 합금 타겟, 구리-인듐 합금 타겟, 구리 타겟 및 인듐 타겟 중 어느 하나 이상을 포함하고,상기 증발기에 의하여 증발되는 물질이 상기 기판에 도달하도록, 상기 기판은 상기 증발기의 상측에 위치하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
12 12
셀레늄을 포함하는 태양전지 광흡수층을 제조하는 태양전지 광흡수층 제조장치로서,상기 태양전지 광흡수층 제조장치는,기판이 내측에 장착되고, 상기 기판을 회전시킬 수 있는 기판홀딩챔버;상기 기판홀딩챔버 내부에서 상기 기판에 대향될 수 있도록 고정되어, 상기 기판홀딩챔버의 회전을 허용하는 스퍼터링 타겟; 및상기 기판홀딩챔버 내부에서 상기 기판에 대향될 수 있도록 고정되어, 상기 기판홀딩챔버의 회전을 허용하고, 셀레늄 증발물질을 증발시키는 증발기;를 포함하고, 상기 스퍼터링 타겟은 구리-인듐-갈륨 합금 타겟, 구리-갈륨 합금 타겟, 구리-인듐 합금 타겟, 구리 타겟 및 인듐 타겟 중 어느 하나 이상을 포함하고,상기 증발기에 의하여 증발되는 물질이 상기 기판에 도달하도록, 상기 기판은 상기 증발기의 상측에 위치하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.